Криосорбционный насос

) св В 37 ОБ ТЕНИ ТВУ убнтут низй ССР к(5 х ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕН АВТОБУСНОМУ 0 ВИДЕТЕЛ 61) 566.95821 ) 3405592/25-0622) 01.03.8246) 30.05.83. Бюп. М 2072) И.Д.Абушенков, В.К. ЧернецкийВ. Я. Ильичев71) физико-технический иистих температур АН Украинско3) 621.527,8 (088.8)56) 1. Авторское свидетельство СССе 566958, кп, Р 04 В 37/02, 1975(54)(57) 1. КРИОСОРББИОННЫЙ ИАСОС по авт. св. % 566958, о г и ич а в щ и й с я тем, что, с целью по. вышения быстродействия, он снабжен раположенными в сосуде по окружности грками, а лабирнигиый кана для газа подключен к пат рубкам при помощи этих г рубок,2, Насос по л. 1, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что трубки вьцвпненыкриволинейными и закреплены в гордонамстенках сосуда,1 1020Изобретение относится к вакуумнойтехнике.По основному авт. св. М 566958известен криосорбционный насос, содержащий корпус с периферийным патрубкомввода откачиваемого газа й йентральнымотводным патрубком и. размещенные вкорпусе охпаждающий элемент и слой сор бента, при этом охлаждающий эпементвыполнен в виде сосуда с коаксиапьнымивыступами, входящими в спой сорбентас образованием пабиринтного канала дпягаза, подкпюче.нного к патрубкам 1.Недостатком известного криосорбционного насоса является то, что откачимемый газ, поступающий от вакуумируемогообъекта к сорбенту, имеет сравнительновысокую (комнатную) температуру и мопе купы газа обладают большой энергией,вследствие чего сиижается быстродействиенасоса, поскольку мопекупы,теппого газаплохо поглощаются сорбентом,Цепь изобретения - повышение быстродействия насоса.Указанная цепь достигается тем, чтокриосорбционный насос, содержащий корпус с периферийным патрубком ввода откачиваемого газа и центрапьюлм отводным патрубком, и размещенные в корпусе охлаждающий эпемент и спой сорбента, при этом охлаждающий элементвыполнен в виде сосуда с коаксиапьнымивыступами, входящими в спой сорбента собразованием пабиринтного канала дпягаза, подключенного к патрубкам, снабжен расположенными в сосуде по окружности трубками, и пабиринтный канап дпягаза пошспючен к патрубкам при помощиэтих трубок.40Трубки могут быть выполнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда.На фиг. 1 изображен предпагаемыйнасос, продольный разрез; на фиг. 2 45разрез А-А на фиг. 1.Криосорбционный насос содержит корпус 1 с периферийным патрубком 2 вводаоткачиваемого газа и центральным отводным патрубком 3, и размещенные в 50 633 2корпусе 1 охлаждающий элемент и спойсорбента 4. Охлаждающий элемент выполнен в виде сосуда 5 с коаксиапьными выступами 6, входящими в спой сорбента4 с образованием пабиринтного каналадля газа, подкпюченного к патрубкам 2и 3. Насос снабжен расположенными всосуде 5 по окружности трубками 7. Лабиринтный канал дпя газа подключен кпатрубкам 2 и 3 при помощи трубок 7,которые выполнены кривопивейными изакреплены в торцовых стенках сосуда 5.Криосорбционный насос работает следующим образом.Охпаждаемый сорбент 4 поглощает газ,находящийся внутри корпуса 1 насоса, врезультате чего в нем возникает вакуум,и газ от вакуумируемого объекта начинает поступать через патрубок 2 в насос.При достижении вакуума на выходе начинает работать диффузионный насос ( непоказан), который создает на выходе криосорбционного насоса давление меньше,чем на входе. Благодаря поученной разности давпейий оток газа последовательно прокачивается через трубки 7 и пабиринтный канал, Молекулы откачиваемогогаза, проходя через трубки 7, выполненные кривопинейными, т,е. оптически непроницаемыми, испытывают многократныестолкновения с охлажденными внутренними поверхностями упомянутых трубок,обмениваясь с ними энергией, т.е. охлаждаясь. При этом газ охлаждается до температуры, близкой к температуре жидкогохпадагента, энергия молекул газа уменьшается, в резупьтате чего он более эффективно поглощается сорбентом 4, иувеличивает быстродействие криосорбционного насоса, Благодаря большомучислу трубок 7 обеспечена высокая проводимость теплообменника,Таким образом, в предпагаемом криосорбционном насосе повышено быстродействие благодаря предваритепьному охпаждению мопекуп откачиваемого газа в трубках, помещенных в сосуде с жидким хпадагентом.Патент, г. Ужгород, уп. Проектная 71/32 Тираж 665ВНИИПИ Государственного копо депам изобретений и113035, Мосяа, Ж-.35, Рауш Подписноета СССРрытийская вабд. 4/5