Устройство для оптического контроля интегральных схем

Союз Советскии Социалистицеских Республик(45) Дата опубликования описания оь.ол М с Д(51) М. Кл.б. 01 й 31/26 6 01 Я 21/00 Государственный комитет Совета Министров СССР оо делам изобретений н открытий(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОПТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Цельности игерметизДостилей фотблокомрого под На чертеже предстройства для оптическоных схем.Предлагаемое устроционный кинескоп 1,фотоэлектрический датсигнала 4, усилительаналоговый умножителроговое устройство 8,ство 9, индикатор 10,вертку 11,авлена блок-схема уст го контроля интеграль йство содержит проекоптическую систему 2, чик 3, усилитель видеосигнала фотоответа 5, ь 6, интегратор 7, по- исполнительное устрой- программируемую разИзобретение относится к области электронной техники - к аппаратуре неразрушающего контроля качества интегральных схем (ИС) и предназначено для отбраковки интегральных схем со скрытыми дефектами, а также планарных диодов и транзисторов.Известно устройство для выявления дефектов поверхности кристалла полупроводниковых приборов, содержащее проекционный кинескоп, оптическую систему, фотоэлектрический датчик, усилители фотоответа и видеосигнала, смесиО тель и аттенюатор видеосигналов, коммутатор обратной связи, блок питания объекта 1. За счет применения светоэлектрической обратной связи оно отличается улучшенным контрастом изображения. В этом устройстве сигнал фотоответа полупроводниковой структуры используется для яркостной модуляции луча проекционного кинескопа и получения тем самым фотоответного контрастного изображения с усиленным или ослабленным контрастом.гоОднако известное устройство предназначено для анализа простых полупроводниковых структур. С ростом степени интеграции и функциональной насыщенности анализируемых ИС возрастает трудоемкость контроля и снижается его достоверность, 25 Известно устройство для отбраковки интегральных схем, содержащее проекционный кинескоп, оптическую систему, фотоэлектрический датчик, усилители фотоответа и видеосигнала, индикаторное и исполнительное устройства 2. Это устройство хотя и позволяет контролировать большие интегральные схемы, однако, имеет низкие точность и надежность контроля. ю изобретения является повышение точ надежности процесса контроля незаированных ИС.гается это тем, что выходы усилите-. ответа и видеосигнала соединены с налогового умножения, выход котоключен к интегратору.594467 Формула изобретения 7 -- Гд --9 Составитель Т. Дозоро Текред О.:1 уговаяТираж 11 Редактор Е. ГончарЗаказ 379/54 Корректор Л. ГриценкоПодписное ЦНИИПИ осударсвеннпо делам та Миниткрытии ров СС о комитета Созобретений и 113035, Москва,-35, Раушская 45 филиа ПП Патент,Проектная,город,Устронство для оптического контроля интегральных схем работает следующим образом.Растр, образуемый на экране проекционного кинескопа 1, через оптическую систему 2 проектируется на поверхность анализируемой ИС. Отраженный световой сигнал преобразовывается фотоэлектрическим датчиком 3, усиливается усилителем видеосигнала 4 и подается на один из входов аналогового умножителя 6. Сигнал фотоответа через усилитель сигнала фотоответа 5 подается на другой вход аналогового умножителя 6. Произведение фотоответного и отраженного сигналов суммируется интегратороми поступает на пороговое устройство 8. В случае наличия инверсионного канала или области поверхностного пробоя взаимокорреляционная функция фотоответного и отраженного сигналов на входе порогового устройства 8 становится выше некоторого уровня и срабатывает исполнительное устройство 9.Видимое фотоответное или совмещенное изображение поверхности ИС можно наблюдать на экране индикатора 10.Статистическое сравнение фотоответного и видимого изображений производится фрагментами. С этой целью применена программируемая развертка 11. Величина фрагмента определяется минимальным размером дефекта, проходяшего по критерию забракования. Использование нового элемента - блокастатистического сравнения фрагментов - выгодно отличает предлагаемое устройство для оптического контроля интегральных схем от 5 прототипа, так как применение блока статистического сравнения фотоответного и отраженного сигналов позволяет объектизировать процесс анализа, в результате чего повышаются точность и надежность процесса контроля ИС. Устройство для оптического контроля интегральных схем, содержашее проекционный кинескоп, оптическую систему, фотоэлектрический датчик, усилители фотоответа и видеосигнала, индикаторное и исполнительное устройства, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности контроля, выходы усилителей фотоответа и видеосигнала сое 2 ц динены с блоком аналогового умножения, выход которого подключен к интегратору. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР390422, М кл 2 Ст 01 Х 21/16, 11.07.73.2. Патент США3909602, кл. 235 - 151,3, 30.09,75.