Способ изготовления электронно-оптической системы и электронно-оптическая система

СОЮЗ СОВЕТСНИХсаВчлюъапе иРЕСПУБЛИК Д) Н 01 Х 90 ПИСАНИЕ НИЯ;" РЕТ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬГГИ К АВТОРСКОМУ С(56) 1. Гейзлер Е.С.иДр".Способ повышения количества арматур злектроннооптических систем. - "Электроннаятехника", сер. 4, 1978, В 4, с.108109,2. Пациент Швейцарии В 491496,кл. Н 01 У 9/02, опублик. 1970 (прототип)54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННООптигескОИ систЕМЫ и электРОннО-ОпТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА(57) 1. Способ изготовления электронно-оптической системы, включающийсборку диафрагм на арматуре и последовательное электроискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мереувеличения диаметра отверстий прицентровке инструмента по отверстиямбольшего диаметра, о т л и ч а ющи й с я тем, что, с целью повьпае,Я 01 035674 А ния тоМности изготовления, производят сборку первой группы диафрагм с увеличивающимися рабочими. диаметрами отверстий, после их пбследовательного прошиванияустанавливают вторую группу диафрагм с отверстиями меньших рабочихдиаметров по отношению к предыдущим и повторяют Операцию прошивания, начиная с первой из второй группы диафрагм.2. Электронно-оптическая система, содержащая первую группу диафрагм с увеличивающимися по ходу пучка диаметрами отверстий и вторую группу диафрагм с отверстиями меньших диаметров по отношению к предыдущим диафрагмам, отличающаяся у тем, что, с целью повышения точности изготовления, она снабжена технологическими пластинами, закрепленными в арматуре в месте расположения С диафрагм второй группы и имеющими отверстия, диаметр которых не менее диаметров отверстий смежных диафрагм первой группы, а диафрагмы второй груп- Ффффф пы закреплены на указанных техноло- гических пластинах.Изобретение относится к электронной технике, в частности, к способам изготовления электронно-оптических систем ( ЭОС ) и их конструкциям.Известен способ изготовления ЭОС, включающий электронноискровое про шивание отверстий в диафрагмах после их сборки 1 .Однако этот способ неприменим для ЭОС, снабженных вырезывающими 1диафрагмами с малым диаметром отвер стия, и не обеспечивает необходимой точности для протяженных систем.Наиболее близким к предлагаЕмому по технической сущности является способ изготовления ЭОС, включающий сбор 15 ку диафрагм на арматуре и последовательное электроискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мере увеличения диаметра отверстий прй центров ке инструмента по отверстиям большего ;диаметра.По этому способу используют для прошивания электрод в вйде -ступенчатого стержня, который через ка-: либр базируется по внутренней поверхщсти последнего электрода ЭОС 23.1 25Известный способ также не позволяет получить с требуемой соосностью отверстия различного диаметра, расположенные не в порядке увеличения их диаметра. Использование про- . З 0 тяженного прошивающего электрода не обеспечивает необходимого центрирования, что приводит к искажениям Формы отверстий. Такой инструмент сложен и быстро изнашивается.Цельизобретения - повышение точности изготовления ЭОС.Укаэанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления ЭОС, включающему сборку диафрагм на арматуре и последовательное элект 40 роискровое прошивание отверстий в диафрагмах по мере увеличения диаметров отверстий при центровке инструмента по отверстиям большего диаметра, производят сборку первой груп пы диафрагм,с увеличивающимися рабочими диаметрами отверстий, после их последовательного прошивания устанавливают вторую группу диафрагм с отверстиями меньших рабочих диаметров 50 по отношению к предыдущим и повторяют операцию прошивания, начиная с первой из второй группы диафрагм.При этом целесообразно ЭОС, содержащую первую группу диафрагм с уве- . личивающимися по ходу пучка диамет" рами отверстий и вторую группу диафрагм с отверстиями меньших диаметров по отнбшению к предь 1 дущим диафрагмам, снабдить технологическими пластинами, закрепленными в армату ре в месте расположения диафрагм второй. группы,и имеющими отверстия, диаметр которых не менее диаметров отверстий смежных диафрагм первой групп, а диафрагмы второй группы 65 закрепляются на указанных технологических пластинах.На фиг.1 и 2 показана последовательность операций прошивания отверс тий в диафрагмах для одной из схем ЭОП.Электронно-оптическая система экю чает последовательно размещенные по ходу пучка катод 1, модулятор 2, первый электрод 3 и второй электрод 4 линзы подфокусировки, третий (вырезывающий ) электрод 5 линзы подфокусировки, дополнительную диафрагму б и дополнительный электрод 7, Фокусирующий электрод 8 и анод 9. На месте третьего электрода 5 линзы подфокусировки устанавливаются в арматуре 10 например, две технологические пластины 11 и 12 с отверстиями 13 и 14, равными .или большими по диаметру отверстиям в электроде 4. Инструмент выполнен в виде кондуктора 15, состоящего из полого цилиндра 1 Ь с Отверстием 17 и прижима 18 с отверстиями 19,которые Фиксируются по цилиндрической поверхности 20. Кондуктор центрируется внешней цилиндричес.Кой поверхностью 21 по отверстиям второго электрода 4 линзы подфокусировки и дополнительной диафраг мы б. По оси кондуктора устанавливается электрод 22 для прошивания отверстий в диафрагмах. Корпусная нера- бочая часть 23 кондуктора упирается во внутренний торец фокусирующего электрода 8.Способ изготовления предложенной схемы ЭОС реализуется следующим образОм.В арматуре собирают первую группу диафрагм; модулятор 2 и первый электрод 3 линзы подфокусировки без отверстий. Все последующие диафрагмы и электроды выполнены с увеличивающимися диаметрами отверстий. Но если какой либо из последующих электродов имеет меньший диаметр отверстия ( вторая группа, в данном случае третий электрод 5 линзы подфокусиров" ки , то он заменяется одной или дву" мя технологическими пластинами с отверстиями, равными или большими отверстий смежных диафрагм, После этого осуществляют прошивание отверстий в модуляторе 2 и электроде 3 и удаляют кондуктор 15. Между технологическими пластинами устанавливают и закрепляют точечной сваркой электрод 5 и снова осуществляют прошивание отверстия в укаэанном электроде с.помощью кондуктора аналогичной конструкции, центрируя его по отверстию следукщей диафрагмы. Таким образом получают отверстия во второй группеодной или более диафрагмах).Последовательная обработка отверстий и взаимная центровка кондуктора по отверстиям в диафрагмах поэзо ляет достичь соосности отверстий1035674 Составитель В. Гав ркшинТехред В,далекоРей Корректор З,ференц актор К ощук Заказ 5844/5 Тиран 703 ПодписноеГосударственного комитета СССРам изобретений и открытий.различного диаметра, расположенных не в порядке увеличения. Из-за мало- го расстояния кондуктор - прошиваемый электрод обеспечивается высокая .точность направления провивающего электрода 22, а следовательно, и,точность получения форвй,отверстия.При этом кондуктор прост в эксплуатации и долговечен. В целом ЭОС изготавливается с более высокой точностью и имеет повыаенную разрешающую 5 способность.