Устройство для получения многократных изображений объекта

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ союз Советских Социалистических(51) б 03 с 9/08 сударственнын комитет Совета Министров СС 53) УДК 772,99(0 вано 15.03.75. Бюллетень10бликования описания 1 б.07.75 ли до делам изобретении и открытий) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МН ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТА РАТНЬ Изобретение относится к области оптического приборостроения.Известны устройства для получения многократных изображений объекта, содержащие осветитель с конденсором, коллиматорным и проекционным объектами и диафрагмой, держатель объекта, коллиматорный объектив, оптический растр и светочувствительный слой,Недостатком известного устройства является взаимное перемещение светочувствительного слоя и объекта.Цель изобретения - устранение взаимных перемещений светочувствительного слоя и объекта, что, в свою очередь, является предпосылкой для повышения качества и производительности труда при производстве интегральных схем. относительно второй призмы систек другой координатной оси объекта.На чертеже изображена аксо принципиальной оптической системь гаемого устройства.Устройство включает в себя ис света, конденсор 2, круглую диаф коллиматорный объектив 4 осветит моугольные призмы 5 и б полного него отражения, представляющие Порро второго рода, проекционный 7 осветителя, размножаемый объект тив 9 коллиматора, оптический ра светочувствительный слой 11. ы вдоль ометри предла точник 1 рагму 3, еля, пря- внутренсистему объектив 8, объекстр 10 и Предлагаемое устройство работает следующим образом.Изображение зоны рсвета передается двухли2 в плоскость круглойкрывая апертуру послфрагма 3 находится вплоскости коллиматорнотителя,Таким образом, гомоцентрический световойпоток, пройдя диафрагму 3, выходит из коллиматорного объектива 4 параллельным пу - ком и, пройдя призменную систему 5 и б Порро второго рода и проекционный объектив 7 осветителя, формирует в плоскости азряда источника 1 нзовым конденсором диафрагмы 3, переедней. Круглая диапередней фокальной го объектива 4 осветигается тем, что впри неподвижныхвительном слое мепроекционным объеовлена призменнаяода с возможностьюс проекционным объль одной координатнодна из призм систоекционным объективлена с возможностью Это до с устройстве светочувст торным и теля устан второго р совместно тителя вдо та, причем зана с пр и установпредлагаемом 20объектах и жду коллимактами осветиистема Порро перемещения 2 ективом освеой оси объекемы тесно свяом осветителяперемещения 3 п 463940;сударствсиного ипо делам изобрМосква,;,-85,Ти ографиги пр. Сяиуиовя объекта 8 четкое изображение круглой дайрагмы 3.Объект 8 установлен в передней фокальной плоскости объектива 9, в непосредственной близости за которым расположен много- линзовый оптический растр 10; в фокальной г., оскости оптического растра 10 размещен светочувствительный слой 11.Световой поток, пройдя сквозь прозрачный объект 8, заполняет полностью апертуру зрачка входа объектива 9, выходя из которого параллельный световой поток полностью перекрывает все линзы оптического растра 10.Таким образом, в фокальной плоскости последнего, на поверхности светочувствительного слоя 11, получается множество изображений некоторой малой зоны объекта 8. Количество изображений на поверхности светочувствительного слоя 11 соответствует числу линз применяемого оптического растра 10, Для того, чтобы получить множество идентичных изображений всего объекта 8 в плоскости светочувствительного слоя 11, призменную систему 5 и 6. Порро второго рода совместно с проекционным объективом 7 осветителя выполняют подвижной. Проекционный объектив 7 осветителя жестко связан с призмой 6 системы Порро.В процессе экспонирования светочувствительного слоя 11 происходит механическое сканирование изображения диафрагмы 3 по всей поверхности объекта 8. В процессе сканирования призменная система Порро и проекционный объектив 7 осветителя перемещаются вдоль координатной оси Х на вели 4чину, несколько большую ширины объекта 8, После этого призма 6 и жестко связанный с ней проекционный объектив 7 перемешаются скачком на некоторую дискретную вели чину (задается конструктивно) шага вдолькоординаты У. Затем продолжается плавное совместное перемещение системы 5 и 6 Порро и объектива 7 в обратную сторону вдоль координаты Х. Конструктивные параметры 10 проекционного объектива 7 осветителя выбраны так, что апертура входного зрачка объектива 9 коллиматора в процессе сканирования постоянно перекрыта световым полем гомоцентрического потока, формируемо го проекционным объективом осветителя.Предмет изобретенияУстройство для получения многократныхизображений объекта, содержащее освети тель с конденсором, коллиматорным и проекционным объективами и диафрагмой, держатель объекта, коллиматорный объектив, оптический растр и светочувствительный слой, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества изображения, между коллиматорным и проекционным объективами осветителя установлена призменная система Порро второго рода с возможностью перемещения совместно с проекционным объекти вом осветителя вдоль одной координатнойоси объекта, причем одна из призм системы жестко связана с проекционным объективом осветителя и установлена с возможностью перемещения относительно второй призмы 35 системы вдоль другой координатной осиобъекта.