Автомат для химической обработки
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е 333633ИЗОБРЕТЕ Н ИЯСею бметеяия рвеиелиетичееяия ревщбиииК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ носимое от авт. свидетелЬства 5 д М.Кл. Н 011 7/26-25 аявлено 13.т 1.1965 (И 100 явкиприсоединением з Ковтитвт вв велаае зебретвиий и открыти ори Совете Миииотров 0 ИРПр и оритет -Опубликовано 21 111.1972.Дата опубликования описа ДК 621.382.2, 3.00 (088 8) ллетень11 о ,тт П 972.:( .1 Цттт- : :,;,.:Ь Й 1,"т,"1 тел ОМАТ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБООЛУПРОВОДН ИКОВЫХ ПЛАСТ И Н редмет изобретени Известен автомат для химической обработки полупрсводниковых пластин, содержащийреакционные камеры, пневматический мани.пулятор переноса пластин, командоаппаратуправления пневмосистемой, дифференциальную систему контроля состояния рабочегоагента, привод.Предложенный автомат отличается тем,что в нижней части реакционной камеры установлена газовая турбина, являющаяся столомдля размещения единичной пластины, а вверхней части - газовая ультразвуковая туроосирена, соединенная с соплом подачи реактива и механизмом возвратно-поступательногодвижения. Это улучшает качество и воспроизподимость результатов химической обработкистдельных пластин,На фиг.1 показаяобтщийвид автомата; нафиг. 2 изображена реакционная камера.Автомат содержит основание 1, выдающийбункер 2, в который загружается партия пластин (стопка из 100 штук) принимающий бункер 3. Пневматические манипуляторы 4 переносят пластину из бункера 2 сначала в реакционную камеру Б, затем в реакционную камеру б и в принимающий буикер 3. Единичнаяпластина кремния 7 укладывается на турбину-стол 8 в нижней части реаиционной камеры. Турбина-стол подвешивается на струекнертного газа, истекающего из дна 9 камеры 2через центрирукиций зазор между роторомтурбины и стенками камеры,Газ; подаваемый из д 1 вух сопел 10 на лопасти турбины,:приводит ее оо вращение. За 5 тем из сопла 11 в центре ультразвуковой сирены 12 над верхней поверхностью пластинподается под давлением реактив. При вращении турбины пластина кремния, смещаясьпод действием центробежных сил относитель10 но центра вращения, упирается в штифты 13.Сопло 11 связано с механизмом возвратнопоступательного перемещения 14.При вращении пластины и передвижениясопла происходит быстрая смена реактива,5 повышаются качество и воспроизводимостьрезультатов .химической обработки. о Автомат для химической обработки полупроводниковых пластин, содержащий реащионные камеры, пневматический манипулятор переноса пластин, командоаппарат управления пневмосистемой, дифференциальную сис тему контроля состояния рабочего агента,привод, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества и воспроизводимости результатов химической обработки отдельных пла.стин, в нижней части реакционной камеры усо тановлена газовая турбина, являющаяся сто333633 ФОГ.2зд.439 ПслписиОе Эаказ 20 б 9 Тираж 4 агорская типографи лом для размещения единичной пластины, а в верхней части - газовая ультразвуковая турбоснрена, соединенная с соплом подачи реактива и механизмом в:звратно-поступательного движения.
СмотретьЗаявка
1007517
В. И. Захаров, Ф. Кон кина, Б. В. Малин
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: автомат, химической
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-333633-avtomat-dlya-khimicheskojj-obrabotki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Автомат для химической обработки</a>
Предыдущий патент: Способ фотолитографической обработки поверхности пластин
Следующий патент: 333637
Случайный патент: Устройство для отбора пробы с движущегося полотна