Способ детектирования атомарного водорода

:1 1 601 М 270 НИЕ ИЗОБРЕТЕ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Овают точнь ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ(54) СПОСОБ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ АТ МАРНОГО ВОДОРОДА(57) Изобретение относится к анализу состава газов в вакуумных электронных устройствах. Цель - повышение экспрессности и упрощение способа детектирования атомарного водорода. Способ заключается в следующем: в вакуумной камере поддержирабочий вакуум 10Па. Состав остах газов и паров воды контролируют масс-спектрометром (МСП), который одновременно служит для регистрации молекул образующегося при измерении гидрида. Атомарный водород (В) образуется при диссоциации молекул В при возбуждении высокочастотного газового разряда генератором высокой частоты. С помощью коллиматора образуется поток из молекулярного и атомарного В, на пути которого помещают кварцевую пластинку с нанесенным на нЕй слоем химического реагента (ХР). Цель достигается тем, что в качестве ХР используют селен или серу. Тогда в потоке атомарного В образуются молекулы гидрида селена или серы, которые регистрируются МСП в диапазоне определенных массовых чисел. Способ позволяет регистрировать атомы В с интенсивностью потока 10 ф ат/с на фоне давления молекулярного В 10Па. Это упрощает подготовку камеры к работе. 3 ил.Изобретение относится к анализу состава газов в вакуумных электронных устройствах и может быть использовано при исследовании физико-химических процессов с участием атомов водорода в вакуумной механике, квантовой электронике и физической химии.Предлагаемый способ является полуколичественным.Цель изобретения - повышение экспрессности и упрощение способа за счет обеспечения возможности использования более высоких величин давления (-10Па) в масс-спектрометре. Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.В вакуумной камере, которая непрерывно откачивается магниторазрядным насосом, поддерживается рабочий вакуум порядка 10Па, Состав остаточных газов и паров воды контролируется масс-спектрометром, который одновременно служит для регистрации молекул образующегося при измерении гидрида.Атомарный водород образуется при диссоциации молекул водорода при возбуждении высокочастотного газового разряда генератором высокой частоты. С помощью коллиматора образуется поток, состоящий из молекулярного и атомарного водорода, на пути которого помещается кварцевая пластинка с нанесенным на ней слоем селена.На фиг, 1 представлена спектрограмма, характеризующая рабочий вакуум (10Па) без наличия потока воздуха; на фиг. 2 - спектрограмма, соответствующая потоку молекулярного водорода, при котором вакуум в системе становится 10Па; на фиг. 3 - спектрограмма, соответствующая наличию атомарного водорода при возбуждении в колбе высокочастотного разряда. При появлении в потоке атомарного водорода (фиг. 1) образуются молекулы гидрида селена НЬе, которые регистрируютсямасс-анализатором в диапазоне массовыхчисел 76 - 84,Продукт реакции НЯе имеет массу, лежащую в области, где отсутствуют масс-пики, характерные для остаточных газов ввакуумной системе 18 (НО), 28 (М44 (СО).В сравнении с известным, предлагаемыйспособ позволил увеличить экспрессностьдетектирования атомного водорода при сохранении чувствительности и повысить стабильность работы детектора во времени.Предлагаемый способ позволяет регистрировать атомы водорода с интенсивностью потока порядка 10 ф ат/с на фоне давления молекулярного водорода порядка 10Па.Отсутствие взаимодействия рабочего вещества с остаточными газами в вакуумной камере позволяет детектировать атомарныйводород при давлении остаточных газов порядка 10 з Па, что упрощает подготовку камеры к работе.Кроме того, предлагаемый способ детекд тирования позволяет стабилизировать вовремени его чувствительность ввиду отсутствия на поверхности контактирования продуктов химического взаимодействия атомарного водорода и селена.30 Формула изобретенияСпособ детектирования атомарного водорода путем контактирования его с твердой поверхностью химических реагентов с последующей регистрацией газообразных продуктов химической реакции с помощью массспектрометра, отличающийся тем, что, с целью повышения экспрессности и упрощения способа детектирования, в качестве химических реагентов используют селен или серу.1282238 2 ВСоставитель В. КудрявцевРедактор Е. Папп Техред И. Верес Корректор И. Эрдейи Заказ 7179/53 Тираж 596 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4