Способ резки твердых и хрупких материалов

Номер патента: 952619

Опубликовано: 23.08.1982

Авторы: Вилков, Елизаров, Зимицкий, Чигринский, Шуваев

МПК: B28D 1/18

Метки: пластин, полупроводниковых, резки

...19 с зазором установленыцилиндрические штанги 21, концы которых жестко закреплены в корпусе. 30Большее основание вакуумного стола 5 имеет постоянные магниты 22.Устройство работает следующим образом.Перед началом обработки, узел 6 сов 3 Фмещения настраивают относительнолинии реза, чля чего на вакуумномстоле 5 закрепляют пробную пластину и надрезают ее. Затем визирнуюлинию оптического устройства сов Омешают с линией реза. В дальнейшемвизирная линия служит базой приориентации рабочих пластин. Рабочуюпластину 23 закрепляют совместно сметаллическим кольцом 24 на адгези-онной пленке 25 и устанавливаютна вакуумном столе. При этом металлическое кольцо притягивается к магнитам 22 и пленка облегает конус стола.В этом случае алмазный круг...

Номер патента: 352771

Опубликовано: 01.01.1972

Автор: Бут

МПК: B28D 5/00

Метки: кристаллы, пластин, полупроводниковых, резки

...вдоль следов эцсргстичсски слабы.; кристаллографц ческих плоскостей. На фиг, 1 изображецы следы пересечения с плоскостью (111) плоскостей, слабых в эцер гетт 1 ческок Отцошеции; ца фиг, 2 показао кяк по трем естественным граням 1 роста ца цикием торце слитка цаходят цапраьлецис пло- кости (001), обозцачецьое стрелкой 2, и мсстопахождеццс базового среза 3 отцос:,тельц2 этои стрелки. Направлепие тлоскости (001) ця верхцем торце слитка будет противоположцым.Практически цахокдецие эцергегцческц слабых плоскостей и резка пластин ца кр;с НяпряВ 1 ецие 1 ка 1 заццых плоскостеи, тяк же как и (111) (111) и (111), можцо найти рентгецографическцм методом.Найденное по трсугольццку одцо цз напра- леций, например плоскости (001), прогцвополож...

Номер патента: 1359139

Опубликовано: 15.12.1987

Авторы: Вилков, Кусакин, Метелев, Шуваев

МПК: B28D 1/18

Метки: пластин, резки

...с аэростатическими подпятниками приводит к созданию системы коррекции угла наклона плоскости вакуумного стола, Отсутствие второй цилиндрической направляющей приводит к ликвидации перекосов корпусоц кареток. Устройство для резки пластин, содержащее корпус с двумя парами взаимИзобретение относится к обработкерезанием неметаллических материалов,а именно к разрезке полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промышленности.Цель изобретения - повышение точности отрезаемых пластин.Поставленная цель достигается тем,что в устройстве для резки пластинодна из каждой пары направляющих выполнена цилиндрической, а другаяплоской, причем опоры вакуумного стола, взаимодействующие с плоской направляющей, выполнены в виде...

Номер патента: 1712163

Опубликовано: 15.02.1992

Авторы: Метелев, Шепелев, Шуваев

МПК: B28D 7/00

Метки: пластин, полупроводниковых, резки

...между направляющими и подпятниками подается через отверстия малого диаметра, Аэростаические подпятники 14-17 имеют возможность регулировки.с помощью винтов 18, Конструкция всех подпятников одинаковая,Устройство работает следующим образом,Перед началом работы нэ устройстве производится выставление параллельности плоскости вакуумного стола 5 относительно плоскости поперечных чаправляющих шпинделя 7, что осуществляется следующим образом. С помощью зинтов 18, обеспечивается стопорение кар,ток продольной 3 и поперечной 4 подач на призматических направляющих 10 и 11, после чего, ослабляя давление подпятников 14 и 16, добиваются свободного скольжения кареток 3 и 4 при минимальных зазорах, обеспечивая при этом максимальную жесткость системы...

Номер патента: 617271

Опубликовано: 30.07.1978

Авторы: Белов, Герасимов, Карпов, Красавина, Сурогин, Цыпкин, Чернышев

МПК: B28D 1/18

Метки: пластин, полупроводниковых, резки

...гайка для продольной подачи,снабженная приводом подачи, кинематически связана с винтом салазок, имеющимвозможность вращательного движения вЗО опорах.3На чертеже дана кинематическая схема предлагаемого устройства для резки пластин полупроводниковых материалов.Устройство состоит из корпуса 1 с направляющими 2 и неподвижно закрепленным ходовым винтом 3, снабженным гайкой 4 для продольной подачи, жестко связанной с червячным колесом 5 и винтовой шестерней 6. Червячное колесо 5 входит в зацепление с червяком 7, являющимся при О водам подачи, а винтовая шестерня 6 входит в зацепление с винтовой шестерней 8, которая жестко закреплена на ходовом винте 9 поперечной подачи, связанном с салазками 10 при помощи опор 11 враща тельного движения,...