Способ изготовления цилиндрических резонаторов

Союз Советских Социалистических республик(51)М. Кл.з 6 0111/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытий(54) СПОСОБ ИЭГОТОВЛЕНИЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ РЕЭОНАТОРОВ1Изобретение относится к технологии приборостроения, в частности к технологии изготовления тонкостенных цилиндрических резонаторов для частотных датчиков давления, и мо жет быть использовано в машинострое-нии для изготовления точных тонкостенных цилиндрических деталей.Известны способы изготовления упругих чувствительных элементов, 10 в частности резонаторов из металлических сплавов путем механической обработки и термостабилизации линей; ных размеров по специально разработанной методике. При этом их подвергают циклическому воздействию высоких температур и охлаждению Щ .Однако указанный способ не может обеспечить получения наименьших отклонений реальной геометрической Формы чувствительного элемента от заданной. Для цилиндрического резонатора существенным является допуск на некруглость его поперечного сечения, так как он определяет стабильность ре зонансной частоты резонатора.Известен способ изготовления резонаторов, при котором термически фиксируют геометрические формы деталей путем заневоливания их в специальных Формах, позволяющий уменьшить допуск на некруглость механически обработанной детали (21Однако Фиксация тонкостенных цилиндров, у которых толщина стенки составляет несколько микрон, представляет известные трудности, так как зазоры в сжимающих Формах становятся соизмеримыми с толщиной стенки,Цель изобретения - устранение указанных недостатков и повышение тем самым стабильности цилиндрических резонаторов.указанная цель достигается эа счет того, что изготавливают цилиндрические резонаторы из металлических сплавов путем их механической обработки и термообработки при температуре дисперсионного твердения сплава, при этом до нагрева резонатора внутрь его вводят без радиальных зазоров цилиндрическую металлическую оправку, температурный коэффициент линейного расширения которой больше коэффициента линейного расширения резонатора, а на внешнюю поверхность резонатора навивают с натягом проволоку с шагом, равным ее диаметру, которую после термообработки удаляют.-,ягьсттатгт;-а ПРОВт -с;г:-д ", - г т ( ной справ.(е без о;, 1 О .:;:; - . - (,г. рсв Нт=" И" МЕНИТ( И,-т б" т(; ст 1 г;г, атттт спт 11 ткт- сто гтрЕдаКтор И, ГруЗ(дтда ТЕ 1(рЕтс(.".,.ттт:(увсва КОР РЕК:. ОС О, Г у,", 1;г ЗВК;тв /7 З 4/ЬО .Г 11 Раж .-9 БЕИг"т 111 тг 1 Оотггдт-:т.РСТВгдННОЦО КОМИТЕТа (-ССг." пО пелам изобоетений и открьгтий 1.1 ЗОЗгт г МОС 1(ва. Ж:.З 5 т: атт".ВС 1(а.-,; наб., Цт 4/5 МОДП ИС 1,ст фти 1 т 11 т(алт.П:1 атЕ Нт , П тт т 11 воротт.тт ул, Псот=Ктндн . 4 уцество способа : "к.110 ч ае т(;,"-СЛЕДт 101 ЦЯМ,ПЯРЯД НаГРЕВаНИЯМ В Ц 11 ЛИНДгтГ 1 ЧЯС КИй 1резонатор Вводит без зазоров опоав 1(у,причем, сли тярмофиксация будет прсИЭВОДИТЬСН В Вак;гМЕ г то Д 11 Н П(РЕДРТВРа 1 ЦЕ НИН ДИффУЭ ИОН т(ОИ С ВаРКИ РЯ 3 ОиатОРа С ОПРаВКОй ОПРагКУ ПОК-.Ытьат 10 Токисной пленкой, Затем на Внеш 11 юг 0поверхность резонатора навиваквт .;:ров;Лог(У С 1 т 1 аГОМт Раг 1 Н 1 М ЕЕ тт 1,.-.1 лт"-Тгт;густав 10 вяаио, гтт(т 1 тт 10 тля Т.,1;гт(тв, тт(1ММСЦт;ЯГ ПРстВО(фСЦ 1;ТЬ т ОГ 11 Ц 1.(НтГ Гки реэонатора и ;гсаз,ТаКг На(РИМЕР, ПРИ ТС 11 ШЯНЯ СТЕН-.КИ 1:ЯЗОНатОРа 20 МКМ И Потн ЦИЯМ;ТРЯ)таттт ГгЫВае 11 ой прОВОР к 1 т П ( мМт(И, Готз 11 Ь ПОВЕт тт(НОСТИ Оетз -т 11 ат -тР- тп,та в ;тиЕТ Ц д МКМ ПРИ "1 авог РДДРВггстра 1;НОМ Цитатт 1 Е Г"ту гтрсволг КИпнем диаметра проволоки Волнисто"ьСта.ОВтИТСЯ ЕЦЕ ЫЕНЬ(аЕ.г(аК 11 ОК С 3 д Г ОПЫТ ДОСтатОЧНОБОГО СЛОИ Намоткн, С 1 тобит 11 аДЯХ:.С1(аттв С Е 11 КИ ре 3 Ог 1 атосд К Стгт.тавг(-"1 тОСЛЕ ТЕРггт 1 ЧЕСК( )тт ОбРаботкт г,. ОВОло(у удал В 10 т1 тттт Обгт(тГттеит;:гг СЬЯтт 1 тт РттзО 1С Оптт.таЗК 1 т, ПОСЛЯЦН 1010 1 т 13 ГОтавт 1 г 1 В а УтИЗ МЙТЕРИгт 1 тд ТстМПРРЙ 7 тттдт-Ь" Ко=фгтг 1ЦИЕтт Лт(НЕйНОВО РаС 1 тт (теа;(ИВ КТОРО 1 тобогтьше темг 1 ературноГО к,зффиттиентд лиНЕИНОГС Рас 01 НРЕНИВ щгтатгР 1 а 1 гаПтР"МЕ -НЯЕМОГО ДЛЯ ИЗ ВОТОВЛЕН(: и Ртедоиатора.ЗффЕКТ От ПРИМЕНЯНИг 1 ТЯРМОфИК(.дции с эдневоливаниям резонатораПроволокотйт г(сс(НО г 1(тКВ Зд, Н;т г;ЛЯ -;т;10- 0"Ь 1 ЯМ ПРт 1 тМЯРЕ.СЛИ ДО ТЕРМОфИКсс(Ц(1 гт 1НЕКРУГт 1 ОСТЬ В СРЯДНЕМ Яттеинн ОДНот г гКИК тт(: 3 ( .1 а .1 Оостг Из (тт - та,т:т (тте" тгг т т 1 Л ттцЕЛЬттв 1,ОВЬгт 1 тЕгттд 5; г т,т." т.:гтт. Н С 1 Ис г-:.т1 г(т,.1ти:ЯВ Н КС ТОРО" Г СЛЬВР КОЗ фф", Ц.1 Я:т