Способ изготовления мультиплицированных фотошаблонов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеслублинЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 01.Ч 1,1971 ( 1663559/26-9) М Кл б 03 5/06 присоединением заявкиКомитет оо делам зобретений и открытийри Совете Министров СССРования описа та опу Г. П. Шадурский и В. А, Козлов Заявитель НИЯ МУЛЪТИПЛИЦИРОВАННЪ 1ТОШАБЛОНОВ ИЗГОТО СП 2 Изобретение отно электроники и може изготовления фотош росхем.Известен способ и рованных фотошабл бора повторяющегос ной его мультиплика вого объектива.Однако известный готавливать фотоша мультипликации с од аговых элементов вкой пластины-маса растром на опреазы (например, два ) Маскирование внутриш растра достигается устано ки 7, о или 9 перед или деленные механические б цилиндрических штифта 1 сится к области микр т быть использовано д аблонов пленочных ми готовления мультиплицинов посредством фотоная рисунка с одновременцией с помощью растроРаботающими элементами растра будут те,против которых на пластине-маске имеютсяотверстия 11 диаметром не менее шага элемента растра,Для использования такого способа прнбольшой номенклатуре изделий потребуютсясменные пластины-маски, позволяющие оставить работающими в оптической схеме оптические элементы, расстояние между которымиравно предполагаемому шагу 12 мультипликации,Таких пластин должно быть столько, сколько типоразмеров шагов на фотошаблонах.Приступая к изготовлению комплекта фотошаблонов, необходимо изготавливать пластину-маску, т, е, в пластине, толщина которой( 0,5 мм, просверлить отверстия диаметромне менее шага элементов растра с точностью.+ 0,1 мм, с такой же точностью на пластинемаске соблюдается шаг этих отверстий в требуемых координатах. Готовая пластина-маскаустанавливается в узел, где сбазирован растр.Затем производится генерация всех структур0 фотошаблона методом фотонабора. способ не позволяет изблон с различным шагом ним объективом. Г 1 о предлагаемому спо чения возможности изго нов с различным шагом ним объективом, перед р размещают сменную ма каждая из которых обес шаг мультипликации. собу с целью ооеспетовления фотошабломультипликации с одастровым объективом ску из набора масок, ечивает необходимый жена функциональная едлагаемый способ изцированных фотошаблоНа чертеже изобр схема, поясняющаяготовления мультипл нов. Предлагаемый спо ющем. Совокупность шаблоне 4 создается элементов 5 с исп объектива б.об заключается в следу- структур 1 - 3 на фотофотонабором дискретных льзованием растрового О П И С А Н И Е 364920ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ:364920 Составитель Е. КовалеваТскред Л. Грачева Корректоры: Е. Денисоваи Т, Гревцова ельдл:.а да Изд.149 Тираж 523 Подписноеделам изооретепий и открытий прп Совете Министров СССРМосква, М(-35, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 543/12ЦНИИПИ Комитет ипогргфия, пр. Сапунова,Предлагаемый способ изготовления фото- шаблонов для пленочных микросхем свободен от недостатков, присущих известному способу, так как фотонабор через линзы растра позволяет создать структуру с размером, равным ходу стола, а узел растра, имеющего шаг оптических элементов, кратный ряду типоразмеров тонкопленочных схем, с помощью пластины-маски позволяет оставить работающими нужные элементы растра (в противном случае рисунки будут прерываться и портить друг друга).Для реализации предлагаемого способа требуется фотонаборная установка, оснащенная растровым ооъективом с шагом расположения оптических элементов, кратным типоразмерам шагов на фотошаблонах пленочных схем иустройством смены пластин-масок. П ред и ет изобретения 5Способ изготовления мультиплицированныхфотошаблонов посредством фотонабора повторяющегося рисунка с одновременной его мультипликацией с помощью растрового объ ектива, отличающийся тем, что, с целью обеспеченич возможности изготовления фотошаблонов с различным шагом мультипликации с одним объективом, перед или за растровым объективом размещают сменную маску из на бора масок, каждая из которых обеспечиваетнеобходимый шаг мультипликации.
СмотретьЗаявка
1663559
Г. П. Шадурский, В. А. Козлов
МПК / Метки
МПК: G03F 5/06
Метки: мультиплицированных, фотошаблонов
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-364920-sposob-izgotovleniya-multiplicirovannykh-fotoshablonov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления мультиплицированных фотошаблонов</a>
Способ определения элементов морских волн с помощью двух синхронно работающих щелевых фотоволнографов, установленных на концах вертикального базиса
Номер патента: 146967
Опубликовано: 01.01.1962
МПК: G01C 11/02, G01C 13/00
Метки: базиса, вертикального, волн, двух, концах, морских, помощью, работающих, синхронно, установленных, фотоволнографов, щелевых, элементов
...способу.Фотоволнографы с одинаковым фокусным расстоянием 1 устанавливаются в горизонтальные плоскости 1 и 2, отстоящие друг от друга на расстояние а. Съемку волн 3 производят непрерывно при открытых щелях обоих фотоволнографов с заданной скоростью синхронной протяжки лент, При пследующей обработке обоих фотоснимков из одной и той же характерной точки двух последовательных гребней или впадин волны опускают перпендикуляры на изображение линии горизонта. Длина этих перпендикуляров определяет искомые параметры волны; высоту й и длину Л. Зная высоту и длину волны и время съемки двух последователыных точек гребней или впадин, можно определить скорость движения волны и ее период.Предлагаемый способ позволяет опволн, но и основные...
