Способ изготовления твердотельного электрохромного устройствп

(22) Заявлено 22.12.75 (21) 2197452/26-25 К 602 Г 1 из е пр иненнем заявки 23) Приоритет43) Опубликовано 30 08 78 бюллетеньГооудоротоонньй ивет Соввто Мнннотроо ИС оо делак ноооратоннй и открытнй3) УДК 535,8,"659 .135(088.8) ата опубликования описания 14,07.78 2) Авторы изобретени А. Р. Лусис, Я. К. Кпявинь, Т, В. Замозцик, Ю. Л. Лагзцонс, О, А, Ропе и Я, Я, Пиннис атвийский т"осуцарственный университет им. Петра Сту ц 73) Заявител 54) СПОСОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВН 10 ТЕЛЬНО ЭЛЕКТРОХРОМНОГО УСТРОЙСТВА тв,час тиос Извеси, эпекгрохромных. ы эпекгрохромные строиства,ическойеницов щеапы пены роца )2( .Оцнако бе мовнанесения пециапьного выбора режиэпекгрохромно и верхнего эпе го магериагроца невоз- ыстропейсте эпекгроа, изопя можно обеспе вие эпектрох Цепь изоб ит аипучшее бго устройствя - созцани мно етениойст иче ромного уст а, в котором зобретение относится к способам из отовпения. эпектрооптических уст изготовпенные в вице кристаппппастины, состоящей из гапогпочных метаппов, на которую нэпектроцы из метаппов ипи попупровоцниковых веществ иНаибопее бпизким к описываемому изоб- ретению по технической сущности и постигаемому результату явпяется способ изготовпения тверцогепьного эпектрохромного устройства путем нанесения термическим испарением в вакууме на прозрачную эпектропровопящую поппожку эпекгрохромного материала, изопягора и верхнего эпектна скорость окращивания и обесцвечнваншяспоя эпектрохромного материапа.Эта цепь постигается тем, что эпектрохромный материап (например Ъ/0ооМоОз ) испаряют при 1400-1800 Си цавпении осцточных 2 газов в вакуумнойкамере 510 - 10 мм рт.ст. из поПочки тугоппавкого метаппа (вопьфрам,мопибцен, тантал), прн этом температурапрозрачной эпекгропровоцящей поцпожкио190-210 С, после этого изопягор (МтР,Са Г ) испаряют в вакуумной камере изпоцочкй тугоппавкого метаппа при 1400 о15 С при 4 цавпении остаточных газов10 - 10 мм рт,ст., при этом температура прозрачной эпекгропровопящей попопожки 140-200 С. Наконец, нац слоемизопя тор а наносят верхний эпектроп, например из зопога. Зопого испаряют при 1500 о1600 С и цавпении остаточных газов ввакуумной камере 10 - 510 мм рг.ст. из молибценовой ипи вопьфрамовойпопочки, при этом темпера тура и розр ачной эпектропровоцящей поцпожки 130180 С,3 5481Таким способом псдучен. устройство, в сотором испопьзуется ЯО в качестве эпектрохромного материапа, МуГ в качестве изопятора, Ао, в качестве верхнего эпек тропа и стекпянная пластинка, покрытая споем окиси инция в качестве5 прозрачной епектропровоцящей поцпожки, :.ац спое.л окиси инция наносят спой ,ЙО; в:1 куумной камере при цавпении остаточных газов 610 мм. рт.ст. способом "взрывного" испаовения из мопибценово."оцо.ки при 1700 С; при этом темпе ратура прозрачной эпектропровоцящей поцпожкп 2 С:0 С. Нац споем ЖО наносят слой ,4 уГ, спарением в вакуумной камере при цавпении остаточных газов 510 ммсвт. ст., из мопибценовой поцочкипри 1400 С. При этом температура прозрачной электоропровоцящейпоцпожки 190 С. Поспе этогс наносят слой зопота испарением в вакуумной камере при цавпении остаточных газов 2 10 мм овт,ст. из мопибценовой поцочки прч 1550 С, при этом температура прозрачной эектропровоцящей поцпожки 160 С. Топщина споя %О 1 мкм, споя МдГ - 0,06 мкм, споя зопота - 0,04 мкм.Твер цотепьное эпектрохромное устройство, изготовпенное описанным способом, имеет времена окрашивания и обесцвечи.- вания поряцка 100 мс. ЗоФормупа изобре тен ияСпособ кзготовпения тверцотеьного эпектрокрп 1;л,"о устройства путем нанесе иия термическим испарением в вакууме на прозрачную эпектропровоцяшую поцпожку эпектрохромного материапа, изопятора и верхнего эпектроца, о т и и ч а ю - щ н й с я тем, что, с цепью увеличения скорости окрашивания и обесцвечивания споя эпектрохромного материапа, поспецо ний испаряют при 1400 - 1800 С и чавпении остаточных газов в вакуумной камере 5 "10 - 10 мм рт.ст., температуру прозрачной эпектропровоцящей поцпожки при нанесении эпектрохромного материапа поццерживают в прецепах 1 90- 210 С, изопятор испаряют при 1400о1500 С и цавпении осаточньр газов в вакуумной камере 10 - . 10 мм рт,ст.-, температуру прозрачной эпектропровоцяшей поцпожки при нанесении слоя изопяторао поццерживают в прецепах 140-200 С, материап верхнего эпектроца испаряют прио1500-1600 С и цавпении оуаточныхгазов в вакуумной камере 10 - 510 мм рт.ст., температуру прозрачной эпектропровоцящей поцложки при нанесении верхнего эпектроца поццерживают в прецепах 130- 180 С.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Патент ФРГ1036388,кп. 214/07, 1967,2. Патент США3521941,кп. 350-160, 1970.Составитель Н. РешетниковРецактор Т. Копоццева Техрец И. Климко Корр ек тор А, Кра вче нкоЗаказ 4966/1 Тираж 621 Поцписное ЦНИИПИ Госуцарственного комитета Совета Министров СССР по цепам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., ц. 4/5 Фипиап ППП "Патент"г. Ужгороц, уп, Проектная, 4