Высоковакуумный электронный микроскоп

Номер патента: 461465

Автор: Макаров

ZIP архив

Текст

п 11 461465 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлен с присоединением заявки23) Приоритетпубликовано 25.02,75. Бюллетень7ата опубликования описания 15.04.75 ооударстеенныи комитетС вета Миннотрав СССРоо делам изобретенийн откоытнй 53) УДК 621.385,833) Заявитель АКУУМНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ 4 ВЫС РОСКОП Изобретение относится к электронно-микроскопическому приборостроению и может быть использовано в электронных микроскопах со сверхвысоким вакуумом.Известны сверхвысоковакуумные электрон ные микроскопы с фокусирующими магнитными линзами, расположенными вне вакуумногерметичного корпуса и выполненными из аксиально-симметричных деталей, которые можно снять только при полной разборке микро скопа. Вакуумно-герметичный корпус в области расположения магнитных линз выполнен в виде трубы из немагнитного материала, соединенной по торцам с корпусом электронной пушки и камерой образцов. В процессе откач ки микроскоп можно прогреть до 200 С.Однако известные электронные микроскопы невозможно демонтировать в период прогрева прибора при обезгаживании, что ограничивает температуру прогрева (примерно до 200 С) 20 и соответственно сильно увеличивает время откачки микроскопа.Цель изобретения - улучшение эксплуатационных качеств сверхвысоковакуумных электроннолучевых приборов. 25Это достигается тем, что часть магнитопровода, расположенная между катушкой и корпусом, выполнена в виде отдельных секторов.На чертеже представлена схема части корпуса прибора с магнитной линзой, в двух про екциях. Приняты следующие обозначения: труба (корпус) 1; фланец 2; патрубок 3; полюсный наконечник 4; катушка 5 с обмоткой; сектор 6 магнитопровода.Неразборный участок корпуса микроскопа состоит из тонкостенной трубы 1 из немагнитного материала, ось которой совпадает с электронно-оптической осью прибора, приваренных фланцев 2 и патрубка 3. Внутри трубы 1 расположены полюсные наконечники 4 магнитной линзы. Между катушкой 5 с обмоткой линзы и трубой корпуса 1 часть магнитопровода выполнена в виде нескольких отдельных секторов 6, например четырех, для уменьшения асимметрии фокусирующего поля. Вакуумно-герметичный корпус прибора изготавливают с наружными вакуумными уплотнениями (фланцы 2, патрубок 3). Катушку 5 с обмоткой магнитной линзы надевают на корпус 1 при окончательной сборке. В период обезгаживания при откачке прибора нагревательный элемент (например, электрическую печь) устанавливают в пространство между корпусом 1 и катушкой 5; при этом катушку можно сдвинуть вдоль трубы корпуса. Прогрев корпуса прибора при обезгаживании возможен до 450 С, что уменьшает время откачки. По достижении необходимого вакуума на гревательный элемент убирают, между корпусом 1 и катушкой 5 устанавливают сектора 6,Редактор А, Батыгин Заказ 838/16 Изд.433 Тираж 833 Подписнос ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 замыкающие магнитную цепь между магнитопроводом катушки и соответствующим полюсным наконечником 4. П р едм ет изобретения Высоковакуумный электронный микроскоп,содержащий цельнометаллический участок корпуса с фланцами, магнитопровод и цилиндрическую катушку с обмоткой, о т л и ч а ю.щ и й с я тем, что, с целью уменьшения времени подготовки микроскопа к работе, часть 5 магнитопровода, расположенная между катушкой и корпусом, выполнена в виде отдельных секторов.

Смотреть

Заявка

1803695, 30.06.1972

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6681

МАКАРОВ КИРИЛЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 37/26

Метки: высоковакуумный, микроскоп, электронный

Опубликовано: 25.02.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-461465-vysokovakuumnyjj-ehlektronnyjj-mikroskop.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Высоковакуумный электронный микроскоп</a>

Похожие патенты