Диффузионный вакуумный насос

Номер патента: 1042397

Авторы: Великанов, Горбунов, Куликов

ZIP архив

Текст

"(19) (1) СОЮЗ СОВЕТСКИХСоцидлистическихРЕСПУЬЛИК юи М Сея госин стВр+ю ВЕДОМСТВО ССС ГОСПАТЕНТ СССР/НИЕ ИЗОБРЕТЕНЙЯмУ сВКДетелЬсхвУ АВГОРС 2 1(71) Специальное. конструкторское бюро 1 те:. центриано распэнергохймической аппаратуре и. мавийам:. экраны и размеЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ ащий корпус, установленнсационную панель и коноложенные перед панелью щенные между ними рабои ч а ю щ и й с я тем; что, с ия конструкции и повышействия, корпус снабжен доеоплами, расположенными ей поверхности под углом к ьИзобретение относится к вакуумнойтехнике.Известен диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус, установленную нанем конденсационную панель и концент- Брично расположенные перед панелью экраны и размещенные между ними рабочиесопла.В известной конструкции в радиальномзазоре между экраном и корпусом располо-. 10жен разделительный элемент, выполненный из йизкотеплопроводного материаламалой товщины, Назначение этого элемента - разделение высоковакуумной и низковакуумных полостей насоса, 18Необходимость установки этого элементаусложняет конструкцию насоса,Целью изобретения является упровение конструкции и повышение быстротыдействия. 20Указанная цель достигается тем. что вдиффузионном вакуумном насосе, содержа-щем корпус, установленную в неМ конденсационную панель и концентричнарасположенные перед панелью экраны и 25размещенные между ними рабочие сопла,корпус снабжен дополнительными соплами, расположенными на его внутренней поверхности под углом к оси насосе, .На фиг. 1 изображен продольный разрез описываемого насоса. на фиг, 2 - вид Ана фиг, 1.Диффузионный вакуумный насос содер.жит корпус 1, установленную в нем конденсационную панель 2 и концентрично ЗБрасположенные перед панелью экраны 3 иразмещенные между ними рабочие сопла 4.Корпус 1 снабжен дополййтельными соплами 5, расположенными на его внутреннейповерхности под углом к оси насоса. К полости корпуса 1 подключен форвакуумный насос 6,Насос работает следующим образом.Форвакуумным насосом 6 вакуумированный объем откачивается до давления запуска диффузионного насоса (Ьбычно 10 10 Торр), после чего захолаживаются жидким азотом экраны 3 и панель 2. В сопла 3 и б подается рабочее тело, например двуокись углерода, которое истекает из сопел в направлении панели 2. Откачиваемый газ диффундирует в срую рабочего газа, снижается ею и переносится в сторону форвакуумного насоса 6. Рабочее же тело, соприкасаясь с холодными поверхностями экранов 3 и панели 2, десубпимируется й накапливается в виде слоя десублимата. Механизм действия струй рабочего тела, истекающих из дополнительных сопел б, аналогичен описанному, кроме того, они взаимодействуют не с двумя вымораживавщими поверхностями экранов 3, а только с наружной поверхностью внешнего экрана 3. В отлйчие от азотоохлаждаемой поверхности экранов З.стенка корпуса 1 может стать источйиком обратного потока рабочего тела в откачиваемый объем. Этот пристеночиый поток .уменьшается установкой непосредственно внутренней поверхности корпуса:дополнительйых сопел:5.Откачивающая способность этих сопел реализована в большей степени при развороте их под углом к оси насоса с одной стороны, а с другой - будет уменьшен выброс рабочего тела в форвакуумную магистраль.Такйм образом, установка дополнительных сопел в полости между внутренней поверхностью корпуса экраном позволяет устранить переток газа из форвакуумной полости в высоковакуумную.: 1642397 ехред М. Морген Корректор А, Обруч лоскова едактор Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента 35, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5

Смотреть

Заявка

3379408, 04.01.1982

Специальное конструкторское бюро по энергохимической аппаратуре и машинам "Энергохиммаш"

Великанов Е. Г, Горбунов Г. С, Куликов В. П

МПК / Метки

МПК: F04F 9/02

Метки: вакуумный, диффузионный, насос

Опубликовано: 15.10.1993

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1042397-diffuzionnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Диффузионный вакуумный насос</a>

Похожие патенты