ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е ( )785899изоьеетинияК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциелмстическинРеслублккдо делам изобретений н открытий(71) Заявитель ОКБ при заводе Экситон ю(54) ТОКОПРОВОДЯЩАЯ ПАСТА Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии получения материалов для пленочных проводников, применяемых в микроэлектронике и технике СВЧ.Известны токопроводящие пасты для толстопленочных проводников и контактных площадок с различным содержанием компонентов 11. К ее погрешностям следует отнести большие потери в СВЧ диапазоне.Наиболее близкой к изобретению по технической сущности является токопроводящая паста, содержащая серебро, палладий, стекло и органическую связку - лавандовое масло и этилцеллюлоза 2,За счет применения в качестве органической связки лавандового масла и этилцеллюлозы улучшаются ее реалогические (печатные) свойства, что позволяет увеличить плотность проводниковой разводки, Однако применение в составе пасты палладия, уменьшает проводимость пасты и увеличивает удельные потери в СВЧ диапазоне.Целью изобретения является уменьшение удельного сопротивления и уменьшение удельных потерь в СВЧ диапазоне. Достигается это тем, что известная токопроводящая паста, включающая серебро, стеклофритту, лавандовое масло и этилцеллюлозу, содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес %: 5 Серебро 55 - 80Стеклофритта 2 - 15 Лавандовое масло 10 - 25 Этил целлюлоз а 1 - 7 Ниже приведены примеры приготовлениятокопроводящей пасты предлагаемого состава с различным содержанием исходных компонентов и характеристики пленочных проводников, изготовленных из нее.Пример 1. Компоненты перемешивают ирастирают на валковой пастотерке в течение 30 - 40 мин при следующем соотношении, вес, %:Серебро 55Стекло 15Лавандовое масло 23Этил целлюлоза 7Полученную пасту наносят через трафарет на диэлектрическую подложку и вжигают при 820 С в течение 10 мин. Удельное сопротивление проводников 0,084 Ом/а. а785899 Формула изобретения Составитель В.ЛенскаяТехред А. Бойкас Корректор О. Ковинская Тираж 844 Подписное Редактор Е. ГончарЗаказ 8852/54 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретении и открытий 13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4удельные потери в СВЧ диапазоне 36 - 40 дб/п.Пример 2. Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение 30 - 40 мин, при следующем соотношении вес. /,:Серебро 67,7Стекло 7,5Лавандовое масло 20,0 Этил целлюлоза 5,0.Удельное сопротивление проводников 0,0032 Ом/ц, а удельные потери в СВЧ диапазоне 9 - 12 дб/и.Пример 3, Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение 30 - 40 мин при следующем соотношении, вес. /,:Серебро 80Стекло 4Лавандовое масло 14Этил целлюлоза 2.Удельное сопротивление проводников - 0,0026 Ом/и, а удельные потери в СВЧ диапазоне - 5 - 8 дб/и.Как видно из приведенных примеров, токопроводящая паста, не содержащая в своем составе палладия, имеет значительно меньшие удельные сопротивления и удельные потери в СВЧ диапазоне, что делает ее наиболее предпочтительной для использования в микроэлектронике и для изготовления СВЧ микросхемы,Применение токопроводя щей пасты с улучшенными реалогическими характеристиками, где в качестве проводящей фазы используют только серебро, позволяет значительно расширить частотный диапазон СВЧ толстопленочных микросхем. Токопроводящая паста, включающаясеребро, стеклофритту, лавандовое маслои этилцеллюлозу, отличающаяся тем, что,с целью уменьшения удельного сопротивления удельных потерь в СВЧ диапазоне, онасодержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес. %:Серебро 55 - 80Стеклофритта 2 - 1520 Лавандовое масло 10 - 25Этил целлюлоза 1 - 7.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМе 423177, кл. Н 01 В 1/04, 1972.2. Авторское свидетельство СССРХа 547839, кл, Н 01 В 1/00, 1977 (прототип),

Смотреть

Заявка

2648748, 27.07.1978

ОКБ ПРИ ЗАВОДЕ "ЭКСИТОН"

КОМАРОВ ВЛАДИМИР ПАВЛОВИЧ, СЛЕПЦОВА ТАМАРА ИВАНОВНА, САЛЬНИКОВА ЛИДИЯ МИХАЙЛОВНА, АЙНШТЕЙН РАИСА ГАВРИЛОВНА, МОРОЗОВ ГЕНРИХ ПАВЛОВИЧ, ЛИХОВЕЦКИЙ БОРИС ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01B 1/02

Метки: паста, токопроводящая

Опубликовано: 07.12.1980

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-785899-tokoprovodyashhaya-pasta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Токопроводящая паста</a>

Похожие патенты