Спосюб изготовления мембранныхприборов с микрозазором
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 415432
Авторы: Гаврюшкин, Гилев, Солдатенков
Текст
0 П И С А Й"Й"6 И ЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик4 Б 432 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ тельства -(51) М. К 161 З(00 04 г 702 0571/18-24 исоединением заявки осударственный комитеСовета Министров СССРоа делам изобретенийи открытию(088.8) Дата опубликования описания 17.09,7 Авторыизобретения. С. Солдатенков шкив 1) Заявитель СОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННЫХ ПРИБОРОВ С МИКРОЗАЗОРОМ 54 редм ет изоб я мембранных прибоем последовател ьного изоляционного и будующим жидкостным ного слоя для образом травящей жидкости ся тем, что, с целью Это позволяет повы зения прибора.При реализации опи ледовательно наносят ожку прибора тянущи нный слой, контакты,ить качество изгото ываемого способа понапыляют) на подэлектроды; изоляциуферный слой и мем(61) Зависимое от авт. с (22) Заявлено 22.09,70 (2 1Изобретение относится к области микроэлектронной техники и предназначено для использования при изготовлении микрополостных электромеханических приборов (пленочных электростатических реле, мембранных модуляторов света и др).1 Лзвестные способы изготовления мембран. ных приборов с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев, с последующим жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и сушкой не обеспечивают повышенного качества изготовления из-за залипания мембраны при сушке под действием сил поверхностного натяжения в зазоре, соизмеримых по величине с электростатически. ми силами, действующими в готовом приборе пр и его р а боте.Отличием описываемого способа является то, что сушку производят в электростатиче. ском поле, силы притяжения которого превышают силы поверхностного натяженич в зазоре. брану, после чего удаляют буферный слой посредством вытравливания и промывки с сушилкой прибора в электростатическом поле, силы притяжения которого превышают силы в поверхностного натяжения в зазоре.Последняя операция может быть реализована с помощью приспособления, конструктивная схема которого показана на чертеже.Оно представляет собой диэлектрическую 1 О подложку 1 с нанесенными на нее двумя электродамии несколькими опорными выступами 3. При сушке прибора с подложкой 4 и мембраной 5 устройство устанавливают на подложку опорными выступами так, чтобы 15 электрическое поле между электродами 2замкнулось через мембрану 5. Во время сушки электростатические силы оттягивают мембрану к электродам 3, и жидкость свободно испаряется пз мпкрополости прибора.20 Способ изготовлени 25 ров с микрозазором пузнанесения электродов, ферного слоев, с после вытравливанием буфер вания зазора, удаление Зо и сушкой, отличаю 1 ций415432 Составитель Е. Иванова Текред Г, Васильева 1(орректор Т, Хворова Редактор Б, Нанкина Изд, ЛЪ 1298 Тираж 875 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж; Раушская наб., д. 4/5Заказ 3038 Загорская типография повышения качества изготовления, сушку производят в электростатическом поле, силы притяжения которото превышают силы поверхностного натяжения в зазоре.
СмотретьЗаявка
1480571, 22.09.1970
Ю. П. гилев, Л. П. Гаврюшкин, И. С. Солдатенков
МПК / Метки
Метки: мембранныхприборов, микрозазором, спосюб
Опубликовано: 15.02.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-415432-sposyub-izgotovleniya-membrannykhpriborov-s-mikrozazorom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Спосюб изготовления мембранныхприборов с микрозазором</a>
Предыдущий патент: Клиновое устройство свободного хода
Следующий патент: Затор для крупногабаритных сосудов
Случайный патент: Холодильная камера для хранения сочной сельскохозяйственной продукции