408665

1 ц 1 408665 О П И С А Н И ЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДБТН 1 ЬСТВУ Со 1 оз Советских Социалистических Республик(61) Зависимое от авт. свпдстсльства -2) Заявлено 06,03,72 (21) 1755544/181) М,Кл. В 06 Ь 100 с присоединением заявки х;" осударствеииыи квмитвтСаавта Мииистров СССРоа делам изааретвиийи открытий 32) Приоритет -(53) УДК 534.232(088.8) В 1 оллстсп 1 .хаос 48 Опубликовано 30.11.73,Дата опубликования опис ппя 08.08,74 11 Г(72) Авторы изобретения М. А. Земляиицын и Л. И, Морозовиститут радиотехники и электроники ЛН СС 71) Заявитель ПЬЕЗОПОЛУПРОВОДНИКОВЫй ПРЕОБРАЗОВАТЕЛ Изобретение относится к пьезополупроводпиковым преобразователям с диффузионным слоем, изготовленным, например, из Сд 5, ХпО, 11 аАэ и предназначенным для возбуждения и приема ультразвуковых волн, и может быть использовано при изготовлении широко. полосных ультразвуковых линий задержки, работающих в диапазоне 10 - 300 Мг 1(,Известна конструкция пьезополупроводпикового преобразователя с диффузионным слоем, представляющая собой низкоомную пластину пьезополупроводника, в которой диффузией примеси создан высокоомпый пьезообразующий слой, а тыльная часть пластины скошена под острым углом к рабочей плоскости. Это необходимо для устранения ряби амплитудно-частотной характеристики, вызываемой интерференцией основной и отраженной от тыльной стороны пластины ультразвуковых волн.В таком преобразователе толщина пьезополупроводниковой пластины должна быть по возможности малой, для того чтобы сопротивление толщи ес материала (сопротивление базы) не служило источником дополнительнь 1 х электричеСких потерь. Однако при уменьшении толщины пластины механическая прочность ее понижается, Кроме того, изготовление скоса и последующая приклейка скошенного преооразователл к звукопроводу под давлсц для обеспечения тонкого слоя акустической связи, особенно на частотах выше,100 Мгч,. приводит к поломкам преобразователя.5 Цель изобретения - улучшение электрических хардктсрпстик прсобрдзовд 1 пгл прп сохранении мсх 11 пической проп 1 ос 1 п прс 11 брдзовдтслл.Это достигается тем, что в прсобрдзовдтс О лс па ть 1,7 ьпой стороне пьезопОлупроводп 11 КОвоп пластины выполнена конусообразная с закругленной вершиной лунка, заполненц зьукопоглощдющим металлическим сплавом, образующим омичсский контакт к исходному полупроводнику и имс 1 ощим с последним близкий по величине акустический нмпсдднс.1-а черте;е сематеси изображен предлагаемый преобразователь, где- контакт ный электрод; 2 - пьезопреобразую 1 цпй вы.сокоомный слой; .1 - исходная пластина ппзкоомного пьсзополупроводника; 4 - область твердого раствора металл-полупроводник; 5 - лунка, заполненная металлическим сплавом,Г 1 реобразователь с диффузионным слоем в в 5 таком конструктивном исполнении более прочен при поджиме и удобен при сборке ультразвуковых линий задержки (УЛЗ), чем скошенный преобразователь и практически пс имеет ряби (рлбь 0,5 дб). 11 длпчпе ты,7 ьпой Зо звукопоглощающей нагрузки в виде лунки408665 Составитель Г. ТереховаТехред 3. Тараненко Редактор И, Грузова. Корректор Н, Торкина Заказ 1768 Изд.1126 Тираж 539 ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская иаб., д. 4/5Подписное Загорская типография позволяет уменьшить также уровень многократно отраженных сигналов при использовапни преобразователей в вь 1 сокочастотных УЛЗ. Изготовление таких преобразователей технологично, так как лунки можно одновременно сверлить на большом числе пластин на строго контролируемую глубину (например, с помощью ульгразвуковой обработки), а образование диффузионного слоя и вплавление звукопоглотителя - омического контакта можно обеспечить одновременно при температуре диффузионного отжига. 4:Предмет изобретенияПьезополупроводниковый преоблразовательв виде пластины с диффузионным слоем, отличаюи 1 ийся тем, что, с целью улучшения 5 электрических характеристик при сохранениимеханической прочности преобразователя, на тыльной стороне пластины выполнена конусообразная с закругленной вершиной лунка, заполненная звукопоглощающиМ металличе 1 о ским сплавом, образующим омический контакт к исходному пьезополупройоднику и имеющим с последним близкий по величине акустический импеданс.