Емкостный манометр с электростатической компенсацией

Союз Советских Социалистических Республик)М. Кл, 6 01 1. 9/12 Государственный комете Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий) Дата опубликования Описания 15.05,7 Звягинцев, П, М. Тал 10. И. Горковчук и А. В. Царе(72) Авторы изобрете 71) Заявител Киевский ордена Лим. 50-летия Вели нина политехническии институтй Октябрьской социалистической революИзобретение относится к области измерительй техники, а именно к приборам для измерения давления.Известны емкостные манометры с электроста тической компенсацией, основанные на принципе компенсации прогиба мембраны под действие меряемого давления 1.По технической сущности наиболее близки к изобретению является емкостный манометр с электростатической компенсацией 21, содержащий емкостный преобразователь с компенсирующим электродом,.измерительньй мост, генератор, усилитель, фазовьй детектор и схему автоматической компенсации. м изм иств является дав лени напряже е укается устран етекв цеыфазовому д ансформатор, истор, а к в ьно подклю торого соеди ены нен Недостатком известных устро граниченный диалазон измеряемьмалой величины компенсирующег низкая точность измерении,Целью изобретения явля занных недостатков. о Цель достигается тем, что к тору подключен повышающий тр пи питания которого включен тир ходу трансформатора последовател выпрямитель и фильтр, выход кос компенсирующим электродом емкостного преобразователя,Сущность изобретения поясняется чертежом.Устройство содержит первичный емкостный Б преобразователь 1, который включен в емкостныймост 2, питаемый от генератора 3; усилитель переменного тока 4; фазочувствительньй детектор 5тирисгор 6, в катодной цепи которого включенповышающий трансформатор 7; выпрямитель 8;10 сглаживающий фильтр 9; разделительный резиотор 10.Устройство работает следующим образом.При равных давлениях в полостях датчикамост сбалансирован, и сигнал на выходе усилителя и отсутствует, При изменении давления в измерительной полости преобразователя мембрана перемещается, изменяя соотношение емкостей. Мост 2 .при этом разбалансируется, сигнал его разбалансаусиливается усилителем 4, детектируется фазсчувствительным детектором 5 и поступает на управляющий электрод тиристора б. Тиристор открывается, и переменное напряжение поступает на повышающий трансформатор 7, со вторичной обмотки которого снимается переменное напряжение 600 В, выпрямляется,выпрямителем 8, сглажива609991. Составитель А. Зражевский Техред Э. Чужик Редактор Н, Ахматов Корректор И. Гоксич ое По 1112 Заказ 299831 Государственного комитата Совета Мини ло делам изобретений и открытий 3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д.илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ется фильтром 9 и через разделительный резистор 10 подается компенсирующий электрод датчика,Мембрана преобразователя возвращается в исходное состояние, сигнал на входе усилителя при этом отсутствует, тиристор закрывается и компенсирующее напряжение уменьшается за счет раз. ряда накопительных емкостей фильтра.Таким образом система работает в колебательном режиме в зоне нечувствительности. Величина максимального компенсирующего напряжения, 10 являющаяся мерой измеряемого давления, может быть выбрана сколь утодно большой за счет изменения соотношения обмоток повышающего тран-сформатора, и ограничивается только величиной пробивного напряжения для данного конкретного зазора между электродом и мембраной преобразователя. Постоянная времени заряда емкостей сглаживающего фильтра должна быть несколько выше постоянной времени датчика, в противном случае величина зоны колебаний прибора по компенсирующему напряжению значительно расширится.Изобретение может быть использовано при контроле, измерении и регулировании малых абсолютных давлений разреженных газов в вакуумных системах, а также в других областях техники, 25 где требуется измерять абсолютное давление или разность давлений разреженных газов независимоот их состава.,Емкостный манометр с электростатическойкомпенсацией содержащий преобразователь с компенсирующим электродом, включенный в смежныеплечи измерительного моста, генератор и усилител 4,подключенные к противоположным диагоналям иэмерительного моста, и фазовый детектор, о т л 4 ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширениядиапазона измеряемых давлений и повышения точ.ности, в нем к фазовому детектору подключенповышающий трансформатор, в цепи питания кото.рого включен тиристор, а к выходу трансформатора последовательно подключены выпрямитель ифильтр, выход которого соединен о компенсирую.щим электродом емкостного преобразователя.Источники информации, принятые во вниманиепри экспертизе:1. Рыжов В. А. Образцовый мембранно-емкосу.ный манометр."Приборы и техника эксперименга,Р 5, 1963, с.198 - 203,2. Алексеев Н, Т., Прохоров В. А. и Чмутов К.В.Современные приборы и схемы в физико-химичес.ких исследованиях, "Химия", М 1971, с.344 - 347.