Библиотека,

О П И С А Н И Е 344354ИЗОЬЕЕтЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союа Советских Социалистических Республик( 147605 аявлено 01.1 Х. явкирисоединением Комитет по деламббретений и открытий Приорите 621.793,12: 681..118,4 (088.8) ень21Ч 11.1972 1.1972. Бюл овете Министров СССР убликован та опубликования описания 25 Авторы изобрете 8(.1:Г:т ф-л,д 11 .;:,".-:,и 1, к,Г ив. ; г г дВ. В, Устинов, О. П. Синалеев и С. М. Мустафи аявит РОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАНЕСЕНИ ПЛЕНОКзобрет относится к области технолооиство для измерения скоро- пленок по авт. св.245515. имеет сложную конструкцию, ысокую точность и надежна кон дул Известно устрсти нанесенияЭто устройствонедостаточно вность.В предлагаемом устройстве с целью упрощения конструкции, повышения точности и надежности работы датчик выполнен двух- секционным; при этом каждая секция снабжеколлектором ионного тока, размещенным центрично относительно общего анода-моятора.На чертеже схематически изображен предлагаемый датчик.Датчик состоит из прямонакального катода 1, ток эмиссии которого поддерживается стабилизатором 2 постоянным. Вокруг катода, являющегося осью коаксиальной системы, помещена спиральная цилиндрическая сетка- анод 3, к которой подключены источники 4 постоянного и модулирующего переменного напряжения. На определенном расстоянии от анода помещены два коллектора Б и б в совокупности своей образующие поверхность полого цилиндра. Переменное электрическое поле между катодом 1 и анодом 3 модулирует электронный поток, В зависимости от знака полуволны переменного напряжения на аноде 3 анодныи ток изменяет свою величину от нуля до максимума.В момент времени, когда анодный ток неравен нулю, часть электронов пролетает через спиральный анод 3, в пространство между анодом 3 и коллекторами б и б. Это пространство с помощью экранов 7 разделено на две равных секции 8 и 9. Каждая из секций содержит один из коллекторов.10 Например, в положительную полуволну напряжения, приложенного между катодом 1 и анодом 3, электроны, эмитированные катодом, под воздействием поля будут двигаться к аноду. Часть их, пролетев анод по инерции, 15 будет снова возвращена полем к аноду и таким образом электроны совершают колебательное движение в пространстве секций,В отрицательный полупериод поле препятствует движению электронов в направлении 20 анода и анодный ток прекращается.Совершая колебательное движение в секциях 8 и 9, электроны производят ионизацию.Коллекторы 5 и б соединены со входом дифференциального усилителя 16, к выходу кото рого подключен регистрирующий прибор 11.Секция 8 закрыта от потока молекул испаряемого вещества, в то время как в секцию 9 этот поток проникает. Таким образом, в секции 8 находятся молекулы только остаЗ 0 точных газов, а в секции 9 - молекулы какКорректор Е. Зимина онч да Заказ 2277/11 Изд. Мо 956 Тираж 406 ПодписноЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб д. 4/5 Типография, пр. Сапунов остаточных газов, так и испаряемого материала,В положительную полуволну напряжения,в результате неупругих соударений электронов, пронизывающих секцию 8, с молекуламиостаточных газов в этой секции образуютсяположительные ионы, которые собираютсяколлектором б. В то же время электроны,пронизывающие секцию 9, вызывают ионизацию молекул как остаточных газов, так и испаряемого материала. Положительные ионы,полученные в результате этого, будут собраны коллектором б.В отрицательную полуволну напряженияионизация отсутствует.Следствием описанного процесса является., появление переменного тока во входной цепидифференциального усилителя 10. При этом,поскольку коллектор 5 подключен к одной изклемм симметричного входа усилителя, а коллектор б - к другой, то ток на входе усилителя будет представлять разность между суммарным током, обусловленным ионизациейостаточных газов и испаряемого материала вцепи коллектора б, и током, обусловленнымионизацией только остаточных газов в цепиколлектора б. Это положение можно выразить следующимравенством1 вх. - (1 о,г. + 1 и.м) - 1 о.г.5 где 1 - результирующий ток на входе усилителя,1 о,г - переменная составляющая ионноготока, вызванная ионизацией молекул остаточных газов,10 1 - переменная составляющая ионноготока, вызванная ионизацией молекулиспаряемого материала.Таким образом, напряжение на входе электронного усилителя 10 представляет собой15 разностный сигнал, в котором исключена составляющая напряжения, обусловленнаяионизацией остаточных газов,Предмет изобретения 20 Устройство для измерения скорости нанесения пленок по авт. св,245515, отличаюиееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности и надежНости работы, датчик выполнен двухсекционным, каж дая секция которого снабжена коллекторомионного тока, размещенными концентрично относительно общего анода-модулятора.