Проекционная система
Номер патента: 1345161
Опубликовано: 15.10.1987
Авторы: Белоусов, Крейн, Овечкис, Семочкин
МПК: G03B 35/24
Метки: проекционная
...с центром зрачка проекционного объектива проектора 1 (фиг, 5). Координаты центров расходящихся волновых фронтов для записи растра голографических оптических элементов 2 выбирают исходя из требований при близительного равенства углов дисперсии света у голографических оптических элементов 2 по всему полю экрана 3.При этом координаты центра проек ции ХУ, связаны с координатами ХУ точки, в которую сходится волновой фронт при записи голограммы 9 (фиг,3), в случае, когда угловые размеры экрана 3 малы при наблюдении от центра 20 проекции, т,е. У /Х, сс 1, где У ; высота экрана, с учетом нормали М.к плоскости голограммы в текущей точке А, (фиг. 5) угла падения И опорного луча и угла М , под которым распро страняется продифрагировавший...
Способ соединения элементов деревянных конструкций при помощи забиваемых металлических пластинок
Номер патента: 86327
Опубликовано: 01.01.1950
МПК: E04B 1/48
Метки: деревянных, забиваемых, конструкций, металлических, пластинок, помощи, соединения, элементов
...пластинки делаются длиннее на 15 - 20 .им против требуемой длины.На фиг. 1 изображена металлическая пластинка для с гнения эл- ментов деревянных конструкций; на фиг, 2 - та же пласт а после загиба конца; на фиг. 3 в составная деревянная балка из двух брусьев 1, соединенных загнутыми пластинками 2; на фиг. 4 в применение пластинок 2 в подкосно-ригельной конструкции; на фиг. 5 в применение пластинок 2 для составной стойки.При забивании металлических пластинок происходит подкалывание древесины под режущей кромкой, началом которого является снятие волокон древесины около вертикальных ребер пластинок.В предлагаемом способе этот существенный недостаток устрвнм расширением концов зубьев 3 пластинки, благодаря чему исключается трение по...
Звукоизолирующий элемент в виде пластины
Номер патента: 634683
Опубликовано: 25.11.1978
Авторы: Дьердь, Имре, Федор, Шандор, Яноше
МПК: E04B 1/86
Метки: виде, звукоизолирующий, пластины, элемент
...по мере далеция от источникаЗВукаНа чертеже схематически изображен. - атрее Она олир",ацееей Элемент В Виде плас"тиньра зрсНвуесоеезж,:,р ".шнй элемент в видеплаогыцы Включ:-.е. защитный экран 1В Вые металлееческого гофрированноголиста., свьэлс.ций слой 2 переменнойголецееееь., конструктивные слои 3 - б,между которыми размещееы сВязующиеслои 7 - 9.тсщееца б е Б. е Ьи 5 контывцых слоев может бйть различможет бь.ть представлена различцыми веатерналами,Б связуюецих слоях 7, 8 ися цаполцитель со средней велизерен 0,4-400 , который распрцеравцст:.ерцо В каждом слое. Коент неоднородности , лжит В ич00-1.35 и В положении, опредОт Обоацецееой к источнику Звук-ь по иере удаления от источника звука средний удельный вес связующегослоя...
Электротепловой элемент
Номер патента: 928469
Опубликовано: 15.05.1982
МПК: H01L 35/02
Метки: электротепловой, элемент
...- упрощение. и улучшение параметров электротеплового элемента.Указанная цель достигается тем, что в электротепловом элементе, содержащем теплопроводящую пластину, выполненную из полупроводникового материала, сформированные на ней теплозлектрический преобразователь и распределенный электротепловой преобразователь с контактными площадками, дополнительно в теплопроводящей пластине под расположенными на ее поверхности контактными площадками выполнены поперечные прослойки из материалаСоставитель В. ШахуновТехред Ж. Кастелевич Корректор С. В 1 омак Редактор Л, Веселовская Заказ 3254/62 Тираж 258 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Подписное Филиал ППП "Патент",...
Предыдущий патент: Позитивный материал
Следующий патент: Устройство контроля срабатывания реле
Случайный патент: Машина для скрепления деталей пустотелыми заклепками