Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 453566
Автор: Вальдман
Текст
п 453566 Союз Созетских Социалистических Республикосударстаенныи комитетСовете Министров СССРпо делам изобретенийи открытий(088,8) 72) Автор изобретени альдм 1) Заявитель Рижский политехнический институ 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИЧЕСКИ АРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛЕНО 2 емые в проводяще го преобразователя осцтельно вихревых вихревым преобра. сго достигается поющее поле токовца следовательно, и нем прц изменении ором диапазоне осИзобретение относится к области неразрушающих методов контроля и может быть использовано в толщинометрии, например, для непрерывного контроля толщины или поверхностного сопротивления напыленного слоя, наносимого на конденсаторные диэлектрики, в процессе вакуумной металлизации,Известное устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок содержит генератор, токовихревой преобразователь, емкостной преобразователь, усилитель ц индикатор.Однако в известном устройстве необходимо заземление электропроводящего слоя, что снижает надежность контроля, особенно при непрерывном контроле движущегося изделия. Кроме того, напряжение, снимаемое с емкостного преобразователя, компенсирует часть напряжения, снимаемого с токовихревого преобразователя.Для повышения надежности контроля предлагаемое устройство снабжено дополнительной индуктивностью, емкостной преобразователь выполнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей торцовой поверхности токо- вихревого преобразователя, и образует с дополнительной индуктивностью колебательный контур.На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства. К одному из выходов генератора 1 последовательно подключены эмиттерньш повторитель 2, токовихревой преобразователь 3, эмиттерньш повторитель 4, усилитель 5, амплитуд ный детектор 6, усилитель 7 постоянного тока, на выходе которого включен индикатор 8.К другому выходу генератора 1 подключен эмцттерный повторитель 9 и емкостной преобразователь 1 О.10 Устройство работает следующим образом.Накладной токовцхревой преобразователь 3питается от генератора 1 через эмцттерный повторитель 2. Сигнал с токовцхревого преобразователя через эмцттерцый повторитсль 4, 15 усилитель 5, амплитудный дектор 6 ц усилитель 7 постоянного тока поступает на индикатор 8. Емкостной преобразователь 10 питается также от генератора 1 через эмцттерный повторитель 9. Вихревые токи, цндуццру материале полем емкостно 10, сдвинуты ца 180 отн токов, индуцируемых токо 25 зователем 3, вследствии ч ложение, когда рсзультиру хревого преобразователя,выходное напряжение на величины зазора в цекот ЗО тается неизменным.453566 Предмет изобретения Составитель А. Денель сдактор Л. Василькова Тсхред 3. Тараненко Корректор А. ВасильевПодписноСССР Тираж 760 овета Минис открытий аб., д. 4/5 аказ 3722/1 Изд. М 1941ЦНИИПИ Государственного комитетапо делам изобретений иМосква, К, Раушская шография, пр. Сапунова, 2 Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок, содержащее генератор, токовихревой преобразователь, емкостной преобразователь, усилитель и индикатор, отличающееся тем, что, с- 11м. целью повышения надежности контроля, оно снабжено дополнительной индуктивпостью, емкостной преобразователь выполнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей тор цовой поверхности токовихревого преобразователя, и образует с дополнительной ипдуктивностью колебательный контур.
СмотретьЗаявка
1849664, 17.11.1972
А. Б. Вальдман Рижский политехнический институт
МПК / Метки
МПК: G01B 21/02, G01N 27/82
Метки: параметров, пленок, поверхностных, тонких, физических
Опубликовано: 15.12.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-453566-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-fizicheskikh-parametrov-tonkikh-poverkhnostnykh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок</a>
Преобразователь параметров емкостного датчика
Номер патента: 657371
Опубликовано: 15.04.1979
Автор: Мручко
МПК: G01R 27/26
Метки: датчика, емкостного, параметров
...делитель 7 частоты на сумматор 10 и суммируется с напряжением, 45 выхода интегратора 6.Просуммированный сигнал поступает на управляемий гене ратор 2. Напряжение, управляющее с выхода Управляемого генератора 2, равно где А - амплитуда сигнала вспомогательного генератора 3;Я - частота выходного напряжения вспомогательного генератора 3; 88А - постоянная составляющая выходного напряжения интегратора б.Выходная частота(о, управляемого генератора намного меньше частоты управлениявспомогательного генератора 3. Управляемый генератор 2 является вэтом случае безынерциальным пропорциональным звеном, а его частота равна где Юс- постоянная составл,ющая выходной частоты управляемого генератора 2;(й, - амплитудное значение девиации выходной частоты...
