Электродуговой испаритель материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 565949
Авторы: Ефимов, Медведников, Погорелов
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСНОМУ СВИДВТВДЬСТВУ Союз Советскин Социалистицеских Республик(43) Опубликовано 25.07,77.Бюллете 3/08 Государственный номнтеСоввта Инннотров СССРоо делам изобретенийи открытнй(45) Дата опубликования описания 17.08.77 72) Авторы изобретени Погорело Ю, П, Ефимов, В, В, Медвепников(71) Заявител 54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МАТЕРИАЛ 2торцевыми дис Изобретение . отнтехники, в частноснття тонких пленок сится к об к процессвакууме,ами 2 и 3, поджи-д 5. Система скаа включает солети р апыл гаюший нирован электрод 4 и ан ия катодного пят 6 и 7, обмотки к нику питания чер вления 8 и 9,ноидь5 к ист торых подключень з регулировочные дугов е кат тему Известны электро териалов, содержаши ющий электрод и сис тодного пятна. испарители анод, поджиганирования каот Устройство работает с Поджигающий электрод тодное пятно электродугов очей поверхности катода между катодом 1 и анодо уя с магнитным полем с еремешает катодное пяти ледующим образом,4 возбуждает каого разряда на ра. Дуга, горящая м 5, взаимодейстоленоидов 6 и 7,о вдоль замкнутой а. атода и нсивного чей поверхнос ато диого пятна ной магнит триперемеерживать ода, При атод 1 ив одном из Однако в известных устройствах материал к спаряется неравномерно из-ааинте изнеса осевой части катода.Бель изобретения - повышение равномерности испарения материала катода. Это дос-,тигается тем, что система сканированиякатодного пятна электродугового испарителя,материалов, содержащего цилиндрический катод, поджигающий электрод и систему сканирования катодного пятна, выполнена в виде двух соленоидов, размещенных соосно катоду с обеих его сторон.Яа чертеже представлен электродуговойиспаритель материалов,Испаритель содержит к с экран Скорость перемещения катопределяется суммарной величного поля обоих соленоидов.О При прохождении одинакового ческого тока по обоим соленоид шаюшееся катодное пятно буде ся на оси рабочей поверхности р 5 увеличении или уменьшении токСостаитель Н. БлинковаРедактор А. Морозова Техред Н, Андрейчук Корректор Н. Ковалев Тираж 1130 венного комитета лам изобретенийсква, Ж, Раущ каз 2324/17 БНИИПИ Государст по де 113035, Модписноеа Министроытийаб., д. 4/5 и от ская лиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 соленоидов при помощи сопротивления 8 и 9 перемещающееся вдоль рабочей поверхности катодное пятно будет смещаться от оси рабочей поверхности катода в сторону соленоща с большим током управления. Таким образом, изменяя ток управления в каждом из соленоидов, можно добиться необходимого износа рабочей поверхности катода, обеспечивающего оптимальные режимы напыления. Формула изгбретения Электродуговой испаритель материалов,,содержащий цилиндрический катод, анод,под. Б жигаюший электрод и систему сканированиякатодного пятна, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения равномерности испарения материала катода, система сканирования катодного пятна выполнена в 10 вйде двух соленоидов, размещенных сооснокатоду с обеих его сторон.
СмотретьЗаявка
2110779, 28.02.1975
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5612
ЕФИМОВ ЮРИЙ ПАВЛОВИЧ, МЕДВЕДНИКОВ ВЛАДИМИР ВЛАДИМИРОВИЧ, ПОГОРЕЛОВ НИКОЛАЙ ЛАВРЕНТЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/08
Метки: испаритель, электродуговой
Опубликовано: 25.07.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-565949-ehlektrodugovojj-isparitel-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электродуговой испаритель материалов</a>
Предыдущий патент: Устройство для вращения изделий
Следующий патент: Устройство для детонационного напыления
Случайный патент: Система управления положением телескопа