Пневмоэлектрический преобразователь

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 28,06,78 (21) 2635987/.18-10 51)м (л с присоединением заявки Йо(23) Приоритет 6 017/18 Государственный комитетСССР по делам изобретений и открытийДата опубликования описания 150781 ли мский авиационный институт им, Орджоникидзе и Башкирский филиал АН СССР Зая(54) ПНЕВМОЭЛЕКТРИЧЕСКИИ ПРЕОБРАЗОВАТЕ Изобретение ционно-измерит быть применено образования да сигнал. И вестен иНедостатком этого йства является нелинейность р й характеристики во всем диапа перемещения мйталла,Цель изобретения. - повышение Ли"ейности рабочей характеристики.сПоставленная цель достигается тем,то в известном устройстве, содержаем полупроводниковую подложкуодноо типа проводимости, в которой расоложены области штока и истока друого. типа проводимости и эатвор, затор выполнен в виде Н-образнойдиэлекрической трубки, заполнениой электрероводной жидкостью и установленнойдоль областей стока и истока.На фиг.1 приведена конструкцияневмоэлектрического преобразователя;а фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.Устройство состоит из полупровод-.иковой подложки 1 из кремня п-типа,которой расположены области истокаи стока 3 р+-типа, между и вдольоторых расположена У-образная диэлекрическая трубка 4 из стекла, коленаи 6, которые соединены с входныманалом 7 и каналом опорного сигнаа 8 соответственно, которые подклюены .к узлу 9 задания сигналов. Врубке,4 установлен электрическийустроабочезоне рмаможетя прееский тносится к иньной техникеустройствах дения в электр з д фференциальный мано- н метр содержащий Ч-образную измерительную трубку,. заполненную рабочей ч жидкостью, и преобразователь переме- о щ щения в электрический сигнал индук- г ционного типа Г 13пОднако у этого устройства малая г чувствительность,. вНаиболее близким техническим реше- т нием к изобретению является преобра- п зователь механических смещений и сил в в электрические сигналы, содержащий полупроводник одного типа, проводи- ,мости, на,поверхности которого рас- н положен слой изоляционного материала О окисла, и области истока и стока дру- н гого типа проводимости, расположен- в ные в подложке, затвор, расположенный 2 на противоположной стороне подложки к и металл установленный над окислом т с зазором, .в котором металл может п , 5 ремещаться, приближаясь к полупрово к нику или удаляясь от него. Области л истока и стока и затвор соединены с ч источниками напряжения. ЗО т ед847091 Формула изобретения 0 Пневмоэлектрический преобразователь, содержащий полупроводниковуюподложку одного типа проводимости,вкоторой расположены области стока и15 истока другого типа проводимости,изатвдр, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что,. с целью повышения линейностирабочей характеристики в нем затворвыполнен в виде Ч-образной диэлектри 2 О ческой трубки, заполненной электропроводной жидкостью и установленнойвдоль областей стока и истока.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 638857, кл. 6 О 1 1. 7/18, 19742. Авторское свидетельство СССР.Парфено аказ 54 8/64 .Тираж 907 ВНИИПИ Государственногопо делам изобретений 3035, Москва, Ж, Рауш дпис та СССРытийб., д. 4 комии откая лиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектн вывод 10, Часть объема трубки 4 заполнена электропроводной жидкостью (ртутью) 11. Область истока 2 последовательно соединена с источником 12 постоянного напряжения Е, с регистрирующим устройством 13 и областью стока 3. Вывод 10 соединен с областью истока 2,Устройство работает следующим образом. При подключении источника 12 питания в подложке 1 индукцируется токо- проводящий канал под той частью трубки 4, которая заполнена ртутью 11. Ртуть 11 выполняет функции электрода затвора МДП-транзистора, ширина которого изменяется при изменении входного, например, пневматического сигнала. Пневматический входной сигнал поступает по каналу 7 в колено 5 и вызывает частичное заполнение или разряжение объема трубки 4 ртутью 11. Послеснятия пневматического сигнала ртуть 11 возвращается в исходное положение под действием опорного сигнала канала 8.Ток .преобразователя., регистрируемый устройством 13, определяется линейным выражением где 1 - постоянный коэффициент, зависящий от электрофизическихпараметров МДП-транзистора;53 - площадь канала, перекрываемого ртутью 11 под действием 5 , пневмосигнала.Таким образом, рабочая характеристика преобразователя (зависимость выходного тока от пневмосигнала) является линейной.