Вакуумный переключатель

Номер патента: 94891

Авторы: Безлепкин, Зайцев, Козин, Розенфельд

ZIP архив

Текст

СССР ЕН ОПИСАНИЕ ИЗОБР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ ТВУ А. М, Розенфельд, П, В, Зайцев, С. В. Безлепк 44 н н А. А; Козиц ВАКУУМНЫЙ: ПЕРЕКЛЮЧР ГЕЛЬ.ннстерствс В настоящее время для вакуумных перекл вустановках различного типа (электронные микрои другие) пользуются кранами с коническими ш. илительными устройствами клапанного типа,Однако оба эти типа вакуумных переключателей имеют существенные недостатки, а именно: краны с кониче"кими шлифами, особенно многоходовые, ненадежны в работе, требуют частых перетирок и быст. ро выходят из строя; распределительные устройства клапанного типа, хотя и более надежные в работе, как правило, имеют большое количество вакуумных спаев, сложны в изгстовлении, а соорка и разборка их требуют вьюокон квалификации.Для устранения указанных недостаткоз в предлагаемом вакуумном переключателе, выполняемом с корпусом, имеющим несколько вакуумноразделенных камер, уплотненных резиновыми манжетами, для осу. ществления сооощения между камерами применен возвратно-поступательно движущийся сердечник, снабженный продольными и радиальными отверстиями. Сердечник применен с целью упростить изготовление и повысить надежность и удобство эксплуатации вакуумного переключателя.На чертеже представлено устройство описываемого переключателя, Переключатель имеет корпус 1 и сердечник 2. Корду:, уплотненный крышками 3 и 4, разделен на камеры 5, б, 7 и 8 с выходными патрубками, служащими для соединения вакуумного переключателя соответственно с форвакуумным, насосом и форвакуумным баллоном, откачиваемым прибором и диффузионным насосом. Каждая из этих камер вакуумно уплотнена манжетами 9, которые одновременно служат для уплотнения сердечника.2.Последний состоит из соединенлом 11 на одном конце, ступенчатогналами 13 и 14 различных диаметрверстий 15, 16, 17 и ступенчатого ва. юченииоскопы,пифами у собой: вала 10 с кана. с двумя продольными ка.я рядами радиальных от ных междо вала 12ов и треьпа 18,94891 Благодаря возвратно поступательному движению сердечника, уплотненного манжетамн, можно устапавт 1 ивагь следуюнне положен 11 я переключателя:Откачка прибора форвакиулсным насосолс. При этом отверстия 15 находятся в камере 5 корпуса, отверстия 16 в камере 7, а отверстия 17 в камере 8.Откачка форвак 11 умного баллона, соединенного с диффузионным насосом. При этом отверстия 15 находятся в камере 5, отверстия 16 в камере 6, а отверстия 17 в камере 8Откачка прибора диффузионным насосом и форвакуумным насосом (через баллон и диффузионный насос), При этом отверстия 15 находятся в камере 5, отверстия 16 в камере б, а отверстия 17 в камере 7 (рабочее положение),Закрыто. В этом положении форвакуумный насос откачивает сам себя; при этом отверстия 15 находятся в камере б, отверстия 16 в камере 7, а отверстия 17 в камере 8. В этом положении путем нажима на кнопку 19 можно осуществить пуск воздуха в форвакуумный насос. Пуск воздуха в прибор осуществляется путем поворота сердечника на определенный угол; при этом выступ 20 нажимает на конец стержня 21 клапана 22 для напуска воздуха в прибор, Выступ расположен таким образом, что напуск воздуха в прибор возможен только тогда, когда ни один из рядов отверстий не находится в камере 7 корпуса переключателя. Это исключает возможность случайного пуска воздуха в форвакуумный баллон и диффузионный насос. П редмет изобретения Вакуумный переключатель с корпусом, имеющим несколько вакуумноразделенных камер, уплотненных резиновыми манжетами, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения изготовления и повышения надежности и удобства в эсплоатации, для производства переключений применен возвратно-поступательно движущийся сердечник, снабженный продольными и радиальными отверстиями, служащими для осуществления сообщения между камерами,гг г я О 7 /Р гд 7 и Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССРРедактор А. К. Лейкина Подп. к печ, 5.И 11-59 г.Тираж 360 Цена 25 коп. Инфомационно.издательский отдел,Объем 0,17 п. л. Зак. 5795 Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Петровка, 14.

Смотреть

Заявка

445208, 20.03.1952

Безлепкин С. В, Зайцев П. В, Козин А. А, Розенфельд А. М

МПК / Метки

МПК: H01J 7/22

Метки: вакуумный, переключатель

Опубликовано: 01.01.1953

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-94891-vakuumnyjj-pereklyuchatel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный переключатель</a>

Похожие патенты