Тензометрический преобразователь

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН АВТСРСНОМУ СЮЩЕТИЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР т дкми тишина и ВРЫТ(57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить надежность преобразователя в условиях вибрации и ударныхнагрузок. В кольцевом утолщении 3мембраны 2 в отверстиях установленыстеклянные изоляторы 4 с токоподводами 5Торцы выводных проводников токоподводов соединены через окна вслое диэлектрика 6, нанесенного намембрану 2, с напыленными токопроводящими дорожками 8. При контакте приемнойполости датчика с объектомконтроля мембрана 2 деформируется,что выэывае 1 разбаланс мостовой схемы из терморезисторов 7 и появлениеинформационного сигнала, 2 ил,Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения давлений, снл илиперемещений с помощью тенэорезисторов, сформированных методом Вакуумного напыления на упругих элементах.Цель изобретения - повыщение надежности преобразователя в условияхвибрации, ударных нагрузок и высокихтемператур.Иа фиг.1 изображен датчик давления; на фиг.2 - схема соединения выводных проводников с тензорезистарами на мембране.В корпусе 1 датчика выполнена мембрана 2, которая имеет кольцевоеутолщение 3. В отверстиях этой утолщенной части установлены изоляторыч (фиг.2) с токоподводами 5, Тоеопод;воды могут быть выполнены из никелевой проволоки, а изоляторы - из стек"ла. Торцы токолодводов и соответственно изоляторов совмещают с плоскостью мембраны, на которую нанесенметодом микроэлектронной технологиислой диэлектрика б и сформированытензореэисторы 7 и токоподводящие дорожки 8. Для электрического соединения токоподводов с токоподводящииидорожками В слое диэлектрика 6 предварительно выполняют соответственнокаждому торцу токоподвода окна размером, не превьвеающим диаметра отверСТИЯ В КОЛЬЦЕВОЙ УТОЛЩЕННОЙ ЧЗСТИмембраны. Нанесение тензорезисторови проводящих дорожек можно ос 1 лаествить любым известным способом например вакуумным напылением,. Причем,проводящие дорожки выполняют последоВательно нэ материалОз, мхм хром0,05, медь 1,0. Могут быть и другиеструктуры, обеспечивающие молекулярную связь металнческнх дорожек с диэлектрическим слоем мембраны и токо.подводами 5.укрепленные в кольцевом утолщениимембраны токоподводы 5 свободно нзгибают для соединения нх с контактамиразъема 9,Преобразователь работает следующим образом.Вначале к тензорезисторам, соединенным в мостовую измерительную схему, подводят через разъем 9 питание - напряжение постояниогд тока. Йрисоедиияют приемную полость датчика к объекту контроля. Деформация мембраны 2 преобразуется в изменение сопро" тивления тензорезисторов, которые приводят к разбалансу мостовой схемы и ПОявлению информационного сигнала,Такое техническое реюеиие повьввает надежность работы преобразователя вследствие тогО, чтО ТОеоподводы жестко заерепяены в утолщенной части мембраны а под действием ударов и вибраций не со:;дают нагрузок в мес;"ах электрического соединения их с токоподводящими дорожками. Такое редеиие исключает также пайку и микро- сварку контактных площадок как эле мент надежности.Ф О р и у л а и з о б р е т е н и яТензометрический преобразователь, содержащий плоскую металлическую иеибраиу С кольцевым утолщением, на Поверхности которой нанесен слой ди . электрика в сФормированы напылением тензорезистори и токолроводящие дорожки, электрически связанные с токонодводами, о т л н ч а в щ и й с я тем, что, с целью повынения надежности в условиях вибрации, ударных нагрузок, в нем токОподвОды установл 4- кн в отверстиях, снабженных изоляторами и выполненных в кольцевом утолщении мембраны, а в слое диэлектрика выполнены окна размером, не преВыпающни диаметра отверстий в коль" цевом утолщении, прн этом торцы вы-. водных проводников токоподводов совмещены с плоскостью мембраны и соединены с напыляемыки токопрОВОдящи,ми дорожками через окна В слое диэлектрика,Составитель И. НевскийТехред И.Попович ЭРедактор Н. лин ректор В. Бутяг Заказ 5551/4 роизводственно-нолиграфнческое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектн Тираж 778ВНИИИЙ Государственнопо делам изобретений13035, Иосква, 1-35, Ра Подписное комитета ССС и открытий ская наб , д.