Электронный микроскоп

1 10234Изобретение относится и электронныммикроскопам и рентгеновским микроанализаторам.Известны электронные микроскопы,содержащие вертикапьную электронно-оптическую колонну, каркас и средствадемпфирования, выполненные в виде деформируемых камер с демпфирующей жидкостью 1,Известные микроскопы характеризуют Ося большими габаритами и весом.Наиболее близким к изобретению техническим решением является электронный микроскоп, типа 3 ЕМЗОВ и 3 ЕМ,содержащий наклонную электроннр-опти-5ческую колонну, каркас и средства амортизации н демпфирования, обеспечивающие нечувствительность микроскопа кобычным колебаниям зданий 2 .В этом микроскопе электронно-оптическая колонна закреплена в каркасе жестко, а амортизация и демпфирование осуществляется по отношению к каркасу иколонне в целом, что увеличивает вес игабариты устройства, хотя микроскопыданного типа обладают лучшими весовыми характеристиками, нежели рассмотренные.Бель изобретениями- уменьшение габаритов и веса электронного микроскопа.Поставленная цель достигается тем,,что в электронном микроскопе, содержащем электронно-оптическую колонну, каркас и средства амортизации и демпфирования колебаний, электронно-оптчческаяколонна закреилена в горизонтальном положении в средствах амортизации, которые выполнены в виде, по крайней мере,одной кольцевой пружины, зажатой черезпрокдадки иэ демпфирующего материала 4между фиксирующими пластинами.При этом, по крайней мереодна иэфиксирующих пластин представляет собойэлемент каркаса.Диаметр кольцеВых пРужин не огРаничен габаритами прибора и выбран изусловия максимального снижения (доединиц герц) собственной частоты колебаний системы колонна-пружина. Предложенная конструкция позволяет при горизонтальном положении электроннооптической колоннь 1 в условиях малых габаритов прибора уменьшить расстояние.между амортизаторами и центром тяжестиколонны и применить амортизаторы сравнительно большой дпины (диаметр колец)с улучшенным, по сравнению с прототипом, демпфированием. В условиях переносного, малогабаритного прибопа все ска 45 2занное позволяет реализовать все параметры, являющиеся следствием улучшенной системы амортизации и демпфирования.На фиг. 1 и 2 изображен электронный микроскоп общий вщ в двух проекциях.Электронный микроскоп содержит электронно-оптическую колонну 1 с держателем образцов 2, укрепленным в камере образцов 3, расположенную горизонтально и подвешенную к каркасу 4 с помощью бандажа 5 через кольцевые пружины 6. Кольцевые пружины 6 прижаты к боковым стойкам каркаса 4 пластинами 7 через демпфирующие прокладки 8. Пластины 7 крепятся к каркасу 4 винтами 9. Каркас 4 с амортиэируемой частью электронно-задового устройства установлен на столе 10, играющем роль фундамента. Диаметр кольцевых пружин 6 и их предварительное растяжение выбраны, исходя иэ известного соотношения=. -"Фьогде- собственная частота колебанийоупругой системы, Гц,1 - частота колебаний возмущаю-.щей силы, Гц;И - осадка упругого элемента, см.Таким образом, собственная частота колебаний упругой системы колонна 1- кольцевые пружины 6.в несколько раэ ме ныне частоты вынужденных колебаний, вызываемых возмущающими силами внешнего происхождения. Демпфирующие прокладки 8 выполнены из материала с повышенными внутренними потерями, например из войлока, паралона и др. Вертикальная возмущающая сила, действующая на каркас 4 и верхние части кольцевых пружин 6 с частотой, превышающей собственную частоту колебаний упругой системы, деформирует пружины таким образом, что амплитуда колебаний нижних частей кольцевых пружин 6 во много раэ меньше амплитуды колебаний каркаса 4 и верхних частей кольцевых пру жин 6. Благодаря этому возможно повысить разрешающую способность переносного малогабаритного электронного микроскопа, так как при рабате на предельных разрешениях основным ограничивающим . фактором является вибрация электронно- оптической колонйы и держателя образцов, При возникновении колебаний колонны 1Ы. р Кононовь Корректор А, Фе тавительред М.Герг Редактор Т. ПарфеноЗаказ 224/3 9 Тираж 703 ВНИИПИ Государственногопо делам изобретений 113035, Москва, Ж,Подписное омитета СССР и открытий аушская наб., д 4/5, ул. Проектная, 4 3 1023445 4под действиеМ ударов и толчков с собст- го трения в материале демпфера, что привенной час.готой колебаний системы, . водит к успокоению системы.кольцевые дружной 6 также деформируюэ 1Горизонтальная подвеска электроннося из-еа действия. на них возмущающей оптической колонны на плоских кольцевых силы со стороны колонны 1, При дефор прукинах большого диаметра при испольмации. кольцевых пружин 6 боковые их зовании деформации кольцевых пружин участки сменяются относительно пластин для эффективного демпфирования позволя, и каркаса 4, воздействуя на прокладки ет создать малогабаритный переносной 8. Энергия колебаний колонии 1 в этом растровый электронный микроскоп с преслучае расходуется на преодоление вязкодельной разрешакпцей способностью.