Способ изготовления монолитного пьезоэлектрического фильтра

4 4нетг:ч ."ф О П -И С"А-Й И Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоеетскихСоциалистическихРеспублик п 1700914 И АВТОРСКОМУ СВИДИЯДЫ"ТВУ(23) Приоритет -51) М. КН 03 Н 7/О НОЗ Н 9/О рственный ноынте 1сссрлам изобретенийн етнрытий публиковано 30.11.79 юллетень4 3) УДК 621.372. .54 (088.8) Дата оп кования описания 05.12.7(72) Авторы изобретен В. Качальников, Ю. Г. Тупиков н Кантор Ленинградскии электротехническпи институт им. проф. Бонч-Бруевича и Ленинградское отделениеЦентрального научно-исследовательского института свя) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОЛИТН ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ФИЛЬТРАИзобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться при изготовлении монолитных пьезоэлектрических фильтров,Известен способ изготовления мон ного пьезоэлектрического фильтра путе мирования двух акустически связанны зонаторов, настроенных на одинаковые частоты 1.Однако настройка частоты осуществляется путем нанесения дополнительной массы металла на электроды каждого частотного резонатора, а при изготовлении монолитных фильтров выше 30 мГц нанесение массы затруднено вследствие малой массы электродов и еще меньших размеров зазора между ними. енех. олитфор 5 х ре х значении о осуществследствие м величина е шунтиро- неизмеряежа. Послед.межэлектзображен агаемому Кроме того, контроль истинны частот резонаторов также труди вить из-за вносимой расстройки сильной связи между ними, приче расстройки случайна в результат вания междуэлектродной емкости мого резонатора емкостью монта няя часто оказывается больше родной емкости из-за малых размеров частных резонаторов в в.ч. МКФ.Цель изобретения - повышение проц та выхода годных изделий и упрощение т нологического процесса.Это достигается тем, что по способу из готовления монолитного пьезоэлектрического фильтра, основанному на формировании двух акустически связанных резонаторов, настроенных на одинаковые частоты, сначала формируют один общий резонатор, который настраивают на частоту91 о = 1 о 1+ Ь(2-Я) 1- Ь(2-90), где 1 а 1 - частота общего резонатора;1 а - частота частотного резонатора; Ь - частотное понижение пластины;и о в нормированные частоты общего и частотного резонаторов,и затем разделяют его на две равные части.На чертеже схематически ифильтр, изготовленный по и редлспособу.Точная установка частоты общего резонатора осуществляется, например, методом термовакуумного напыления дополнительФормула изобретения Составитель Г.Техред О. ЛуговаТираж 1060 ан Редактор Е, КарауловаЗаказ 7394/40 орректор Ю. Макаренодписное комитета СССР и открытийшскаи наб., д. род, ул, Проект ЦНИИПИ Гпо дела113035, Москв Филиал ППП П арственного изобретений Ж - 35 Ра т, г. Ужг ной массы металла на электрод с контролем частоты в процессе настройки, что позволяет автоматизировать процесс настройки. С технологической точки зрения настройка одного резонатора, имеющего значительно большие размеры, чем частные резонаторы монолитного фильтра, гораздо проще и может быть осуществлена с большей точностью, Далее электроды одного настроенного резонатора разделяют таким образом, что получается два акустически связанных частных резонатора, образованных электродами 1, 2, З,причем разделение электрода 3 необязательно, так как он может быть использован как общий для обоих частных резонаторов.Изготовленный таким способом фильтр удовлетворяет требованиям точности установки центральной частоты и форме передаточной характеристики, а полученные частные резонаторы не требуют дальнейшей настройки.При использовании предлагаемого способа изготовления фильтра и крестообразной конфигурации первоначального единичного резонатора ширина токоотвода частных резонаторов равна ширине самих резонаторов, что снижает сопротивление токо- отводов и соответственно повышает добротность резонаторов. Другим преимуществом является простота конфигурации электродов, что значительно упрощает технологию изготовления свободных масок (трафаретов) для напыления электродов, тем самым повышает технологичность процесса производства монолитных пьезоэлектрических 5фильтров. Способ изготовления монолитного пьезоэлектрического фильтра путем формирова 10 ния двух акустически связанных резонаторов, настроенных на одинаковые частоты,отличающийся тем, что, с целью повышенияпроцента выхода годных изделий и упрощения технологического процесса, на пьезоэлектрической пластине сначала формируютодин общий резонатор, который настраивают на частоту110,=101+ Ь(2 - ц) 1 - Ь(2 - До) 3,где 101 - частота общего резонатора;10 - частота частотного резонатора;26 Ь - частотное понижение пластины;и 1 о - нормированные частоты общего и каждого из будущих резонаторов соответственно,и затем разделяют его на две равные части.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США5756851, кл. 117 в 2,04.09.73, (прототип) .