Способ измерения малых поперечных размеров
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 735914
Авторы: Андреев-Андриевский, Ильчук, Ключник, Лобачев, Смирнов
Текст
1 17359 1 4 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическихРеспублик 61) Дополнительное и авт. свнд-ву(23) Приоритет Опубликовано 25.05.80. Белл Государстееииый комите СССР по делам изооретеиий и открытий) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПОПЕРЕЧНЬ РАЗМЕРОВ 2ной картине судят о к олируемой величине.На чертеже показано устройство дляреализации предлагаемого способа.Устройство содержит источник 1 монохроматического излучения, светоделитель 2, эталонный 3 и контролируемый4 обьекты, диафрагму 5, телескопическсистему 6, зеркала 7 и 8, диафрагмутелескопическую систему 10, полупроз- О рачное зеркало 11 и индикатор 12.Устройство работает следующим образом.Излучение источника 1 делится светоделителем 2 на эталонный и контролируемый канальь Излучение, идущее по контролируемому каналу, дифрагирует на контролируемом объекте 4. диафрагма 5 выделяет один иэ порядков дифракции, который расширяется телескопической системой 6 и поворачивается зеркалом 7. октр)ГЮ9,ка Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для контроля ширины штрихов,зазоров и диаметров волокон.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изоб ретению является способ для измерениямалых поперечных размеров, при которомоблучают когерентным монохроматическим светом эталонный и контролируемыйобъекты, получают дифракционную картину распределения от эталонного и контролируемого объектов Ц .Такой способ отличается недостаточно высокой точностью измерения, так какпроцесс измерения проводится йо интенсивности лучей.Цель изобретения - повышение точности измерения малых поперечных размеров,20Это достигается тем, что из картиныФраспределения выделяют по одному порядку дифракции, осуществляют их интерференцию и по полученной интерференционИзлучение, проходя по эталонномуалу, поворачивается зеркалом 8 и4 М 4 РФЖЮФФЖЙюьФЯММФ 4 МеММЮФФ т-, ; .,ЬМ " . чМм" 3 735914 4рагирует на эталонном объекте 3, Один Формула изобретения из порядков дифракции выделяется диаф- Спбсоб измерения малых поперечных. рагмой 9 и попадает в телескопическую размеров, при котором облучают когерентсистему 10, На полупрозрачном зеркале ным монохроматическим светом эталон соответствующие порядки дифракции 5 ный и контролируемый объекты, получасовмещаются, и на индикаторе 12 наб- ют дифракционную картину распределения людается результат их-интерференции, В- от эталонного и контролируемого объекслуЧае равенства эталонного и контроли- тов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, руемого обьектов на индикаторе 12 наб- с целью повышения точности измерения, людается бесконечно широкая полоса ин- о из картины распределения выделяют по терфер"енц"йй из-.за отсутствия угла схож- одному порядку дифракции, осуществляют. дения интерферирующих порядков, При на- их интерференцию и по полученной интерличии"разницы в размерах появляется ференционной картине судят о контроли- угол схождения, что влечет за собой уве- руемой величине.личение частоты интерференционной кар Источники информации,инь по которой судят.о величине откло- принятые во внимание при экспертизе.3 кения контролируемого объекта от этало. Измерительная техника 1977, % на. с, 36-39 (прототип):т Составитель Н. Захаренко р Т, Смирнова Техред Я. Бирчак Корректор А. Грицен.Реда 11/32 Тираж 801 Подпи ЦНИИПИ Государственного комитета ССС по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раущская
СмотретьЗаявка
2513023, 26.07.1977
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2438
АНДРЕЕВ-АНДРИЕВСКИЙ ЕВГЕНИЙ ПАВЛОВИЧ, ИЛЬЧУК СЕРГЕЙ АНДРЕЕВИЧ, КЛЮЧНИК НИКОЛАЙ ТИМОФЕЕВИЧ, ЛОБАЧЕВ КОНСТАНТИН ИВАНОВИЧ, СМИРНОВ ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/08
Метки: малых, поперечных, размеров
Опубликовано: 25.05.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-735914-sposob-izmereniya-malykh-poperechnykh-razmerov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения малых поперечных размеров</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения площади диэлектрических пластин
Следующий патент: Интерфенционный способ измерения угловых перемещений объекта
Случайный патент: Выходное устройство для систем функционального контроля