Способ определения параметров проводника

-ч: стиков, Е. И: Мозжухин п тМОбйльно сьльный институт авти амоцриборов: аучно-исследовательский э электрообо(7) Заявитель ан ОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПРОВОДНИКА(5 бретен е относится к измерительной ожет быть использовано для нейных размеров и площадей дящих слоев проводников и пособ определения параметров проводника, заключающийся змеряют общее электросопроводника при комнатной темпе а отсутствия уче одни ков.деление парамет технике и измерения ика,, что сорующий отжигй выби зм е, - температура измерения, К;-- интервал температур, в которомВЖне происходят полиморфные пре.вращения слоев проводника, К;дт = 30-50 К.Способ определения параметров проводника осуществляется следующим образом,Многослойный проводник подвергают сбилизирующему отжигу. Не допускается Огрев проводника выше температуры возмго взаимодействия слоев между собой. Оммаждают проводник до температуры на 30 - 50 Книже верхней граничной температуры интервагд Недостатком способа является неомость наличия априорной информацииметрах одного из слоев.Наиболее близким к изобретениюнической сущности является способния параметров проводника, заключав том, что измеряют общее электростивление проводника при различныхратурах и по результату решения сисуравнений судят о параметрах проводи о тех определеющийопротанаожно. емп 2 мыика 2 Недостаток укаэанного способа состоитневозможности измерения параметров мно. электропровопокрытий,Известендвухслойногов том, что итивление проратуре 1). гослойных проводников изта характеристик слоев проЦель изобретения - опре ров многослойного проводиЭта цель достигается тем способу проводят стабилизи проводника, а температуры рают из условияСоставитель Н. БирюковаТехред Т,Маточка Корректор Г, Огар Редактор Н, Бобкова Заказ 105/53 Тираж 600 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб д, 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 9 ла отсутствия полиморфных превращений ело. ев, измеряют общее злектросопротивление проводника, Постепенно, снижая температуру многослойного проводника, производят изме. рение общего электросопротивления проводника столько раз, сколько слоев имеет проводник, Последнее измерение проводят при температуре на 30 - 50 К выше нижней граничной температуры интервала отсутствия полиморфных превращений слоев. Решая систему уравнений зависимостей общего электросопротивления многослойного проводника от геометри. ческих параметров слоев проводника, температур, при которых производились измерения, и других параметров, определяют неизвестные Параметры проводника.Для двухслойного проводника площади8, и 8 з поперечных сечений двух слоев проводника вычисляют по формуламМЙ 1 ЙТ 1) Йдт о ) (с - я.кЬ-КВЙТ 1)д Ы 1 г) ъЫ- са)1 где В - общее электросопротивление проводника, измеренное после осуществления стабилизирующего отжига проводника и охлаждения последнего до температуры Тна30 - 50 К ниже верхней границы ф интервала отсутствия полиморфныхпревращений слоев проводника; Яз - общее электросопротивление про. водника, измеренное при комнатной температуре Т;Т = Т,-Т.; 91142о - удельные электросопротивления) гаматериалов первого и второго слоев проводника соответственно;0.1, о( - температурные коэффициенты5 злектросопротивления материаловпервого и второго слоев проводни.ка соответственно.Предлагаемый способ дает возможность определять различные геометрические парамет 1 Е ры многослойных проводников при минималь.ной априорной информации,1Формула изобретения1Способ определения параметров проводника,15 заключающийся в том, что измеряют общееэлектросопротивление проводника при различных температурах и по результату решениясистемы уравнений судят о параметрах про.водника, отличающийся тем,29 что, с целью определения параметров много.слойного проводника, проводят стабилизирующий отжиг проводника, а температуры измерений выбирают из условия6 +и; -ь 1,25 Ннгде т; - температура измерения, К;т - т - интервал температур, в котором цеН Ьпроисходят полиморфные превращения слоев проводника, К;30 Ьт = 30 50 К,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. "МетаИ", 18.,3 аЬгдапд, ЗертеЬтег, 1964,Ней 9, 88 957 в 9,35 2. Орнатский П. П. Автоматические измерения и приборы, Киев, "Вища школа", )971,с. 22-23 (прототип).