Полупроводниковый вакуумметр

348902 О П И С А Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Саветскик Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства1. Кл. 6 011 23/00 5) 3 Чо 140204 Заявлено 04.11,1970 с присоединением з вкириоритет Комитет по делам изобретений и открцтиУДК 531,788(088.8) 1972. БюллетеньОпубликовано 23.И Дата опубликовани ри Совете твинистр СССРписания 2.Н 73 Авторыизобретения В, Харченко и В, С. Бел вите ПОЛУПРОВОДН ЫЙ ВАКУУММЕТР вам д Изобретение относится к устройст ля измерения вакуума.Известны полупроводниковые вакуумметры, содержащие в качестве чувствительного элемента полупроводниковые терморезисторы. Недостаток таких вакуумметров - узкий диапазон температурной компенсации, равный 5 С.Целью изобретения является обеспечение компенсации температуры окружающей среды 10 при работе полупроводникового вакуумметра в широком диапазоне температур.Для этого компенсатор и позистор вместе с сопротивлением подгонки позистора включены последовательно в цвпь дополнительного 15 источника напряжения малой величины, отделенного от источника разогрева дросселем. Один вывод дросселя соединен с выводом позистора и выводом разделительной емкости, а другой включен в цепь постоянного тока, 20 причем сопротивление шунта позистора через емкость или индуктивность и второй вывод емкости подключены к цепи переменного тока.На чертеже показана принципиальная схема предложенного ва куум метра. 25Вакуумметр состоит из датчика 1, содержащего в качестве чувствительного элемента терморезистор с положительным температурным коэффициентом, компенсатора 2, индикатора 3, подключенного к выводам резистора 4, 30 разделительной емкости б, исключающей попадание постоянного напряжения в цепь переменного, а также дросселя 6, препятствующего шунтированию датчика по переменному току через внутреннее сопротивление источника напряжения 7, генератора напряжения малой амплитуды, не влияющего на тепловой режим компенсатора, а также сопротивлений шунта 8 и 9 и подгонки 10, 11, служащих для линеаризации температурных характеристик датчика и компенсатора, генератора переменного напряжения 12. Емкость 13 шунтирует источник напряжения 7 по переменному току.Так как шунтирование датчика 1 осуществляется только по переменному току, то наличие сопротивлений 8 и 10 не ухудшает релецности чувствительного элемента при включении напряжения питания. Так как температ рные характеристики разогретых терморезисторов с положительным температурным коэффициентом близки к линейным при мощности рассеивания 0,4 - 0,8 вт, то включение последовательно с терморезистором компенсатора, имеющего отрицательный температурный коэффициент, по абсолютной величине равньш температурному коэффициенту разогретого терморезистора с положительным температурным коэффициентом, позволяет осуществить температурную компенсацию при колебании температуры окружающей среды в широком348902 Предмет изобретения тавитель Е, Халато Техред А. Евдоно дактор Т. Орловская в Корректоры: Н, Аук и 3. Тарасовааказ 71/3 Изд.1854 Тираж 406НИИПИ Комитета по делам изооретений и открытий при Совете МиМосква, К, Раушская иаб., д, 4/5 Подписноестров СССР Типография, пр. Сапунова, 2 диапазоне. Чтобы исключить разогрев компенсатора током, разогревающим датчик, произведено разделение цепей источника тока разогрева и тока компенсации с включением компенсатора в цепь компенсации,При включении вакуумметра сопротивление датчика в результате разогрева релейно увеличивается. При этом ток, проходящий через терморезистор, уменьшается. Мощность рассеивания на чувствительном элементе ограничивается в пределах допустимой. При изменении вакуума сопротивление датчика изменяется из-за изменения условий теплоотвода. Рольтметр, проградуиоованный в миллиметрах ртутного столба, показывает измеряемое давление. При изменении температуры окружающей среды компенсатор, включенный в цепь тока переменного напряжения, компенсирует изменение сопротивления датчика,Полупроводниковый вакуумметр, содержащий позистор, терморезисторный компенсатор5 температуры среды, источник для разогревапозистора и индикатор, отличающийся тем,что, с целью компенсации температуры окружающей среды в широком диапазоне при исключении разогрева компенсатора током, ком 10 пенсатор и позистор вместе с сопротивлениемподгонки позистора включены последовательно в цепь дополнительного источника напряжения малой величины, отделенного от источника разогрева дросселем, один вывод кото 15 рого соединен с выводом позистора и выводом разделительной емкости, а другой включен в цепь постоянного тока, причем сопротивление шунта позистора через емкость илииндуктивность и второй вывод емкости под 20 ключены к цепи переменного тока,