410340

4034 О ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советсиих Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства1712350/26-25) М, Кл, б 01 г 31/26 аявлено 09.Х 1.197 киисоединением за Гасударственный комитеСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий риоритет бликовано 05,1.1974. Бюллетень1 ДЕ 621.382.3 (088,8) ата опубликования описания 6 Л.1974 Авторыизобретен, Рыскин аявитель ОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИНИМАЛЬНОЙ ТОЛЩИНЬ БАЗЫ ТРАНЗИСТОРОВ 2 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля параметров полупроводниковых приборов в процессе их производства.Известны устройства для измерения минимальной толщины базы транзисторов, содержащие источник запирающего напряжения эмиттер-база, источник запирающего напряжения коллектор-база, генератор высокой частоты и индикатор, служащий для фиксации момента появления напряжения высокой частоты в коллекторной цепи.Недостатки известных устройств следующие:ограниченный диапазон измерения минимальной толщины базы, обусловленный тем, что у транзисторов с толстой базой электрический пробой наступает раньше, чем смыкание;невысокая точность измерения вследствие зависимости момента фиксации прокола от площади дефекта;невысокая скорость измерения вследствие необходимости дополнительных вычислений,Целью изобретения является повышение точности измерений, Поставленная цель достигается тем, что предложенное устройство содержит схему задержки, вход которой соединен с выходом схемы сравнения, а выход - со счетчиком импульсов и схемой ИЛИ. Второй ьход схемы ИЛИ соединен с выходом генератора пускового импульса, второй выход которого через генератор линейно изменяющегося напряжения подключен к схеме сравнения.Второй вход схемы сравнения через генератор 5 импульсов тока соединен со схемой ИЛИНа чертеже представлена блок-схема предложенного устройства.Устройство содержит логическую схемуИЛИ 1, счетчик импульсов 2, схему задерж ки 3, генератор импульсов тока 4, генератор пускового импульса 5, генератор линейно изменяющегося напряжения 6, схему сравнения 7.Сигнал Пуск с одного цз выходов генера тора пускового импульса 5 поступает через логическую схему ИЛИ 1 ца генератор импульсов тока 4, а с другого выхода - на генератор линейно изменяющегося напряжения 6.Импульс тока с генератора 4, проходя по це пц эмиттер-коллектор испытуемого транзистора, создает ца цем падение напряжения, амплитуда которого пропорциональна мицималььой толщине базы. Это напряжение и линейно изменяющееся напряжение с генератора 6 25 поддается на входы схемы сравнения 7. Еслиамплитуда напряжения, снимаемого с транзистора, превышает амплитуду линейно изменяющегося напряжения, схема сравнения 7 формирует импульс, который задерживается схеЗ 0 мой задержки 3 и подается на вход счетчика 2410340 Предмет изобретения Составитель 3, Челнокова едактор Т. Орловская Техред 3, Тараненко Корректор Н. ТоркиЗаказ 1044/11ЦНИИПИ Изд. Ыа осударствен по делам Москва, Я57 Тираж б ого комитета Совета Ми изобретений и открытий 35, Раушская наб д. 4/ 8 пистПодписСССР апунова, 2 пографи и на один из входов логической схемы ИЛИ 1. Импульс с выхода логической схемы ИЛИ 1 запускает генератор импульсов тока 4, и цикл измерения повторяется.Если амплитуда линейно изменяющегося яапряжения превышает амплитуду падения напряжения на испытуемом транзисторе, схема сравнения 7 не формирует выходной импульс, и процесс прекращается,Так как время задержки импульса пропорционально приращению амплитуды линейно изменяющегося напряжения, то в счетчике накапливается число импульсов, равное минимальной толщине базы. Для сбрасывания показания счетчика 2 подается сигнал Сброс, который подготовляет устройство к следующему измерению. Устройство для измерения минимальнойтолщины базы транзисторов, содержащее 5 счетчик импульсов, генератор пускового импульса, генератор импульсов тока и логическу 1 о схему ИЛИ, отл ич а юще еся тем, что, с целью повышения точности измерений, оно содержит схему задержки, вход которой 10 соединен с выходом схемы сравнения, а выходсоединен со счетчиком и схемой ИЛИ, второй вход которой соединен с выходом генератора пускового импульса, второй выход которого через генератор линейно изменяющегося 15 напряжения соединен со схемой сравнения,второй вход схемы сравнения через генератор импульсов тока соединен со схемой ИЛИ.