Способ измерения общей площади однородных по оптической плотности фигур

Союз Советских Социалмстицеских Республик(23) Приоритет -137143/28 01 Государственный комит Совета Министров ССС по делам изобретений н открытий(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОБШЕЙ ПЛОЩАДИ ОДНОРО ПО ОПТИЧЕСКОЙ ПЛОТНОСТИ ФИГУРКроме того, эти способы сложны, дорогостоящи и це позволяют получать общую площадь отдельных фигур на определенном звестен способ однородных по ия общеи плокой плотности нородцом и отости фоне, заоизводят скациро. а, т,е. с фигур и с овых сигналов змере оптиче положенн фигур лично на о оптическ йся в том от ча то и бъек адра со всег ванне фона,и преобразова трические сиг ие све з которые затеь преобразуют вгрирование, ичину, пропорц Однако изве венеция сложидования (скани Однако эти сп тельностью опред и существенными ми как от самойзондом, устроисветовых сигнал строиство длтх сигналов шее устроиствопроцесса пзмер ен Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к устройствам и способам измерения общей площади объектов различной величины и конфигурации, оптическая плотность которых отлична от оптической плотности фона.Известны способы измерения общей площади фигур, заключающиеся в приближенном подсчете площадей отдельных фигур с последующим их арифметическим суммированием, в более точном определении площадей тех же фигур с помощью, например, палеток, планиметра, интегрированием по контуру или интегрировапием по части плошади, занятой фигурой, с последующим арифметическим суммированием измеренных отдельных геометрических фигур1. особы отличаются длилепия общей площади фигур огрешностямн, зависящиетодики определения (в случае приближенных методов расчета пщадей отдельных фигур), так и от ошибоператора при измерении. код и производят его инте- которого определяют величину ональную площади объекта 21. стцый способ требует приог о и дор ог осто ящег о об орурующий микроскоп с микро- ство для преобразования ов в электрические сигналы, преобразования электрическод "1" 0 ф, интегрирую), что приводит к усложнениюЗаказ 14 8 3/9 3 Тираж 907 П одписноеЫ 1 Р 1 ИИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ус 35, 1 оаушскак паб а, аУ 5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Гроектпая, 4 Кроме того, точность известного способасвязана с плотностью сканирования кадраи потому является недостаточной,Целью изобретения является упрощениеизмерения и повышение точности. 5Это достигается тем, что измеряют впроходящем свете освещенность Е поля,имеющего оптическую плотность, одинаковуюс плотностью фона, освещенность Е поля,имеющего оптическую плотность, одинаковую с плотностью фигур, а также освещенность Е поля, образованного фигурами ифоном, площади освещаемых полей одинаковы, освещение их постоянно, и общуюплощадь Я х фигур находят по формуле15Е-Е"Вх.= ЯЕ-Егде В - плошадь поля, образованного фигурами и фоном.Измерения по предлагаемому способу 20осуществляют с применением любого стабилизированного источника света и люксметра,Для нахождения общей площади металлизации интегральных микросхем и соответствующего расхода золота, применяемогов качестве контактного металла и повышающего допустимую плотность тока, определяют площадь полупрозрачных участков так называемого "цветного" фотошаблона с рисунком, соответствующим металлизации на микросхеме,Определение площади производят с помощью часового проектора ЧП, имеющего предметный столик со стеклом, устройст-З 5во перемещения предметного столика, источник света и экран, а также с помощьюлюксметра 10-16. фЦветнойф фотошаблонпредставляет собой стеклянную пластину изособочистого стекла с высокой степенью Ообработки поверхности и рисунком, выполненным приемами фотолитографии на планкеокиси железа. Размеры рабочего поля фотошаблона, представляющего собой чередование различных по оптической плотностиучастков, составляют примерно 1600 мм.2При измерениях фотошаблон кладут насветочувствительный элемент люксметрарабочей стороной вниз,Положение предметного столика и светочувствительного элемента фиксируют. Дляопределения общей площади участков, покрытых пленкой окиси железа, измеряют начасовом проекторе ЧПосвещенности Е,ИЕ, Е предметного столика при прохождениисвета через пластину без всякого покрытиятолщиной, равной толщине пластиныфотошаблона, зону фотошаблона, полностью покрытую пленкой окиси железа, и рабочуюобласть фотошаблона,Площадь всех участков элемента фотошаблона, покрытых пленкой окиси железа,находят по указанной выше формуле.Измеренное значение площади полупрозрачных участков фотошаблона используютдля определения режима гальваники приизготовлении металлизации интегральныхсхем на основе золота. Формула изобретения Способ измерения общей площади однородных по оптической плотности фигур, расположенных на однородном и отличном по оптической плотности фоне, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью упрощения измерения и повышения точности, измеряют в проходящем свете освеценность Е поля, имеющего оптическую плотность, одинаковую с плотностью фона, освещенность Е поля, имеющего оптическую плотность, одинаковую с плотностью фигур, а также освещенйность Е поля, образованного фигурами и фоном, площади освещаемых полей одинаковы, освещение их постоянно, и общую плс щадьХ фигур находят по формулеВх 8где В -площадь поля, образованного фигурами и фоном.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Крылов А. Н, мЛекции о приближенных вычисленияхф, М-Л, 5 издт, 4,1950,2. Авторское свидетельство СССР Ъ 336509, М. Кл.01 В 11/281970 (прототип).