Устройство ввода движения в герметизированную камеру

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИК 119) (11) 151) Н 01 Т 9/О ЕНИЯ во СССР976 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЦТИЙ ОПИСАНИЕ ИЗ ВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Московский институт электронного машиностроения(56) 1. Рлександрова РТ. Новые способы передачи и Формирования движения в вакууме. М., Высшая школа,1979, с.17-1 8, с.33.2. Р,втсрское свидетельст548904, кл. Н 01 1 9/00, 1(54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ВВОДР. ДВИЖЕ -НИЯ В ГЕРМЕТИЗИРОВРН 11 У)б КР.МЕРУ,содержащее орган перемещения в видезаполненного газообразным Рабочимвеществом и сообщенного с приводомупругого трубчатого криволинейного элемента, герметично соединенного сс стенкой камеры, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения надежности при одновременном упрощении конструкции, полость упругого трубчатого элемента дополнитель но заполнена жидкой или твердой Фазой рабочего вещества и выполнена герметичной, а привод выполнен в вид источника тепла.2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что упругий тру чатый элемент снабжен сообщенным с ним сосудом, расположенным вне герметизированной камеры, а источник тепла расположен с внешней стороны сосуда.3. Устр тчающетепла размтрубчатого ойство пс и. 2, о т л е с я тем, что источник ещен в полости упругого элемента.30 С этой целью в устройстве ввода движения н герметизированкую камеру, содержащем орган перемещения в виде заполненного газообразным рабочим веществом и сообщенного с приводом упругого трубчатого криволинейного элемента,. герметично соединенного со стенкой камеры, полость упругого трубчатого элемента дополнительно заполнена жидкой или тнердой фазой рабочего вещества и выполнена герметичной, а привод выполнен в виде источника тепла.Упругий трубчатьй элемент снабжен сообщенным с ним сосудом, располоЖенным вне герметизиронанной камеры, а источник тепла расположен с внеш 55 ней стороны сосуда. И эоб 1.е 1 ее Относится к приборсстроению, например к злектровакуумной промыиц 1 ености, может бь 1 ть испол ь з Она но дл я переда 1 и движенияв герметиэированную камеру.Известно устройство ввода движения в герметизиронанную камеру, содержащее органы перемещения в ниде тру-сбОк БурДОа н пОлОсть кОтОрых пода -ется сжатый воздух 1),Недостатками известного устройства 10являются сложность конструкции иего эксплуатации,значительные габариты, неавтономность при использовании промышленной сети сжатого воздуха, имеющей ограниченное давление 15(04 - 0,5 МПа),Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является устройство ввода движения и герметизированную камеру, содержащее орган 20перемещения в виде заголненного газообразным рабочим веществом и сооб -щенного с приводом упругого трубчатого криволинейного элемента, герметично соединенного со стенкой камерыГ 21. 25Известное устройство не обладаетдостаточной надежность 1 о, характеризуется невысокой точностью движенияпри позиционировании перемещаемогообъекта и сложностью конструкциипрй его автоматизации и управлениидля передачи движения по заданномузакону, что обусловливает необходимость применения электромагнитныхи автоматических дросселирующих устройств .Цель ихобретения - повышение надежности при одновременном упрощенииконструкции. Ис точнк тепл может б ьть ра э 11 е -щеп в полости пр,гого трубчатогоэлемента,Предлагаемое выполнение устроист -ва позволяет получать плавное в широких пределах регулированное давлениен полости упругого трубчатого криволинейного элемента с большой точностью, равной точности регулированиятемпературы нагревателя.На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство ввода движения в герметизированную камеру с источникомтепла, расположенным нне сосуда; нафиг, 2 - устройство ввода движенияс источником тепла, размещенным нполости трубчатого элемента; нафиг. 3 - сечение Р.-Р. на фиг. 2.Устройство ввода днижения содержит трубчатый криволинейный элемент1 с некруглой формой поперечногосечения, герметично соединенный состенкой 2 камеры, полость 3 которогосоединена с сосудом 4 и заполненажидкой или твердой фазой рабочегонещества 5. В качестве рабочего вещества используются легкокипящиежицкости (спирт, нодациэтиловыйэфир) или легкоплаькие вещества. Навнешней стороне сосуда 4 расположенисточник тепла, нагример нагреватель,с 1 оединенный с источником 7 электропитания. Источник б тепла может бытьразмещен в полости упругого трубчатого элемента 3.Устройство работает следующим образом.Для ввода движения в герметиэированный объем к нагревателю б подводится электроэнергия, Нагренатель ирабочее вещество 5 изменяют свойобъем при фазовом переходе, что вбольшинстве случаев, увеличивает давление в полости 3 упругого трубчатого элемента 1, застанляя перемещать. -ся его свободный конец, который соединен с различными исполнительнымиорганами.Для увеличения передаваемых усилий и перемещений повышают температуру нагрева рабочего вещества, получая необходимое давление в полости3 упругого трубчатого элемента 1.Изобретение позволит повыситьнадежность работы и увеличить точность позиционирования до 0,01 -0,005 мм при одновременном упрощенииконструкции и увеличит перемещенияи усилия в 5-10 раэ.Псгл оставите ехред В. иковКоррек едактбр РКозори.Пата декор аказ 1023 илиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,/55 Тираж 703 ВНИИПИ Государственнпо делам изобретен 113035, Москва, ЖПодписно СССРй го комитетай и открытиРаушская наб., д.4