Коллектор электронов

Оп ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ, СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Совет скияСоциалистическияРеспублик и 858137(51 Н 01 Х 1/02 Государстюиый колите СССР оо делам изобретений и отиритий(53) УДК 621,3, . 047.2( 088,8 Дата опубликования описания 23,08.8(54) КОЛЛЕКТОР ТРОНОВ тогда 1восходлективгни при огда потенциал коллектора преэнергию электронов помехи. Сеости электронного потока по энертаком коллекторе обеспечить нельЦель изобретения - обеспечение селе ности электронного потока по энерги Поставленчто коллектиспользуемыности электручастков сричной электучастков выпотношениюп- )= де 5 п - площ бп -ко нойчастк Изобретение относится к электроннойтехнике, в частности к области контроляэлектронно лучевой технологии, например,электронно-лучевой сварки, когда контролируемым параметром является потокэлектронов, эмиттированных из зонысварки.Известны устройства для контроляплотности электронного потока, представляющие собой электронно-оптическую систему из нескольких электродов, подаваяна которые определенные потенциалы можно выделить любую желаемую часть спектра электронов 13Однако такие устройства сложны иприменение их в производственных услоМвиях затруднено.Известны также коллекторы для устройств контроля плотности электронногопотока, выполненные из проводящего ма 120териала, например, в виде цилиндра фара-.дея 121,В таких устройствах полезный сигналможно выделить на фоне помех только ная цель достигается тем, ор из проводящего материала, й в устройствах контроля плотонного потока, выполнен иэ разными коэффициентами второнной эмиссии, а площади олнены удовлетворяющими соадь о -го участка;эффициент вторичной электронмиссии и -го участка притируемой энергии алек рКоллектор электронов для устройствконтроля плотности электронного потока,выполненный из проводящего материала,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью обеспечения сепективности электронного потока по энергии, коллектор выполнен из участков с разными коэффициентами вторичной электронной эмиссии, в площаци участков выполнены удовлетворяющими соотношениюХ, - 1) =о,где 5 п - площадь й -го участка;- коэффициент вторичной электрониной эмиссии о -го участкапри сепектируемой энергии электронов;35- количество участков.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Добрецов Л,Н. и Гомоюнова М,В.Эмиссионная электроника. Наука " 1966,с, 317-3222. Патент США Ж 3426174,кл. 219-121, 1969 (прототип). НИИПИ 7260/87 Тираж 784 Подписное филиал ПП атент", г.Ужгород, уп. Проектная, 4 3 6861Таким образом, в качестве коллектораиспользуется вторично эмиссионный эмитгер с вполне опрецеленной структурой егоповерхности,На чертеже схематически представленпример реализации предлагаемого коллектора.Коллектор 1 электронов, выполненныйиз проводящего материала, выполнен наборным. Участки 2, 3, 4 коллектора 1 10имеют различный коэффициент вторичнойэлектронной эмиссии.Коллектор 1 размещают в контролируемом потоке электронов, обладающих разными энергиями. При равномерной плотности электронного потока при общем количестве электронов Ко и общей ппощаци коллектора 1 Бо нв любом участке (2,3, 4) коллектора 1 оседает -Я Я эпекМ5 отронов (где и номер участка).За счет вторично электронной эмиссиис этого участка ( 2, 3, 4) одновременноэмиттируется -;Р- Э и Ьп электронов, гдеЯлЬп - коэффициент вторичноэлектроннойэмиссии. Ток с этого участка (23 или 4)Р Мо-)= -- 5 (1-й )5 Огде 9 - заряд электрона;Й. - время,Ток со всего коллектора 1Ноо = - ДР-и)Ь 5 з НУчитывая, что коэффициент вторичнойэлектронной эмиссии зависит от энергииэлектрона, можно подобрать соотношениеплощадей и материалов участков, чтобыдля определенной энергииЕ (6-1)=0При этом коллектор 1 не оудет чувствителен к электронам с заданной энергией. Пример реализации соответствует равномерно распределенной в пространстве плотности потока электронов. Если эта плотность неравномерна, площади участков коллектора всегда можно выбрать такими, что в его пределах плотность потока электронов можно считать равномерной, т.е. онв не вносит существенных ошибок.Использование предлагаемого устройства позволяет созцаввть коллекторы электронов, обладающие свойством селектировать электроны с определенными энергиями, что повышает помехозащищенность устройств автоматизации технологических процессов Формула изобретения