Устройство для крепления полупроводниковых подложек
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 343324
Автор: Кузнецов
Текст
343324 актор О. Юркова Техред Д,олийнык Корректор И. Куска Подписно аказ 6 ирах 6 ткрытиям при ГКНТ СССР д. 4/5 ИИПИ Госуд митета по изобретениям и сква, Ж, Раушская наб енного13035,Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 На чертеже представлено предлагаемое устройство.Концы разогреваемой полупроводниковой подложки 1 помещены между двумя парами брусков 2 и 3 кремния. При по 5 мощи металлических зажимов 4 токоподводящие металлические пластины 5 и 6 зажимают концы брусков; Токоподводя щие пластины подсоединены к источнику 10 электрического тока.Бруски изготовлены из низкоомного, вырожденного кремния, Это объясняется тем, что с уменьшением удельного сопротивления полупроводника уменьшает ся и сопротивление области его контак. та с металлом. Размеры брусков выбирают такими, чтобы нагрев металлических токоподводящих пластин за счет тепловыделения на самих брусках и путем теплопроводности от подложки был наименьшим, так при нагревании образцаокремния до 1400 С контакты нагреваются до 200 С. Градиент температуры в подоложке от концов к центру не более 5 С/см.Применение предлагаемого устройства позволяет снизить температуру подложки при получении совершенных слоев (плотность дислокаций и дефектов упаковок 1 О см ) до 600 С вместо 830 С, а наименьшую температуру эпитаксиального роста до 430 С.о
СмотретьЗаявка
1398704, 22.02.1970
ГОРЬКОВСКИЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИ ГОРЬКОВСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО
КУЗНЕЦОВ В. П
МПК / Метки
МПК: H01L 21/20
Метки: крепления, подложек, полупроводниковых
Опубликовано: 15.10.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-343324-ustrojjstvo-dlya-krepleniya-poluprovodnikovykh-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для крепления полупроводниковых подложек</a>
Предыдущий патент: Сцинтилляционный спектрометр фотонов
Следующий патент: Сушилка для сыпучих материалов
Случайный патент: Уплотнение гребного вала