Номер патента: 559037

Авторы: Бондаренко, Захарченко, Таранов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз советскими Социалистических Республик(51) М, Кл,Я Р 04 В 37/02 Н 01 Э 7/18 Говрдвретвеннын ноантвтСаввтв Мнннвтров СССРно деева необретвнн 1н открытей(72) Авторы изобретений .И.Бондаренко, Ю,А.Захарченко н Е.А,Таранов Физико-технический институт низких температур АН Украинской ССР(54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Изобретение относится к вакуумной технике.Известна вакуумная установка, со" держащая испаритель геттера, охлаждаемую сорбционную поверхность, располо женную между нспарителем и о,качнваеьым объемом.В известной установке загрязнение рабочего объема геттером вследствие наличия вторичного излучения, возника-(0 ющего в результате рассеивания молекул при нх взаимных столкновениях.Известна также вакуумная установка, содержащая герметичный корпус н подвижный охлаждаемый сорбционный элемент.5Данная установка является наиболее близкой к изобретению.по технической сущности и достигаемому результату,Однако нз-за ограниченной пропускной способности молекул газа через ох-ЯО лаждаемый экран н сорбционный элемент эФфективность откачки, невелика.1Целью настоящего изобретения является повышение чистоты создаваемого вакуума. 25Для этого сорбционный элемент установлен с торца корпуса и с внешней стороны снабжен охлаждаеьнтм экраном, в нише которого расположен испаритель геттера. 80 На чертеже изображен продольный раз-.рез вакуумной установки,Вакуумная установка содержит герме"тнчный корпус 1 и подвижный охлаждаемый сорбционный элемент 2, который установлен с торца корпуса 1 и с внешнейстороны снабжен охлаждаеьым экраном 3,в нише которого расположен испаритель4 геттера. В корпусе 1 установлены также экран 5 и контактирующий с экранами3 н 5 сосуд б для хладагента, в кото- .ром расположен насос 7 для откачкиинертных газов.В корпусе 1 создается разрежение спомощью вспомогательного насоса (начертеже ка онказан). По достижении некоторого давления (10- 10 тор) охлаждаеьые экраны 3 и 5 и являющийся ихчастью сосуд б заполняются жидким азотом, после чего начинается распылениегеттера включением нспарителя 4,Распыленный геттер осаждается в виде тонкой пленки на элементе 2, непрерывно перемещающемся из зоны распыления в рабочий объем. При этом за счет теплового контакта со стенками сосуда б элемент 2 и. нанесенный на нем слой геттера охлаждаются и последний начинает активно поглощать молекулы газа, нахо"559037 Составитель О.ТишинаТе е Н.Бабурка Ко екто П,Макаревич Р.П аэ 1467/89 Тираж 867ЦНИИПИ Государственного комитета Спо делам изобретениЯ и113035 Москва ЖРа ская Подписноевета Министров Соткрытийнаб. . 4 5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная,дящнеся в рабочем объеме установки, Од, новременно с откачкой геттером основных газовых составляющих воздуха происходит адсорбция инертных газов насосом 7, запуск которого в связи с медленным охлаждением сорбционного материала несколько запаздывает по сравнению с началом распыления геттера, что дает воэможность полнее испольэовать сорбцион,иую емкость насоса для откачки инерт- щ ных газов. Высокая чистота создаваемого вакуума в установке обеспечивается отделением зоны распыления геттера от рабочего объема узким и длинным каналом изогнутой форьвя, образованным охлажденными поверхностями экрана 3 исорбционного элемента 2. формула изобретенияВакуумная установка,. содержащая герметичный корпус и неподвижный охлаждаемяй сорбционный элемент, о т л и- чающая с я тем, что, с целью повышения чистоты создаваемого вакуума, сорбционный элемент установлен с торца корпуса и с внешней стороны снабжен охлаждаемым экраном, в нише которого расположен испаритель геттера.

Смотреть

Заявка

2101026, 30.01.1975

ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУР АН УКРАИНСКОЙ ССР

БОНДАРЕНКО ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, ЗАХАРЧЕНКО ЮРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ТАРАНОВ ЕВГЕНИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумная, камера

Опубликовано: 25.05.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-559037-vakuumnaya-kamera.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная камера</a>

Похожие патенты