Турбомолекулярный вакуумный насос

Номер патента: 848762

Авторы: Гончаров, Демихов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Сфветскнк Социалнстнческив Республик(22) Заявлено 30.1179 (21) 2882933/25 06 (51)м Кл Р 04 О 19/04 с присоединением заявки Нов Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(088.8) ое ордена Ленина и ордена Трудового Красйоговысшее техническое училище им. Н.Э. Баумана(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС вестных насосов явоткачные характериограниченности скотора. я - увеличение о ик при выполнени итана или его сп Цель изобрете качных характери дисков ротора из вов. Изобретение относится к вакуумно технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.Известны турбомолекулярные вакуу ные насосы, содержащие корпус и рас положенные в нем статор и ротор, выполненные в виде дисков с лопатками 1).Недостатком изляются невысокиестики вследствиерости вращения ро Указанная цель достигается тем,что между дисками статора, расположенными на входе насоса, и остальными дисками статора расположена токоиэолирующая проставка, а на корпусе размещена магнитная система, создающая магнитное поле, перпендику-лярное плоскости дисков, причем кдискам статора, расположенным на входе, подключен источник высокого напряженияНа чертеже представлен насос,продольный: разрез,Турбомолекулярный вакуумный насоссодержит корпус 1 и расположенные в.нем статор 2 и ротор 3, выполненныев виде дисков 4,5 и б с лопатками,при этом между дисками 4 статора 2,расположенными на входе насоса, иостальными дисками 5 статора 2 расположена токоизолирующая проставка 7,а на корпусе 1 размещена магнитнаясистема 8, создающая магнитное поле,перпендикулярное плоскости дисков4,5 и б, причем к дискам 4 статора 2,расположенным на входе, подключенисточник высокого напряжения. Источ ник высокого напряженияподключенпосредством токопровода 9.Насос работает следующим образом.Молекулы Остаточногогаза, по ступающие иэ откачиваемого объема,еоударяясь с лопатками дисков б быстро вращающегося ротора 3, получают импульс в направлении откачкии переносятся к выходу из насоса.5 К дискам 4 статора 2 по токопроводу9 подводится высокое напряжение отисточника (5-10 кВ), в результатечего возникает разряд , иониэирующий остаточный газ.Ионы остаточного 3 О газа бомбардируют диски б ротора 3,.848762 Формула Изобретения Составитель В, Кряковкинтор В, Данко Техред А.Ач Корректор О, Билак Подписномитета СССРткрытийя наб., д. 4 Тираж 712Государствелам изобретсква, Ж,аказ 6043/41 ВНИИП по 113035, ого кий иаушск/5 ент, г, Ужгород, ул. Проектна иал П распыляя материал дисков 6(титан или егО сплавы), Распыленный титан образует с остаточным газом твердые соединения и является дополнительным откачным средством.Таким образом в предлагаемом насосе помимо эффекта откачки, создаваемого турбомолекулярным насосом, реализует дополнительно эффект откачки, аналогичный работе геттерноионного насоса, что позволяет улучшить откачные характеристики насоса в целом без увеличения его геометрических размеров. Турбомолекулярный вакуумный насос,содержащий корпус и расположенные в нем статор и ротор, выполненные ввиде дисков с лопатками, о т л ич а ю щ и и с я тем, что, с цельюулучшения откачных характеристик привыполнении дисков ротора из титанаили его сплавов, между дисками статора расположена токоизолирующаяпроставка, а на корпусе размещенамагнитная система, создающая магнитное поле, перпендикулярное плоскости дисков, причем к дискам статора,расположенным на входе, подключенисточник высокого напряжения. Источники информации, .принятые во внимание при экспертизе151, Авторское свидетельство СССРр 533757, кл. Р 04 р 19/04, 1973.

Смотреть

Заявка

2882933, 30.11.1979

МОСКОВСКОЕ ОРДЕНА ЛЕНИНА И ОРДЕНАТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ВЫСШЕЕТЕХНИЧЕСКОЕ УЧИЛИЩЕ ИМ. H. Э. БАУМАНА

ДЕМИХОВ КОНСТАНТИН ЕВГЕНЬЕВИЧ, ГОНЧАРОВ ПАВЕЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

Опубликовано: 23.07.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-848762-turbomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Турбомолекулярный вакуумный насос</a>

Похожие патенты