Способ изготовления электростатической записывающей головки

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСА)УБЛИК 119) 111) А 3 СЮ 0 11 В 9 08 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯН АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Ордена Ленина институт кибернетики им. В.М.Глушкова(56 ) 1, Бщ(СЬ Р.-Н,В, 81 гхр )сЬиг 1 геЫогйег рг 1 п 1 е ч(СЬопС 1 пЕ."Е 1 есСг, 1)ев.", 1968, у. 16, У 9, р. 94-96,2. Вильчинскас А.И. СпОсоб повышения разрешающей способности электростатической записи.-"Приборы и системы управления", 1971, М 7, с, 24 (прототип).(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОстАтическОЙ 3 АписыВАющей ГОлОВки,включающий формирование изолированных токоведущих шин, записывающихэлектродов и токоограничивающих элементов, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения плотности записи, токоограничивающие элементы изаписывающие электроды формируют ведином полупроводниковом кристалле,локально оплавляемом электроннолучевымизлучением при ускоряющем напряжении50-60 кВ, токе 100-1"10 мкА и воздействии луча в течение 0,3 - 0,5 с с введением при этом в расплав легирующейпримеси.Изобретение относится к приборостроению, в частности к способу изготонления электростатической записивающей головки, которая может бытьиспользована в различного рода регистрирующих устройствах,Как и при любом виде записи информации на любой носитель н тех случаях, когда записываемая информация недолжна лоднергаться визуальному наблюдению и анализу, повышение плотности записи является первостепеннойзадачей, Плотность же записи находится в прямой зависимости от плотностирасположения пишущих элементов, вчастности электродов злектростатических головок, До недавнего временинаибольшую разрешающую способностьпозволял получать метод печатногомонтажа, т.е. когда на непроводящуюоснову наносятся проводники (.13,Однако и такие электростатическиеголовки имеют предел плотности расположения пронодникон, так как самипроводники могут иметь конечную толщину и ширину 1, меньше которой наступает саморазрушение электродон.Т.е. при всех сноих положительных качествах электростатические голонки,выполненные на базе печатного монтажа, не обладают той разрешающй способностью по плотности записи информации, которая требуется современнойтехнике регистрации данных.Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ изготовления электро-статической записывающей головки,включающий Формирование изолированных токонедущих шин, записывающихэлектродов и токоограничивающих элементов 23.Однако несмотря на то, что при та ком способе Формирование шин, элект. родов и токоограничивающих элементовпроизводится отдельно, что позволяет повысить точность каждого из перечисленных, при сборке головки разброс электродов оказывается относительно большим и тогда плотность записи информации существенно снижается.Целью изобретения является повышение плотности записи информации. Поставленная цель достигается тем, что при реализации способа изготовления электростатической записывающей голонки, включающего в себя Формирова- " ние изолированных токонедущих шин, ь,записывающих электродов и токоограничинающих элементон, эти элементы и записывающие электроды формируют в едином полупроводниковом кристалле, локально опланляемом электроннолучевым излучением при ускоряющем напряжении 50 - 60 кВ, токе 100 - 110 мкА и воздействии луча в течение 0,3 0,5 с с введением при этом н расплав легирующей примеси.На Фиг. 1 показан момент формирования токопроводящих шин; на Фиг.2 введение легирующей примеси; на Фиг, 3 - момент получения локально оплавленных областей.Токопроводящие шины 1 изолируются слоем окисла 2 от общей полупроводниковой пластины 3, представляющей собой единый полупроводниковый кристалл, По окончании Формирования шин ннонь формируется окисел, но уже в виде слоя 4, после чего в вакууме наносится слой 5 легирующей примеси. Слой 4 можно получать методом термического окисления такого полупроводникового материала, как кремний. Толщина этого слоя выбирается н пределах 1,0 - 1,5 мкм. Толщина слоя 5 выбирается в пределах 0,3 0,5 мкм.После нанесения легирующей примеси на такую сборку воздействуют острофокусированным (с диаметром до 10 мкмэлектронным лучем, а именно, на места расположения шин 1. Характеристика луча такова: ускоряющее напряжение 50 - 60 кВ, ток луча 100 110 мкА, время воздействия луча на выбранные участки 0,3 - 0,5 с. В результате на кристалле 3 образуются локально оплавляемые области 6, где легирующая примесь позволяет получат например р-переходы (при кремние ном кристалле), представляющие собой 1 токоограничинающие элементы 7. Диаметр оплавленной эоны составляет 7-10 мкм, высота вершин 8, представляющих собой записывающие электроды, до 3 мкм, а расстояние между вершинами соседних зон 30 - 40 мкм. Легко видеть, что посредством такой головки оказывается возможным повысить плотность записи информации н несколь ко раз.Повышение плотности записи помимо экономии носителя записи позволяет сократить время эксплуатации записывающей аппаратуры на единицу информа ции, что снижает энергозатраты.Зака нлиал ППП Патент", г.ужгОрод, ул.Проектная,940/47 Тираж 575 ВНИИПИ Государственного к по делам изобретений и 113035, Москва, Ж,РаущПодписноемитета СССРткрцтийкая наб д, 4/5