Способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК вб 11 В 5(42 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ Ц я ФНа,ЦИц:.ЫиЕЛЬСТ А 8 ТОРСКОМУ С 1 В ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ(54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОВИТКОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МАГНИТНЫХ ГОЛОВОК, включающий масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины, отличаюи 1 ийся тем, что, с целью повышения эконо,ЯО, 1103284 А мичности процесса изготовления и процента выхода годных интегральных головок, контрольные метки напыляют посредством дополнительных окон в масках в виде меток совмещения и меток для контроля обработки рабочей поверхности головок, причем метки совмещения напыляют одновременно с напылением соответствующего упомянутого функционального слоя и по толщине, и электромагнитным параметрам равными параметрам соответствующих функциональных слоев, а метки для контроля обработки рабочей поверхности головок напыляют одновременно с напылением витков обмотки и изоляционных слоев, при этом контроль толщины и электромагнитных параметров напыленной структуры головки и выполнение пазов для визуального контроля высоты меток обФ работки рабочей поверхности головки в одном из полублоков корпуса осуществляют перед установкой блока в корпус.Изобретение относится к технике магнитной записи, а именно к способам изготовления головок.Известен способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок,включающий последовательное нанесение наизолированную магнитную пластину проводящих и изолирующих слоев и формирование головки методом фототравления 1.Однако данным способом невозможно из.готовить геликоидальные интегральные магнитные головки с достаточно большим количеством витков обмотки,Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок,включающий масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и, контрольных меток, а такжеустановку напыленной структуры в корпуси вскрытие рабочего зазора с контролемего глубины 12.Недостатком известного способа является низкая экономичность процесса изготовления и невысокий процент выхода годныхинтегральных головок, вызванных отсутствием возможности объективного контроля толщины и электромагнитных параметров напыленных слоев до операции вскрытия рабочего зазора головок, в результате чегооперации вскрытия подвергались как годные, так и бракованные магнитные головки.Кроме того, по известному способу сложноосуществить контроль меток обработки рабочей поверхности головок при операцияхшлифования и вскрытия рабочего зазора.Цель изобретения - повышение экономичности процесса изготовления и процента выхода годных интегральных головок.Поставленная цель достигается тем, чтосогласно способу изготовления многовитко:вых интегральных магнитных головок, включающему масочное напыление на подложкупервого магнитопровода, витков обмотки сизолирующими слоями, второго магнитопровода и контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины, контрольные метки напыляют посредством дополнительных окон в масках в виде меток совмещения и меток для контроляобработки рабочей поверхности головок, причем метки совмещения одновременно с напылением соответствующего упомянутогофункицонального слоя и по толщине, и электромагнитным параметрам равными параметрам соответствующих функциональных слоев, а метки для контроля обработки рабочей. поверхности головок напыляют одновременно с напылением витков обмотки и изоляционных слоев, при этом контроль толщиныи электромагнитных параметров напыленнойструктуры головки и выполнение пазов длявизуального контроля высоты меток обработки рабочей поверхности головки в одном из полублоков корпуса осуществляют перед установкой блока в корпус.На фиг. 1 изображена многовитковая интегральная магнитная головка, поперечное сечение; на фиг. 2 - часть полублока корпуса с выполненными в нем пазами.Способ осуществляется следующим образом. 5 10 Изобретение позволяет снизить трудоемкость изготовления интегральных головок за счет своевременного выявления бракованных головок с тем, чтобы не подвергать их трудоемким операциям шлифования и вскрытия рабочего зазора, а также за счет упро 55 На подложку 1 через маску напыляютпервый магнитопровод 2 и одновременно с ним на подложку через отверстие в маске напыляют контрольный элемент 3, затем через маску напыляют изолирующий слой 4, 15 который образует рабочий зазор, и одновременно с ним контрольный элемент 5. После этого через маску напыляют первый виток обмотки 6 и одновременно с ним контрольный элемент 7. Затем поочередно напыляют изолирующие и проводящие слои 8 - 12 с одновременным поочередным напылением соответствующих им контрольных элементов 13 - 17, После этого напыляют второй магнитопровод 18 и одновременно с нимконтрольный элемент 19. В результате пор 5 лучают многослойную тонкопленочную структуру интегральной магнитной головки и разнесенные в плоскости подложки контрольные элементы, толщина и электромагнитные параметры которых соответствуют параметрам соответствующих им слоев интеграль ной головки. Сформированные на подложкеконтрольные элементы служат как для определения и отбраковки некондиционных напыленных структур, так и для контроля взаимного смещения слоев. После этого измеряют параметры каждого из напыленных З 5 контрольных элементов и тем самым определяют параметры каждого из слоев напыленной многослойной структуры головки: толщину, коэрцитивную силу, поле анизотропии, магнитную проницаемость, перекос осей 4 б анизотропии относительно заданного направления и другие параметры. Одновременно с напылением одного из проводящих слоев обмотки напыляют метки для контроля обработки рабочей поверхности головки в процессе вскрытия рабочего зазора. Подложку 45 со сформированной структурой интегральных магнитных головок устанавливают в корпус и вскрывают рабочий зазор, причем визуальный контроль меток обработки рабочей поверхности головки осуществляют через выполненные в одном из полублоков корпуса паж 20, ширина которых соответствует размеру меток обработки рабочей поверхности головки.1103284 Составитель Ю. КузовлевТехред И. Верес Корректор Г. РешетникТираж 575 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и о 1 крытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Редактор М. ПетроваЗаказ 4825/40 щения процесса вскрытия рабочего зазора и облегчения, процесса обработки рабочей поверхности головки при контролировании последних с помощью упомянутых меток через соответствующие пазы в одном из полублоко в,