Способ контроля герметичности

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоаетскикСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(23) Приоритет -Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытийИзобретение относится к испытательной технике, в частности к контролю герметичности замкнутых иэделий,Известен способ контроля герметичности замкнутых изделий, заключающийся в том, что испытуемое изделие помещают в контрольную камер вакуумируют ее соединяют камеру с датчиком давления и о герметичности изделия судят по уровню давления в системе измерения, достигаемому к моменту завершения откачки 1).Данный способ имеет ограничение по верхнему пределу обнаруживаемых течей в негерметичных изделиях. Это вызвано тем, что через крупные дефекты газ откачивается практически сразу.Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигае-. мому эффекту является способ контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключающийся в том, что испытуемое изделие опрессовывают при повиаенном 2 давлении пробного газа, выдеркивают изделие на воздухе для десорбцни пробного газа с поверхносТи изделия и помещают его в контрольную камеру для последующей индикации пробного 3 газа, вытекающего из.изделия,с помощью масс-спектрометрического анализатора (21,Этот способ обладет высокой чувствительностью при поиске малых течей,но не позволяет выявлять изделия сбольшими течами так как пробный газуспевает вытечь из изделия до помещения его в контрольную камеру эавремя, необходимое для десорбциипробного газа с поверхности изделияпосле опрессовки.Цель изобретения - расширение диапазона выявляемых утечек в сторонубольших течей,Эта цель достигается тем, что вспособе контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключающимся втом, что испытуемое изделие опрессовывают при повышенном давлении пробного газа, выдерживают иэделие навоздухе для д орбции пробного газас поверхности зделия и помещают егов контрольную камеру для последующей индикации пробного газа, непосредственно перед помещением в контрольную камеру испытуемого иэделияподвергают его дополнительной кратковременной опрессовке в пробном га917019 Формула изобретения Составитель В. МакаровТехредМ. Тепер Корректор Г. Огар Редактор И. 1 ыкей Тираж 883 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113635, 1 чосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 1875/6 О Филиал ППП фПатент, г. ужгород, ул. Проектная, 4 зе при давлении 0,1-5 атм в течение времени 1-15 с.Способ осуществляется следующим образом.Замкнутые изделия опрессовывают при повышениом давлении (С = 48 ч, р = 3 атм; или й = 3 ч, р = 5 атм 1, Затем иэделия выдерживают на возду,хе, как правило, не менее 10 мин для десорбции с их поверхности пробного газа. Через большие течи проб- (О ный гаэ эа зто времятеряетсяф иэ изделия. Поэтому непосредственно перед помещением в контрольную камеру испытуемое изделие подвергают дополнительной кратковременной (5 оарессовке в пробном газе прн давлении 0,1-5 атм в течение времени 1- 15 с. Затем изделие помещают в контрольную камеру для индикации пробного газа, вытекающего из негерме О тнчного изделия.укаэанный режим дополнительной опрессовки обеспечивает надежное проникновение пробного газа в изделия с грубыми течами и в то же время вели чина потоков десорбции пробного газа сразу после опрессовки незначительна и ие мешает достижению высокой чувствительности испытаний. Это дает возможность не выдерживать на воздухе изделияпосле дополнительной опрессовки, а помещать нх в контрольную камеру, сводя к минимуму потери пробного газа из изделия через грубые течи. Благодаря дополнительной опрессовке существенно расширяется диапазон выявляемых утечек в сторону больших течей. Предлагаемый способ дает воэможность существенно сократить стоимость испытательного оборудования, занимаемые им производственные площади, расход потребляемой оборудованием электроэнергии. Способ контроля герметичности замкнутых изделий, например полупроводниковых приборов, заключающийся втом, что испытуемое изделие опрессовывают при повышенном давлении пробного газа выдерживают иэделие навоздухе для десорбции пробного газас поверхности изделия и помещаютего в контрольную камеру для последу.ющей индикации пробного газа, вытекающего из изделия, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона выявляемых утечекв сторону больших течей, непосредственно перед помещением в контрольную камеру испытуемого изделия подвергают его дополнительной кратковременной опрессовке в пробном газенри давлении 0,1-5 атм. в течениевремени 1-15 с.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Франции й 137 И 06,кле О 01 Ь, 1963.2. Левина Л.Е., Хавкин Л.П.Влияние режимов опрессовки в гелиина пороговую чувствительность массспектромвтрических испытаний на герметичность замкнутых оболочек.фЭяектронная техннкаф. 1977,сер. 2, вью. 7(1772 (прототип) .