Преобразователь параметров емкостного контактного датчика
Номер патента: 1140028
Опубликовано: 15.02.1985
Авторы: Мартяшин, Машошин, Рябов
МПК: G01N 27/22
Метки: датчика, емкостного, контактного, параметров
...контактного датчика содержитгенератор прямоугольного напряже-. ния (ГПН) 1, емкостной контактный датчик (Д) 2, эквивалентная схема которого представлена емкостью С 1, характеризующей мгновенную поляризацию в исследуемом веществе и геометрическую емкость пустого датчика,резистором сквозной проводимости ссопротивлением В 1, резистором поляризационных потерь с сопротивлениемВ 2, а также емкостью С 2, характеризующей релаксационную поляризациюв веществе, операционный усилитель(ОУ) 3 с опорным конденсатором 4 емкостью С в цепи отрицательной обратной связи, первый Фильтр нижних частот (ФНЧ) 5, генератор синусоидального найряжения (ГСН) б, сумматор 7, формирователь стробирующих импульсов (УФСИ) 8, регулируемый элемент 9,опорный резистор 10 с...
Измерительный преобразователь сигналов емкостных датчиков
Номер патента: 1215058
Опубликовано: 28.02.1986
Авторы: Жуйкова, Калашников, Кочетов, Савчук, Чуков
МПК: G01R 27/26
Метки: датчиков, емкостных, измерительный, сигналов
...совпаде 15058 1.коэффициент передачи компенсационно 40 45 50 55 5 1 О 15 ния формирователя 10. Симметричныепротивофазные импульсы второго триггера (фиг. 2 Ь,) поступают также навходы управления коммутаторов модулятора 6. С объединенных выходовкоммутаторов отрицательные прямоугольные импульсы с амплитудой БЬыл(Фиг, 2 д) поступают на общий выводконденсаторов датчика 1. Сигнал датчика 1 с выхода измеряемого конденсатора поступает на инвертирующийвход усилителя 7 измерительногоканала. Выходной сигнал данного усилителя представляет собой импульсынапряжения, которые затем подаютсяна вход демодулятора 8. На входыуправления этих коммутаторов подаются импульсы с выходов элементовсовпадения Формирователя 10 Импульсы управления коммутаторов...
Преобразователь параметров емкостного датчика
Номер патента: 1651186
Опубликовано: 23.05.1991
Авторы: Бурбело, Голоцуков, Мартинец, Чорноус
МПК: G01N 27/22
Метки: датчика, емкостного, параметров
...вп(и 1 +срз ) иОд" =09 вп(вг 1+рр ) с выхода операционного усилителя 8. Напряжение 09 пропорционально проводимости Ув образцового конденсатора 6:09 = -О 1 Ув В 12 = -01) в СвВ 12,где Св - емкость конденсатора 6;В 12 - сопротивление резистора 12.Отношение напряжения 01 з к Оэ после достижения первого состояния квази- равновесия (при условии В 10 = Я 1 - В 12) будет равнымили Оз сов 1 рз -09 Озсов 1 уз" - уъ(4) 09Оп- хоКомпонентный детектор 16 определяетотношение синфазной составляющей на 1пряжения к амплитуде напряжения 09 иосуществляет приведение измерительнойцепи к второму состоянию квазиравновесияпутем регулирования коэффициента передачи управляемого делителя 14 напряжения,осуществляемого изменением цифровогокода на выходах...
Измерительный преобразователь сигналов емкостных датчиков
Номер патента: 1827029
Опубликовано: 07.07.1993
Авторы: Тимушкин, Щеголеватых
МПК: G01R 27/26
Метки: датчиков, емкостных, измерительный, сигналов
...заявляемого преобразователя и аналогов: емкостный датчик совпадает с прототипом, наличие двух операционных усилителей - существует в заявляемом устройстве и прототипе; высокочастотный генератор на аднопереходном транзисторе - тсутствует в прототипе и аналогах, но известен из литературы; трансформатор на выходе второго операционного усилителя отсутствует в прототипе и аналогах, но известен из литературы; высокочастотный генератор нэ аднопереходном транзисторе, имеющий отрицательную обратную связь по произведению частоты нэ амплитуду сигнала, отсутствует в аналогах инеизвестен из литературы,В предлокенной схеме возможно исключение элементов; отдельного высокочастотного генератора и диода 12, В первом случае используется паразитное...