Устройство для измерения параметров потока

,ЯО;,1118 зы б 01 Г /00 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ел Рололраел;.аду ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(56) 1; Барил М. А., Самойлов В. К. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. М., Энергия, 1978.2. Авторское свидетельство СССР666430, кл. б 01 Г 1/72, 1978 (прототип). (54) (57) УСТРОЛСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОТОКА, содержащее проточный калиброванный канал, выполненный в виде двух параллельных сообщающихся между собой посредством перемычки на концах трубок, нагреватель и оптический узел съема сигнала, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, обе трубки заключены в корпус с основанием, при этом перемычка жестко закреплена в основании корпуса, а трубки выполнены из материала с идентичными коэффициентами линейного расширения и пропущены сквозь стенки корпуса с возможностью продольного перемещения, причем оптический узел съема сигнала выполнен в виде изолированных отрезков волоконных световодов, жестко закрепленных на параллельных трубках проточного канала перпендикулярно им, а нагреватель расположен на одной из трубок.Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения параметров потока, например расхода и состава газообразных и жидких веществ,Известны устройства, предназначенные для измерения и регулирования расхода и состава газообразных и жидких веществ, в которых в качестве чувствительного элемента используются термочувствительные элементы, включенные по мостовой или компенсационной схеме и создающие напряжение разбаланса, возникающее при охлаждениии ил и нагреве подогреваемой трубки, по которой пропускают расходуемое или анализируемое вещество 1).В данных устройствах величина выходного электрического сигнала функционально связана с величиной расхода вещества или его составом, поскольку как изменение потока вещества, так и изменение его состава вызывает изменение температуры трубки и, следовательно, разбаланс схемы и формирование сигнала, пропорционального изменению измеряемой величины.Наиболее близким к предлагаемому является устройство для определения параметров потока, содержащее проточный ка либрованный канал, выполненный в виде двух параллельных сообщающихся между собой . посредством перемычки на концах трубок, нагреватель и оптический узел съема сигнала 12.Однако известное устройство имеет слож- З 0 ную конструкцию.Цель изобретения - упрощение конструкции устройства.Указанная цель достигается тем, что в устройстве для измерения параметров по- З 5 тока, содержащем проточный калиброванный канал, выполненный в виде двух параллельных сообщающихся между собой посредством перемычки на концах трубок, нагреватель и оптический узел съема сиг нала, обе трубки заключены в корпус с основанием, при этом перемычка жестко закреплена в основании корпуса, а трубки выполнены из материала с идентичными коэффициентами линейного расширения и пропущены сквозь стенки корпуса с возможно стью продольного перемещения, причем оптический узел съема сигнала выполнен в виде изолированных отрезков волоконных световодов, жестко закрепленных на параллельных трубках проточного канала перпендикулярно им, а нагреватель расположен на одной из трубок. На фиг. 1 представлена конструктивная схема устройства для измерения параметров потока; на фиг. 2 - узел подвижного 55 закрепления трубок.Устройство содержит нагреваемую трубку 1, ненагреваемую трубку 2, перемычку 3, нагреватель 4, корпус 5 с основанием 6, оптический узел съема сигнала, выполненный в виде изолированных отрезков волоконных свстоводов 7 и 8, держатели 9 и О концов волоконных световодов, узел 11 подвижного соединения трубок с корпусом, прижимную планку 12 и винты 13.Узел подвижного закрепления трубок 1 и 2 выполнен таким образом, что зазор между трубкой 1 и корпусом 5 полностью исключен, Это достигается путем использования не цилиндрических, аЧ-образных направляющих (фиг. 2). Трубка 1 или 2 помещена в Ъ-образную канавку и прижимается к стенкам канавки планкой с помощью винтов или специальной пружины (не показано). Таким образом, перекос трубок 1 и 2 невозможен. Исключено также любое случайное перемещение трубки, так как в направлениях, перпендикулярных оси трубки, меж ду направляющими стенками канавки, прижимной планкой и трубкой зазора нет, В таких направляющих трубка может только удлиняться или укорачиваться, что и необходимо для нормальной работы датчика. С магистральным трубопроводом датчик может быть соединен как гибким шлангом, так и металлической трубкой, согнутой в виде пружинящей петли или витка, обеспечивающей возможность микронных перемещений.Устройство работает следующим образом.Контролируемый поток поступает в трубку 1 с нагревателем 4 через размещенную параллельно ей нагреваемую трубку 2 и перемычку 3, при этом трубки 1 и 2 выполнены идентичными с одинаковыми коэффициентами линейного расширения.Контролируемый поток охлаждает трубку 1, что приводит к уменьшению ее длины, и, следовательно, перемещению закрепленного на ее подвижном конце держателя 9 волоконных световодов 7 относительно близко расположенных концов волоконных световодов 8 на держателе 10,Сдвиг концов световодов 7 относительно концов световодов 8 приводит к изменению светового потока через волокна, т. е. к формированию оптического сигнала, амплитуда которого функционально связана с расходом контролируемого потока, Оптический сигнал не подвержен влиянию электромагнитных помех и передается по линии связи к регистрирующему прибору, а при необходимости автоматическому устройству, управляющему исполнительным механизмом, регулирующим расход вещества.В предлагаемом устройстве кроме измерения расхода возможно измерение состава потока при обеспеч" .постоянства расхода, При постоянном расходе изменение состава вещества изменяет его тепловые характеристики и, следовательно, температуру по118 Ц 7 сильных электромагнитных гимех, просто по конструкции, имеет высоку к чувствительность и может быть использовано во многих отраслях народного хозяйства, в частности в микроэлектронике при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. авитель Н. Андед И. Вересж 609рственного кобретений и- 35, Рву шсэ, г. Ужгород Сост Техр ТираВНИИПИ Госудапо делам из113035, Москва, Ж илиал ППП Патент 1 уска Ю. Ковач /28 Редакто Заказ 7 догреваемой трубки, что, в сион оче 1 едь, приводит к изменению се длины и формиро. ванию светового сигнала, прцпо 1 пион;глье. го изменению состава вешества.Предлагаемое устройство позволяет дистанционно измерять расход и состав жидких и газообразных вецеств при наличии рееваКорректорПодписноемитета СССРоткрытийкая наб., д. 4/5ул. Проектная