Устройство для измерения удельногосопротивления по сопротивлению pacte-кания

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(51)М. К,з Н 01 Ь 21/00 Государственный комитет СССР но делам изобретений и открытий(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПО СОПРОТИВЛЕНИЮ РАСТЕКАНИЯИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля распределения легирующей примеси по поверхности и глубинеполупроводниковых структур.Наиболее близким к предлагаемомуявляется устройство для измерения,содержащее держатель зондовых голо -вок, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки 1).Однако известное устройство необеспечивает высокой точности измерения,Бель изобретения - повышение точности измерения.Укаэанная цель достигается тем,что в устройстве для измерения удельного сопротивления по сопротивлениюрастекания, преимущественно для изме Орения профиля распределения удель-:ного сопротивления по сферическомуили цилиндрическому шлифу полупроводниковых структур, содержащемдержатель головки, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик с механизмоМ юстировки,последний снабжен вогнутой цилиндрической опорой с подвижно установленным на нем выпуклым цилиндрическимЗО сегментом, с возможностью угловых перемещений перпендикулярно плоскости,прбходящей через точки контактированиязондов со сферической или цилиндрической поверхностью шлифа измеряемой,структуры и совмещенной с оптическойосью микроскопа.На чертеже схематически изображено устройство для измерения удельного сопротивления, общий вид.Измерительный зонд 1 закреплен вдержателе зондовой головки 2, шарнирно установленной на механизме 3 пере-мещения зонда. Образец 4 со сферичес 1- ким или цилиндрическим шлифом 5 установлен на площадке клинообразногокомпенсатора б, имеющего возможностьперемещаться по наклонной направляющей выпуклого цилиндрического сегмента 7,опирающегося на вогнутую цилиндрическую поверхность опры 8, установленной на основании Э предметногостолика. Перемещения компенсатора б,сегмента 7, опоры 8 осуществляютсясоответственно посредством приводов10, 11, 12. Над зондом установленмикроскоп 13, имеющий в поле зренияперекрестке,Снятие профиля распределения удельного сопротивления по глубине полупро847403 Формула изобретения ИПИ Заказ 5512/80 Тирам 784 Подписи 4 ПП "Патент"., г. Ужгород, ул. Про водниковой пластины производится следующим образом.Площадка клинообразного компенсатора б высталяется в горизонтальное положение. На площадку устанавливают образец 4 со шлифом 5. Приводами 10, 11; 12 регулируется положение рабочей поверхности столика до совмещения центра симметрии шлифа в плане с оптической осью микроскопа 13 (центром перекрестия и установки изображения низшей точки шлифа, с которой контак( тирует зонд, на максимальную резкость, при этом обеспечивается совмещение центра сферической или оси цилиндрической поверхности шлифа с геометрической поверхности выпуклого сегмен та 7.Использование предлагаемой установки для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания обеспечивает по сравнению с известны- щ ми установками по данным метрологоческих исследований повышение точности измерений.Погрешность измерения составляет + 30 при доверительной вероятности 5,95 при нагрузке на зонд 4 г (для сверхтонких слоев)Устройство для измерения удельногосопротивления по сопротивлению растекания, преимущественно для измеренияпрофиля распределения удельного сопротивления по сферическому или цилиндрическому шлифу полупроводниковыхструктур, содержащее держатель зондовых головок, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик смеханиэмрм юстировки, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, механизм юстировки снабжен вогнутой цилиндрической опорой с подвижно установленнымна нем выпуклым цилиндрическим сегментом с возможностью угловых перемещений перпендикулярно плоскости,проходящей через точки контактирования зондов со сферической или цилиндрической поверхностью шлифа измеряемой структуры и совмещенной с оптической осью микроскопа.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Инструментальный микроскопЧЕВ Саг 1 Ее 1 зз ЮЕЮА.Описание конструкции 1975.