Датчик низких давлений газа

Номер патента: 521485

Автор: Шерешевский

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯИ АВТОРСКОМУ СВИДИТИДЬС 7 ВУ(51) М, Кл, б 011 21/00 Ст 011 9/12 1;20 З 9142/1 22) Заявлено 05,09,7 рисоединением заявки-0648 РРВВииуи ВОИВиЗюта Ипади ИРа аеас;ц 0 орюиай а,фииЙ. М. Шерешевски 71) баявитель Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения АН СССР) ДАТЧИК НИЗКИХ ДАВЛЕН ЗА Для использовани и чи оженного д и газовых и сти вакуумн ки газовых систем в частности, к об а д отоков и,й техники. давления регулирования д го потока по зад томатического корости газово в- нения ной пр соедин ля прецизионн го измерения и других о ры с мембравакуумной т нным к сравнитфилированным м с подвижныл льнои камере, и улачком, взаимо ске бластях иснными дат-,ользуют я ман омеяками (3.=33,гм првующи еи- ри нок сильфона, п этом ку ия. Датчик давления состоит из корпуса 1 с двумя камерами 2 и Э, разделенными между собой электропроводкой герметичной мембраной 4, сильфона 5, кулачка (эксцентрика) 6, вентилей 7 и 8, с трубками, соединяюшими соответственно измерительную камеру 2 с объемом, в котором регулируется (или стабилизируется) давление газа, и сравнительную камеру 3 с газовым балле ном. В рабочем режиле датчика вентиль 7 открыт, а вентиль 8 закрыт. Электроды 9 и 10, параллельные плоскости мембраны 4, электрически изолированы от корпуса 1 и имеют выводы 11 и 12 для подключения к источнику питания и мостовой излеритель 5 О Изобретение относится к об Известен также мембранный датчик, /основанный на электростащческой компенсации упругой деформации газонепроницаемой злектропроводной мембраны Щ, Деформация мембраны возникает под действием разности дайчений газа в сравнительной и рабочей камерах датчика, разделенных между собой мембраной. Электростатическая компенсация деформации мембраны осуществляется за счет силы электростатического прижатия между мембраной и параллельным ей плоским электродам, на который подается электрическое напряжение.Однако указанный мембранный датчик с электростатической компенсацией не может быть использован для автоматического регулирования давления газа и скорости газового потока по заданной программе,акме он снабяен силь ном, п чок установлен с возмож521485 вращается при помощи электропривода и изменяет периодически объем сильфонной камеры и давление в сравнительной камере 3. Конфигурация кулачка 6 и скорость его вращении должны СООтветствовать заданной програ 1 ме измерения давления газа (ско, тиазового потока). В зависимости От конфигурации кулачка 6, который являе 1 ся сменным может Осуществляться как плав. ное, так НИя аэа (СКорОСтИ ГаЗОВОГО ПОтОКа).При применении соочве 1 отвующего тпоВого электропривода и сисемы его питания ступенчатое реулирован ж может осуще тьляться путем прерывисто 1 о вращения кулачка 6 за счет периодического включения и в ыкло чени я питания элен гропривода. формула изобретенияДатчик низких давлений газа, соде жащий корпус, разделенный мембраной на две камеры - измерительную и сравнитель-. ную, и два плоских электрода, размещенных в обеих камерах, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с целью использования датчика для автоматического регулирования давления и скорости газового потока по заданной программе, он снабжен сильфоном, присоединенным к сравнительной камере, и сменным профилированным кулачком, взаимодействующим с подвижным дном силь фона, при этом кулачок установлен с возможностью вращения,Источники информации принятые во внимание при экспертизе.1. Патент США3354721, кл 73- -398, 1967.2, Дж. Кекк Измерение давления в вакуумных системах", М., 1966, стр. 26- -353. Г. А, Востров и др. Вакуумметры",Л. 1967, стр, 40-47, а галарта сиеагме НИИПИ Заказ 4872/5 ираж 1029 Поднисн филиал ППП Патент", г. Ужгород, .ул. Проектная

Смотреть

Заявка

2059142, 05.09.1974

СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО АНАЛИТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ АН СССР

ШЕРЕШЕВСКИЙ АРОН МАРКОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 21/00

Метки: газа, давлений, датчик, низких

Опубликовано: 15.07.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-521485-datchik-nizkikh-davlenijj-gaza.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик низких давлений газа</a>

Похожие патенты