Криогенный насос

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 707 А 19) 04 В 37 08 51 ИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) (57) 1. КРИОГВННЫЙжащий вертикальный корпус срубком в нижней части, откачмент и плоский шевронныйщепные в корпусе внутри рэкрана, связанного с заливнымженным трубками-подвесами,ся тем, что, с целью повыпдействия при использовании илительных установках, он донодержит кольцевой сосуд для хватывающий шевронный экра СССР1981.НАСОС, содервходным пативающий элеэкран, размеадиационногоэкраном, снаб- отличающийения быстроасоса в напылнительно соладагента, охи и сообщенный с заливным экраном при помощи трубок, цилиндрический шевронный экран, размещенный коаксиально внутри радиационного экрана и соединенный с тепловым контактом в верхней части с кольцевым сосудом и плоским шевронным экраном, а в нижней части - с радиационным экраном и криопанель, выполненную в виде обечайки, размещенной коаксиально между радиационным и цилиндрическим шевронным экранами и закрепленной с тепловым контактом на откачивающем элементе, причем радиационный экран снабжен кольцевым фланцем, закрепленным на его нижнем торце при помощи теплового моста, а заливной экран - сквозным цилиндрическим осевым каналом и размещенным в последнем дополнительным шевронным экраном.250707 2. 1 Ьсс но и. 1, от.шсикщш(з( тем, ч 10 откдчивзкпций элемент снабжен сквоз- НЫЧИ Кс(НЗЛаМИ, РаСПОЛОжЕННЫМИ СООСНО тру 6 кдч-)ц)лв(сзм, д тру 6 ки, соо 6 цдкнцие кольцевой сос;( с заливным экраном, рдсноложены в канзлд с зззороч относительно их стенок,5. 1 Ьсс но н 1, т.псикэщис( т(м, и), с ц лью повышения у;(06 ст)я экснлузгзции нтл) 06 нц ниц Визуалы(ого контИ:(06 ретение Относится к вдкуумной технике, и именно к конструкциям криогецных вакуучнь)х насосов, предназначенных для нолуцения и нодчерждния вакуума в нанылигел Ных установках11 е.)ьк) изобретения является повышение 6 ыстро действия нри использовании насоса в нзнылительныхстзновках, д также повышение удобства зкснлудтзции путем Обесне НИ 51 ВИ (ус 1 ЛЬНОГО КоитрОЛЯ (с ра 6 ОТОЙ ЭТИХ ТЗНОВОКВо (МОЖ НОСТИ ДОСТУнс( К Нс НЫ.1 и(.- м о л) у и.(де.) и к).1 Ь фиг.нрелсгзвлен насос, установленный нз плите нанылительной установки, продольный разрез; нз фиг. 2 узелна фиг. 1; Нз фиг 3 узлы 11 и 111 нз фиг 1.(51 рио)х)ннь)и нс(сос со(ржи) В(р 1 икзльный коризсс входным ндтрубком 2 в ниж)н й ч;с) и, откдци)як)ший э)ечнт,5 и плоский нц Вронный экран 4, рд:(мен(нные в корил(еВнтри рс 1 дис)ционногО экрс 1 нз 5, св 51..нно) 0 с .(:ливныч экраном , с(36 ж(си Г) ныч (р 6 к;(чи-нод)ксали 7. 1 Ьс(к дополни- телы(0 содержит кольцевой сосуд 8 для чзддг н);), хвдтывзк)ший нцвронный экран 4 и соо 6 нцнный с (дливныч экраном 6 нри номи)ци )ру 60 к), цилиндрический шевронныи экран 1 О, рдзменц нный кодксиально внутри рддидпионного экрднд 5 и соединенный с 1(н.)овыл( контактом в верхнеи (дс)и с кольцевым сосдом 8 и плоским шев 1 ннныч экрдом 4, д в нижней асти с 1 ядизционным экраном 5, и крионднел)ь вь)Ъ ( Цозц 1 НУК) В ВИД 06(."(с 1 ИКИ1, Рс)ЗЧЕИННОИ козксидль)н чжлу рздизцин(ным и цилиндрическим иевриным экранами 5 и 10 и ззкрен.ц иной с тенловыч контактом нз откзциВзк)ц( ч э.)