ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1. 90 0 4 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ,.ЯО, 1323881 А 1 измерений. Резонатор 1 выполнен в виде обратной мезаструктуры с утоненным центральным и утолщенным периферийным участками. По обе стороны утоненного участка резонатора 1 размещены мембраны 2 и 3 в форме колпачков, скрепленных плоской поверхностью с его периферийным участком, Электроды 4 и 5 мембран 2, 3 имеют форму круга, а электроды 6, 7 на внешней поверхности мембран выполнены в виде кольца. Отклонение давления от номинального вызывает изменение расстояния между центрами мембран 2, 3 и плоскостью утоненной части резонатора 1. приводящее к перестройке резонатора на новую частоту. 3 ил.1Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, например, для измерения давлений.Целью изобретения является повышение точности измерений давления,На фиг. 1 представлена конструкция предлагаемого датчика давления; на фиг. 2-. одна из мембран; на фиг. 3 - схема включения датчика в автогенератор.Устройство (фиг, 1) содержит кварцевый резонатор 1, мембраны 2 и 3, расположенные по обе стороны от резонатора, электроды 4 - 7. Причем электроды 4, 5 имеют форму круга, а электроды 6, 7 форму кольца (фиг. 2). Плоскости резонатора 1 и мембран 2, 3 параллельны. Следует отметить, что мембраны 2 и 3 выполнены из легированного кремния, посредством ко. торого осуществляется электрическая связь соответственно между электродами 4, 6 и 5, 7 а резонатор 1 представляет собой обратную мезаструктуруДатчик давления подключен своими электродами 6 ив схему автогенератора (фиг. 3).Датчик давления работает следующим образом.При номинальном давлении Ро центры мембран 2, 3 находятся на определенном расстоянии хо от плоскости утоненной части резонатора 1. При этом емкость зазора, в котором возбуждается резонатор 1, равна Ср. Автогенератор (фиг. 3) вырабатывает сигнал с частотой 1 О, соответствующей резонансной частоте датчика при давлении Р . Регистрируя значение величины этой частоты, можно судить о величине давления Р .При отклонении давления от номинального значения Ро на величину ЛР расстояние между центрами мембран 2, 3 и плоскостьк) утоненной части резонатора 1 изменяется на величину Ьх . При этом емкость зазора, в котором возбуждается резонатор 1, изменяется на величину Ь С что, в свою очередь, приводит к перестройке резонатора 1 на новую резонансную частоту 1 +Ь.Последнее обстоятельство ведет к изменению частоты автогенератора. Измеряя значение й 1, можно судить о величине ЬР.Формула изобретенияДатчик давления, содержащий кварцевый резонатор и две расположенные параллельно мембраны, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, в нем резонатор выполнен в виде обратной мезаструктуры с утоненным центральным и утолщенным периферийным участками, а мембраны имеют форму колпачка с утолщенной периферийной частью, установлены 25 по обе стороны утоненного участка резонатора и скреплены своей плоской поверхностью с его периферийным участком, при этот мембраны выполнены из легированного кремния и каждая мембрана снабжена двумя электродами, один из которых имеет форму круга и нанесен на поверхность мембраны, обращенную к утоненной центральной части резонатора, а другой имеет форму кольца и нанесен на внешнюю торцовую поверхность утолщенной периферийной час ти м ем 6 раны.Составитель О. Сверчков Редактор Н. Слободяник Техред И. Верес Корректор А. Обручар Заказ 2955/45 Тираж 776 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

3961562, 02.10.1985

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6668

КОЛЕСНИК ЕВГЕНИЙ СЕРГЕЕВИЧ, КАСЬЯН ВАЛЕРИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, СОРОКОПУТ ВАЛЕРИЙ ЛЕОНИДОВИЧ, ЧЕРЕПКОВ АЛЕКСЕЙ ИВАНОВИЧ, БОРЩЕВ ВЯЧЕСЛАВ НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 9/08

Метки: давления, датчик

Опубликовано: 15.07.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1323881-datchik-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик давления</a>

Похожие патенты