Датчик давления

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУ БЛИН 13776 19) 1 1. 9 0 50 4 КОМИТЕТ СССР ФЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ГОСУДАРСТВЕНН ПО ДЕЛАМ ИЗО 3, 13у" чд САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТ л, У 8 олитехн ескии инс в088; во СССР1979.СССР1978. идетельс 1 1 9/06 детельств 01 1, 9/04(54) ДАТ (57) Изо льно изм изобрете ной погр емого да Н тение отно тельной те ится нтроике. Целье температур- даче измеряану она проги я - нос еньше и. При на мем лен 21) 4065186/24(56) АвторскоеВ 672525, кл. САвторское свР 613219, кл. С бается. Тензорезисторы 4-7, расположенные на мембране, испытывают деформацию, Вследствие этого на выходе .мостовой измерительной цепи появляется сигнал, пропорциональный измеряемому давлению, который усиливаетсяблоком 16. Вместе с тем изменяютсясопротивление терморезисторов 8-11и величина сигнала, поступающего сусилителя 17 на сумматор 18. Измененный сигнал с сумматора 18, воздействуя на регулирующий элемент 15,регулирует напряжение питания мостовиз тензорезисторов 8-11 таким образом, что сигнал на выходе усилителя17 остается неизменным и равным поабсолютной величине опорному напряжению. 3 ил.Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именнок устройствам дистанционного измерения давления, и может быть использовано в датчиках для измерения давления жидких и газообразных сред принестационарных температурных режимахработы (при термоударе).Целью изобретения является уменьшение температурной погрешности.На фиг. 1 представлено устройство,общий вид; на фиг. 2 - схема расположения тенэореэисторов на мембране;на фиг. 3 - измерительная схема, 15Устройство включает корпус 1,воспринимающую мембрану 2, выполненную заодно со штуцером 3. На мембране 2 образованы две мостовые измерительные цепи, одна - из тензореэисторов 4-7, а другая - из терморезисторов 8-11, разделенные слоем диэлектрика 12, Расположение терморезисторов (тензорезисторов) на мембране 2показано на фиг, 2 (мостовая измерительная цепь из тензорезисторов непоказана, показаны только ее контакт-.ные площадки 13). Контактные площадки 13 служат для подключения мостовой измерительной цепи из тензорезис Оторов 4-7 к общей измерительной схеме. Контактные площадки 14 служатдля подключения мостовой измерительной Цепи из терморезисторов 8-11 кобщей измерительной схеме (фиг. 3).В одну из диагоналей каждого моста35включен регулирующий элемент 15. Ав противоположную диагональ моста -дифференциальный усилитель 17, с которого поступает сигнал на сумматор 18.Устройство работает следующим об -разом.При подаче измеряемого давлениячерез штуцер 3 на воспринимаемую мем 45брану 2 последняя прогибается, Тензорезисторы 4-7 испытывают деформацию. Вследствие этого на выходе мостовой измерительной цепи (из терморезисторов) появляется сигнал, пропорциональный измеряемому давлению.Этот сигнал усиливается дифференциальным усилителем 16 и подается навход прибора,При действии термоудара изменяетсятензочувствительность тензорезисторов 4-7, вместе с этим изменяется сопротивление терморезисторов 8-11 и, следовательно, величина сигнала, пос - тупающего с усилителя 17 на сумматор 18. Измененный сигнал с сумматора 18, воздействуя на элемент 15, регулирует напряжение питания мостов из тензорезисторов 8-11 таким образом, что сигнал на выходе усилителя 17 остается неизменным и равным по абсолютной величине опорному напряжению.Таким образом, напряжение питания мостов изменяется обратно пропорционально изменению выходного сигнала с моста из терморезисторов 8-11.Поскольку мостовая измерительная цепь из терморезисторов размещена над мостовой измерительной цепью из тенэорезисторов так, что каждому тензорезистору соответствует расположенный над ним терморезистор и топологические рисунки обеих цепей одинаковы, а также тензорезисторы, термореэисторы и слой диэлектрика образованы методом металлопленочной технологии, позволяющей получить тонкие проводящие и изоляционные слои, закономерность изменения сигнала при воздействии термоудара с моста из терморезисторов адекватна изменению сигнала с моста из тензорезисторов. В результате этого выходной сигнал усилителя 16 зависит только от изменения давления, а термоудар практически не влияет на выходную характеристику датчика, за счет чего в значительной степени повышается его точность,Формула изобретенияДатчик давления, содержащий корпус, мембрану, тензорезистивный мост, сформированный на мембране, терморезистивный мост, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью уменьшения температурной погрешности, терморезистивный мост расположен на диэлектрической подложке, которая нанесена на тензорезистивный мост, при этом оба моста имеют одинаковую топологиюи размещены друг над другом так, что расположение элементов терморезистивного моста совмещено с расположением элементов,тензорезистивного моста.Заказ 86 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 35 Тираж 847 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и от 113035, Москва, Ж, Раушская