Способ герметизации микросборки

) 4 49 00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ВСЕ(Ом) 3 Р 1 яОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ЕТЕЛЬСТВ У АВТОРС 17/24-0(54) СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ (57) Изобретение относи электронике, а именно к окончательной сборки ге микросхем и может быть в приборостроительной и МИКРОСБОРКИя к микротехнолог метичных использован и мышленн.88. Бюл.10 улешко и А.В.Вор 18.5.002.2(08818 ское свидетельст кл. Н 01 Н 49/00 ое свидетельство кл. Н 01 Н 49/О ое свидетельство кл. Н 01 Н 47/00 в технологии сборки герметичных приборов, закрытых металлическим кожухом, Цель изобретения - повышениетехнологичности процесса и качестваизделия, В центре лунки 1 выдавливают выступ 2 воронкообразной Формы.так,что торец его расположен ниже поверхности кожуха 8, пробивают отвер-стие 3 в вершине выступа, завариваютконец выступа лазерным лучом, образуя наплыв, или вносят в лунку дозу припоя, с образованием отверстия,которую затем расплавляют любым известным способом. При этом эа счеткапиллярных сил смачивания 1 внутренней поверхности 6 часть припоя заполняет отверстие и образует пробку.2 з,п. ф-лы, 4 ил, 1381618Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем, и может быть использовано вприборостроительной промышленности в5технологии сборки герметичных приборов, закрытых металлическим кожухам.Цель изобретения - повьппение технологичности процесса и качества иэ Оделия.На фиг. показан кожух с выдавленной в нем лункой и выступом воронкообразной формы; на фиг.2 - кожухпосле запайки отверстия лучом лазера; 15на фиг.З - кожух после подготовкиотверстия для запайки припоем; наЖиг.4 - отверстие кожуха после запайки припоем,Способ герметизации микросхемызаключается в следующем,Одновременно при изготовлении кожуха микросхемы, например, штамповкой, в нем выдавливают лунку 1 ивыступ 2 воронкообразной формы с откачным отверстием 3 в вершине выступа, для чего в пуансоне и матрицештампа (не показан) предусматриваютсоответствующие элементы. Затемсобирают микросборку, помещают в вакуумную камеру, осушают и заполняютвнутренний объем средой контролируемого состава, например осушенным азотом или сухим воздухом, производятоплавление торца воронкообразного выступа, направляя луч лазера под углом Ы к оси отверстия 3 до получения наплыва 4 из материала кожухаПри этом вследствие наличия выступаи трубчатой формы его торца луч лазера не попадает в объем микросборкии не повреждает ее элементы.В качестве лазерной установки используют например, "Квант",Квант, При герметизации откачного отверстия легкоплавким припоемлунку заполняют дозой припоя 5, внутреннюю поверхность б выступа 2 иего торец залуживают, отверстие 3при заполнении лунки припоем защища-.50ют иглой или образуют после заполнения лунки припоем перед сборкой микросхемы лучом лазера, направляя егопо оси выступа 2 со стороны внутреннего объема кожуха известным спосо=35бом, затем собирают микросборку, помешают в вакуумную камеру, производят осушение внутреннего объема, заполняют средой контролируемого состава, например сухим азотом или воздухом, и герметизируют (эапаивают) отверстие 3, разогревая паяльником или бесконтактным способом, например инфракрасным или лазерным излучением, ранее присоединенную к кожуху дозу припоя 5 в лунке 1. При расплавлении часть припоя 7, благодаря тому, что торец выступа 2 ниже поверхности 8 кожуха, поступает в отверстие 3 и, смачивая стенки трубчатой части выступа, образует пробку, длина которой больше толщины кожуха, надежно герметизирующую микросборку.Необходимую длину пробки из припоя 7 подбирают высотой выступа 2 с учетом исключения образования "сосульки" припоя внутри кожуха, что легко достигается благодаря наличию выступа 2 и исключения тем самым влияния веса (массы) заранее нанесенной дозы припоя 5 на затекание его в объем микросборки.Предлагаемый способ позволяет герметизировать откачное (дренажное) отверстие лучом лазера.Формула изобретения1,Способ герметизации микросборки путем выдавливания в ее кожухе лунки, образования в этой лунке отвер стия, заполнения внутреннего объема микросборки средой контролируемого состава и герметизации отверстия путем оплавления, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повьппения технологичности процесса и качества изделия, в центре лунки выдавливают выступ воронкообразной формы, а отверстие образуют в вершине последнего.2,Способ по п.1, о т л и ч а ю - ш и й с я тем, что вершину воронкообразного выступа выдавливают ниже наружной поверхности кожуха.З.Способ по п.1, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что герметизацию отверстия производят путем оплавления торца выступа лазерным лучом, причем последний направляют под углом к оси отверстия.1381618 Составитель Е.СафоноваТехред Л.Олийнык. Корректор С,Шекмар Редактор М.Лазаренко Заказ 1188/50 Тираж 746 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4