Способ резки пластины на заготовки
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Сс оз Советских Социалистических Республикидетельства М висимое от аявлено 30.тт М. Кл. В 280 5/00,Уо 146772/29-33) ела иоритет Номитет по обретений и ри Совете М СССРткрытииистров Опубликовано 09.П.1972. Бюллетень7 Дата Опубликования описания 21,1 Ъ.192 679.8.02(088.8) Авторы1 зобретени. Симачев, В. В, Поляков, Е, ф, Родионов, Г. П. Г, В. Пешкова, К. ф. Бурый и Л. С. Фиркови ина,аявител СПОСОБ РЕЗКИ ПЛАСТИКЫ НА ЗАГОТОВКИ 2 Предмет изобретен Спо мощь щийс ку и что, ссоб ре ки пластинимер льклеиванииющсй резкповышения ы на заго:а подложи;ийся тем, раскроя и напр при 1,ЕЛЬЮ с присоединением заявкиИзобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов,Известен способ резки, например ультразвуковойполупроводниковой ,пластины на кристаллы, заключающийся в приклеивании 5 пластины на подложку и последующей резке.Недостатком такого способа является большая потеря дорогостоящего полупроводникового материала по краям пластины из-за того, что могут вырезаться не целые кристаллы, 10Цель изобретения - повысить точность раскроя и выхода годных заготовок.Достигается это тем, что пластину на разогретой подложке помещают под проектируемое изображение режущего инструмента, рас положение которого на пластине идентично расположению его во время резки, затем перемещают пластину так, чтобы на ней уместилось наибольшее количество целых заготовок и в этом положении пластину приклеи вают.Изобретение поясняется чертежом.Негатив или позитив 1 с изображением режущего инструмента вставляется в увеличитель 2, под которым расположен стол 3 для 25 ориентированной приклейки пластины 4 на подложку б. На этом столе выполнены упоры б. На разогретую подложку наносят шеллак, и подложку ставят в упоры. Затем отмечают один из углов 7 подложки б для даль нейшего переноса на стол рсзки. На подложку помещают пластину 4. Далее изображение режущего инструмента с помощь 1 о увеличителя проектируют на пластину и переметцают ее на подложке б, так, чгооы иа и;1 асти 1 ге умещанаиоольшее кол 111 ссгво цел 1)1 х заготовок, Зем снима 1 от:1 одлояку вместе с пластиной со стола 1, дают им остыть с целью окончательной при 1 лейки пластины с подложкой. На столе для резки есть упоры, котопые расположены по отношению к оси режущего инструмента точно таким образом, как и упоры б относительно центра изображения режущего инструмента на столе 3 для ориентированной приклейки.Подложку б с приклеенной гластиной 4 вставляют в упоры на столе для резки с учетом отмеченного угла, и пластину разрезают.По описанному способу можно получить с каждой пластины в среднем на 2,2 заготовки больше, чем число кристаллов, полученных без ориентации.329026 Составитель Н, Максименко Редактор Г. Кузьмина Корректор О. Тюрина Заказ 1014 Изд. М 410 Тираж 446 ПодписноеЦ 11 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушскаи наб., д. 4,5 Тпографии, пр. Сапунова, 2 выхола годных заготовок, пластину на подложке помещают под проектируемое изображение режущего инструмента, рас.1 олокение когорого на пластине идентично расположенп 1 о е 1 о во время резки, затем Г 1 еремещают и.1 астину так, чтооы из нее получилось паибо 1 ВП 1 ее кос 1;1 чество заготоВОк, и В этОм ползжении пластину приклеивают.
СмотретьЗаявка
1467772
А. А. Симачев, В. В. Пол ков, Е. Ф. Родионов, Г. П. Трушина, Г. В. Пешкова, К. Ф. Бурый, С. Фиркович
МПК / Метки
МПК: B28D 5/00
Метки: заготовки, пластины, резки
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-329026-sposob-rezki-plastiny-na-zagotovki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ резки пластины на заготовки</a>
Предыдущий патент: Алмазный сегментный инструмент для резания
Следующий патент: Валковый питатель
Случайный патент: Резак для кислородной резки