407218
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 407218
Авторы: Морозов, Чудновский
Текст
(И) 407 ИВ Союз Соеетскии Социалистических Реслублик.72 (21) 1761ем заявки-2) исоединен Гасударственные комитет Совета Министров СССР ао делам изооретений и открытий(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕРМ Изобретвние относится к области исследования пленочных структур в полупроводниковой технике,Известен способ измерения термо- э.д.с. тонких пленок с помощью двух зондов.Однако по известному способу невозможно определять коэффициент термо-э.д.с.пленок более тонких, чем 10 - 20 мкм,Для повышения точности измерений (пленок толщиной до нескольких сот ангстрем), предлагается способ, по которому в соприкосновение с исследуемой пленкой приводят заранее нагретый зонд и регистрируют сигнал термо-э,д,с., возникающий в момент соприкосновения, и по начальной температуре нагретого зонда и максимальной амплитуде сигнала термо-э.д.с, судят о коэффициенте термо-э.д,с, пленки.Один из зондов нагревают с помощью нагревателя, после чего приводят в соприкосновение с исследуемой структурой, состоящей из плвнки, нанесенной на подложку. Подложка и пленка имеют разное значение коэффициента терм о-э.д.с.Предварительно на подложку устанавливают ненагретый зонд.В момент соприкосновения нагретого зонда с пленкой возникает сигнал термо-э,д.с который поступает на усилитель и регистрируется осциллографом. По начальнои температуре зонда и максимальной амплитуде регистрируемого сигнала термо-э.д.с. судят о коэффициенте термо-э.д.с.пленки.5 Схема количественного расчета сводится крешению задачи теплопроводности при наличии цилиндрического источника и с учетом, во-первых, теплоотдачи от его поверхности в окружающее пространство по закону Ньютона и, во вторых, в пленочный образец от острия зонда.При расчетах значения коэффициента термо-э.д.с. исследуемой пленки принимают во внимание следующие факторы. Во-перовых, температуру на конце зонда в течение времени изме рения можно считать постояиной, так как теплоемкость:прогретого за этот период участка,пленки очень незначительна, а теплопроводность металлического зонда значительно выше, чем теплопроводность полупроводнико вой пленки. Во-вторых, выбрав зонд, имеющийдостаточно большой диаметр острия и радиус закругления, стремящийся к бесконечности, можно считать, что прямоугольная форма фронта тепловой волны не искажается за вре мя, равное .периоду установления термо-э.д.с.,т. е. на всей глубине слоя, прогретого за это время, устанавливается постояиная температура. Однако при расчете коэффициента термо-э,д.с. необходимо учитывать, что это можно 30 делать только в том случае, если форма перво407218 Составитель С. БелородиФнноРедактор И. Шубина Техред. Е. Борисова Корректор Н, Стельмах Заказ 535 Изд.1043 Тираж 678 Подйисйое ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 45Типография НИИМАШ, ст. Щербинка го отклонения регистрируемого сигнала имеет участок с максимальной амплитудой. Этот участок может отсутствовать, если .время установления термоэ,д.с слищком велико, что обусловлено слишком большим временем релаксации носителей. Кроме этого, достаточно точеные измерения можно производить только в том случае, если толщина прогретого слоя в несколько раз больше, чем длина свободного пробега носителей, в противном случае вообще нельзя говорить о температуре носителей в данном слое. Г 1 редмет изобретенияСпособ измерения термо-э.д,с. тонких пленокс помощью двух зондов, один из которых нагревают, и измерительной цвци, регистрирую щей термо-э,д.с., отличающийся тем, что, сцелью повышения точности измерений, зонд нагревают предварительно и нриводят в соприкосновение с исследуемой пленкой, регистрируют сигнал термоэ.д,с., возникающий в момент 10 соприкосновения, и по начальной температуренагретого зонда и максимальной амплитуде сигнала термо-э,д.,с, судят о коэффициенте термо-э.д,с. пленки.
СмотретьЗаявка
1761794, 21.03.1972
А. Ф. Чудновский, Л. Н. Морозов Агрофизический научно исследовательский институт
МПК / Метки
МПК: G01N 25/32
Метки: 407218
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-407218-407218.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">407218</a>
Предыдущий патент: Термометрический kohuehtpatomepi.: i:
Следующий патент: 407219
Случайный патент: Устройство для осаждения резистивных покрытий из парогазовой фазы на заготовки резисторов