Проточный реактор

(22) Заявлено 30.07.73 (21) 1952588/23-26с присоединением заявки че.929(088.8) тто делам нзооретений и открытий(54) ПРОТОЧНЫЙ РЕАКТОР Изобретение относится к области металлургии, занимающейся получением полупроводниковых пленок и монокристаллов,Известен проточный реактор, содержащий корпус, разделенный перегородками на зоны источника и осаждения вещества. Но принудительный перенос реагентов газом - носителем от зоны источника в зону осаждения позволяет получать пленки и монокристаллы, уступающие по своим электрофизическим характеристикам пленкам и монокристаллам, выращенным в замкнутой системе, причем конструкция реакгора обславливает большие потери исходных реагентов, так как продукты реакции после прохождения зоны осаждения выносятся газом - носителем в мусорную зону и больше в реакции не участвуют. С целью улучшения электрофизических параметров осаждаемого вещества и экономии исходных реагентов предлагают снабжать реактор Г-образной перегородкой и дополнительной перегородкой, установле зной соосно с корпусом. Г-образная перегородка выполнена подвижной и соединенной с устройством ее перемещения.На чертеже изображен продольный разрез общего вида реактора,Реактор проточной системы состоит из трубчатого корпуса 1, Г-образной подвижной перегородки 2, штока 3. Реактор имеет зоны источника 4 и осаждения 5 вещества.В отличие от известного реактора такая конструкция обеспечивает возвращение продук тов реакции из зоны осаждения взону источника транспортируемого вещества при нулевой скорости газа - носителя в зонах источника и осаждения. 10 Конструкция работает следующим образом.Перед началом процесса перегородку 2 с помощью штока 3 перемещают в сторону выхода реактора и проводят продувку открытых зон источника и осаждения. Затем нагревают 15 зоны 4 и 5 до заданных температур и возвращают перегородку в исходное положение, после чего вводят в рабочие зоны транспортирующий агент. Перегородка 2 препятствует выходу продуктов 1 зеакции из зоны осаждения к 20 выходу из реактора. Поэтому продукты реакции вынуждены диффундировать из зоны 5 в зоны 4, где вследствие обратимости химической реакции продукты реакции, взаимодействуя с источником, вновь превращаются в ис ходные газообразные реагенты, которые транспортируют материал источника в зону осаждения.Таким образом, предлагаемая конструкцияреактора проточкой системы обеспечивает 30 осуптествление процессов, которые до аих пор487658 Формула изобретения Составитель А, Тарасов Редактор В. Новожилова Техред М. Семенов Корректор Н. ЛебедеваТираж 782 ПодписноеСовета Министров СССРоткрытийнаб., д. 45 Заказ 3330/4 Изд,1883ЦНИИПИ Государственного комитетапо делам изобретений и Москва, 7 К, Раушская Типография, пр. Сапунова, 2 могли быть осуществлены только в замкнутой системе.Реактор также может быть выполнен с плоской перегородкой 2 и дополнительной перегородкой 6. Конструкция с плоской перегородкой работает аналогично конструкции с Г-образной,Предлагаемые конструкции реактора проточной системы опробованы при получении пленок германия способом диспропорционироьания дийодида германия.Реактор изгоговлен из кварцевой трубы диаметром 30 мм и длиной 1000 мм. Общая длина камер источника и осаждения 300 мм. Перегородки изготовлены из кварца и притираются своими торцами к стенкам реактора.Пленки германия, легированные сурьмой, выращиваются в реакторе предлагаемой конструкции и в реакторе известной конструкции (цилиндрическая труба) в одинаковых технологических режимах,Получены следующие результаты:1. Электронограммы пленок, полученные и реакторе с подвижной перегородкой, имеют более резкие линии Кикучи, чем пленки, выращенные в реакторе известной конструкции,Это свидетельствует о более высоком структурном качестве полученных пленок.2, Расход источника германия уменьшается5 в 5,5 - 7,2 раза в расчете на единицу веса выращиваемого вещества, расход йода уменьшается в 8 - 9 раз,3, Коэффициент переноса легирующей примеси примерно в 3,3 раза больше, чем в из 10 вестной конструкции реактора,15 1. Проточный реактор, содержащий трубчатый корпус, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических параметров осаждаемого вещества и экономии исходных веществ, он снабжен Г-образной перс городкой и дополнительной перегородкой, установленной соосно с корпусом.2, Проточный реактор по и. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что Г-образная перегородка выполнена подвижной и соединена с устройст вом ес псрсмещения.