ел(ен) е,5, нрич(м радиационный экран 5 н 6 ж(н кольцевыл(и флднцел( 12,3 якренл(иным н,( его нижнем торце нри ноч(ици т(нлового моста 1 5, 3 зал ивнои зкрзн 6 скво(ныч цилицлрицским )свыч каналом 14 и размещенным и )нс,цд)цм ,(Онолни) е.,н) )л Н)врон ныл) экраном 15. роля (3 работой нанылительных установок и во(чожности дтуна к нзныляечому изделик), корпус снзбжн 6 оковыч натру 6- ком, д в радиационном и цилиндрическом н)еврцнном экрана и 06 чайке чк)сно 6 окоВому нзтрубку выполнены Отврсти 1, нрич(чнчянутые экраны снзбж(ны рзснсожен- НЬ(М) В ОТВЕРСТИЯ Нс 1 ГР 6 Кс 1 ЧИ И ЛСТс) ЦОВЛЕННЫЧ В НИ С ВО(МОЖНО 1)ск КЬК)ГО НЕР ч)ц(ния коль)ц вым э.)(л)(н)ом, конг;)ктирук- )цич с внутренними НОНрш)стячи ндтру 6 ков.1 Кс)ЧИВс(К)Н(ИЙ ЗЛ(МНТ,5 СНЗ 6 ЖЕН ( КВО.(НЫ- чи каналами 16, расположенными соосно тру 6 кзм-нодвесдм 7, д тру 6 ки ), (006)цк- ши( кольцевой ссуд 8 с зз,)ивным чкрднол 6, рссноложены в кдндлд 6 с я(ором Отцсительно их стенок. 1 орн(снд 6 жен 60- ковым нзтрубком 7, 3 в рд.(идционн(м и цилиндрическм )цевронцом зкрднз 5 и 10 и 06 чайкесоосно 6 оковому пзтру 6 к 17 вынолнены о)всрстия, нричсч зкрзны 5 и О С Н 3 6 Ж (с Н Ь р 3 С Н ( ЛЖ (. Н 1 Ы Ч И В1 В( ) С 1 И 51 Х 1 д тр 6 кзчи 18 и ,) истцов(цнныч В ни с во(можность(о осевого )ц ремецц ния клыцвым элемигом 20, контзкрк)щич с внтренними новерностячи н рубков 18 и 19. В изтру 6 ке 7 устдновлно, )янричр, с)ек- .10 21, 06 снечивзк)нц ( Ви (удльный ки(тро,)(с (;) р;60)оисзс)н(алики. 11 И,(ин,(рисскии н)евронныи экрдн О сое(И)(н В )р.,н(й ЧЗСТИ С КОЛ)си(ВЫЧ (О(,(ОЛ 5 И Н,)ОСКИЧ шевриным акр;(нм 4 нри )омон)и кр(н(жны эзрал)енОВ 22 и 2:5, 3 В ни кщ й и;гиРс(,(Ис(ЦИОИН)11 ЭКРс(НО(,) НРИ НО(оц КРЕ. )пжны элечсн)В 24 и 25. 1 рнус с)дновлен цз нли) 26 изныли)(льнойстднеки, снсэженнук к.)з)яном 27 ир(л)ярит.)ьш- ) 0 Взкуул(иро);)ния и с)0.)оч 28, кон)к)и- руК)щИМ С КО,)ЬПВЫМ ф.)с)ицЧ 12 И ИЧ(К. И (1 Н с(1 (. К с) 1. И с,)113 о( рз 6 гает следукнцим 0р).(0) 110;и установки корнусзн;)сос) и;) ц,(иту 26 и герчети (;1 ции Вод)ци О нзтру 6- Кс 1 2 1 РОИЗВО,(Я 1 Н РДВс(РИТ.1 ЬНО( Вс 1 К Л) И ровдние нолости корпусачерез к,)д)ян:5;пем залива)ог жидкий дзот в .ялишни экран 6 и колыцвой ссл 8, сп приводит к Охлажденик) экрдш)в 4, 5, 6 и 15.,1 яливдк)т жи;(кий гелий в откзчи(як)ции э,и- Ч(НТ 5 И НОСЦ 0,1 с(жд(ЦИЯ (.)0 И 06(.11 И. ки 11 насс го)ОВ к рд 6 от( с газвой и;- грэкой, бус.нвл(иной прове:и ниел( тенологицески о)цр;ций с и(1 лим, нр(андри тельно уст;(нвл нныч )я сто,)( 28 .(и ГНОЛОГИКИ( ОНРс) ЦИИ СОНР(ВОЖ,1)(Н)151боль(и ми Г.(ОВЬ(де)ини я л и Во:Оро,(1, то в н;)сос по; к 1 ис рс з пят ктс,(ь 2 с) гизообризный вот или ргон, когорый, кон(енсиЪ 5(СЬ 1111 ПО В.Р ПОСТ 51 Х ОТК (ИВК)нЕГ) (С- мент Л и обе(1 ики 11, обр;(:(у(т сло) криосорбен г)В ПРОССС ПРОС,Н 5( ГСЛПО,)о( ИИСКИК Опт 1 ии нл и с,иСл (ииСс 1 с(51 к) Ви(у(1 с 1 нь(Й контя);(ьпро)сспм сре ( стекло 21 и;(трубки 17. 11 -том ко п;) грубке мО)кет 61(т ь ъст)1 о.1. н;( р),1пя 1 кологпескя осп;стк;) лля лВ ту и; к и (;еликт, н)Прилр мвнипуля гр 11)ц(ииполвижного кольцео о ю м( пти 2 по (Оляе г легко, в слуиие необюмости, рп (обр )ь )(нсос или снять олин и)крпб или 1. 11 ре,лгсл(ый )гпк пол 5) ) и )и.и,; )