Датчик для определения концентрации газов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1052972
Автор: Кейзман
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХсаииамкпеиРЕСПУБЛИК Я 02 А 01 й 27/04 // С, 01 )ч 31/Об П ИЗО ЕН ОП ую окиси и й с я ия его тных те рически которог ой стор ой плен ск 88,72.2435,(прот п)ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬ)ТЮ(54) (57 ) ДАТЧИК КОН 11 ЕНТРАЦИИ ГА полупроводников о т л и ч а ю щ с целью увеличе ности при комн он снабжен элек тором, обкладки с зазором с каж водниковой окис ДЕЛЕНИЯржащийую пленку,тем, что,увствитель-мпературах,м конденсаразмещеныны полупроИзобретение относится к техникеизмерения концентраций веществ,а точнее к датчикам, служащим дляизмерения концентрации газов, иможет быть использовано, например,в химической промышленности.Известны полупроводниковыедатчики для определения концентрациигазов, представляющие собой слоиполупроводниковых окислов с припаяными к ним омическими контактами 1,1Наиболее близким по техническойсущности.к предлагаемому являетсядатчик, представляющий собой полупроводниковую окисную пленку с припаяными к ней омическими контактами, 15расположенную на подложкр. Омические контакты подключены .к источникупостоянного напряжения и через полупроводниковую пленку течет ток. Привнесении датчика в газовую среду на 2поверхности пленки адсорбируютсямолекулы газа, что приводит к изменению поверхностного потенциала пленки и изменению тока., протекающегочерез нее. По изменениям тока определяют концентрацию газа 2 .Однако в области малых концентраций измеряемого газа поверхностьпленки обладает малой адсорбционнойспособностью. Это приводит к тому,что этот датчик, как и все остальные,не может быть использован для определения малых концентраций газоввследствие низкой чувствительности.Для повышения чувствительностииспользуют подогрев датчика до нескольких сот градусов, что исключаетего применение во многих средах,в частности во взрывоопасных.Цель изобретения - увеличение40 чувствительности датчика при комнатных температурах.Поставленная цель достигается тем, что датчик снабжен электрическим конденсатором, обкладки которого 45 размещены с зазором с каждой стороны полупроводниковой окисной пленки. На фиг. 1 изображен предлагаемыйдатчик, вид спереди; на фиг. 2вид А на фиг. 1, разрез; на фиг. 3схема вхлючения.Между обкладками 1 электрическогоконденсатора на подложке 2, выполненной из диэлектрического материала, размещен датчик 3, выполненныйв виде полупроводниковой окиснойпленки с припаянными к ней омическими контактами 4, К обкладкам конденсатора припаяны электроды 5 дляподключения его к источнику постоянного напряжения. Подложка 2 выполнена таким образом, чтобы между обкладкой конденсатора и датчикомимелся воздушный зазор для доступак датчику измеряемого газа.Конденсатор подключен к источнику б постоянного напряжения,через ключ 7 датчик через нагрузочное сопротивление 8 .и источник 9питания подключен к измерительномуприбору 10.Устройство работает следующимобразом.При помещении датчика в газовуюсреду с низкой концентрацией измеряемого газа молекулы газа адсорбируются поверхностью полупроводниковой пленки, однако их концентрация на поверхности недостаточна дляточного определения концентрации газа. При включении конденсатора 1происходит смещение уровня Фермиполупроводниковой пленки и увеличивается ее адсорбционная способность. Это приводит к тому, чтоповерхность пленки адсорбируетбольше молекул измеряемого газа,что вызывает большие изменения тока,текущего через пленку, и позволяетточно определять концентрацию измеряемого газа.Испытания показывают, что предлагаемый датчик может быть использовандля определения различных, в томчисле и очень малых, концентрацийгазов в различных средах,1052972 Составитель Л. Дикая ктор ВПетрам Техред Ж. Кастелевич Корректор аф Зимокос/5 Филиал ППП фПатент", г. Ужгород, ул, Проектная Заказ 8860/40 ТирВНИиПИ Госуда по делам изо 113635, Москв 873 твенног ретений Ж, Подписнокомитета СССРоткрытийушская наб.,
СмотретьЗаявка
2537785, 01.11.1977
ВОРОНЕЖСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
КЕЙЗМАН ВИКТОР БОРИСОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01N 27/04
Метки: газов, датчик, концентрации
Опубликовано: 07.11.1983
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1052972-datchik-dlya-opredeleniya-koncentracii-gazov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик для определения концентрации газов</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления полупроводникового чувствительного элемента
Следующий патент: Газоанализатор
Случайный патент: Способ диагностики нарушения периферического кровообращения