Устройство для измерения электропроводноститонких пленок

рцорцтетпуолцковано 30.Х 1.1971, Б(оллетен(3 ата опубликования описания 9.11.972 Комитет па делом изобретений и открытий при Сосете Министрае СССРК 621,31 (088.8) Авторы изобретени В, И, Семенцов и В, Е. Прозоровс Заявите агацрогскии радиотехнический иисти УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕ ТОНКИХ ПЛЕНОРОПРОВОДНОСТ Известные устройства для измерения проводимости тонких пленок в процессе их изготовления с помощью омметра или мостовойсхемы, накладной,катушки, питаемой переменным током, или конденсаторного датчика, 5требуют дополнительных герметичных выводов в вакуумной установке для подключенияизмерительного прибора к датчику,Предлагаемое устройство более проста поконструкции. Для его э(ссГ(луата(ГГ(и це требуются дополнительные,выводы из вакуумной камеры, так как датчик вы(полнец в видедвух индуктивцо связанных контуровподключенных к генератору и вольтх(етру соответствео(но, расположен вне вакуумной камеры и связан с третьим контуром, расположенным в вакуумной камере с контролируемойпленкой.Геохтетрия датчика выораца та(Г( о(бразоз(,что напряжение ца зажимах вольтметра равно нулю, если измеряемая проводимость равна определенной, заранее выбранной, величине. При изменении проводимости вольтметррегистрирует напряткецие, я(вляющееся меройизмеряемой проводимости, 25На фиг. 1 Г(оказана схема датчика, состоящего из некоаксиальпых контуров; ца фиг.2 -схема датчика, состояГцего пз коаксиальныхконтуров; на фцг. 3 - блок-схема устройства.Датчик цз цскоаксиальпых контуров саста ит (цз двух плоски(х обмоток (ца фцг. 1 обмотки условно изображены одцовитковымц), расположенных в непосредственной близости друг от друга, одна из которых подключена к генератору высокочастотного на напряжения (зажимы а-б), другая - к вольтметру (зажимы в-г). Размеры обмоток и расстояния между ними выбраны таким образом, что взаимо. ицдукцпя обмоток равна нулю. Соогветствеццо напряжение ца выходгных зажимах в-г датчика равно нулю при наличии напряженя ца входе датчика (зажимы а-б), Если обмотки расположены в одной плосКости, то расстояние между их цетпрами должно равнять. ся / Г( + г 2, где г, и г, - радиусы входной и выходной обмоток датчика соответственно.Датчик находится вне вакуумной камеры. С цим ицдуктивцо связана обмотка, расположенная в вакуумной камере и подключенная к контролируемой пленке, Если проводимость пленки равна нулю, напряжение на выходе датчика отсутствует. При увеличении проводимости пленки ца выходе датчика появляется напряжение, зависящее от величины проводимости.Для увеличения чувствительности и точности измерений датчик может состоять из коаксиальных обмоток (см. фиг, 2). Входная обмотка 1 датчика подключена к генераторуПодписное овете Министров СССРаказ 6/1ЦНИИП 11 Комитета апунова, 2 ипографи высокочастотного напряжения (зажимы а-б). Выходным напряжением датчика является напряжение, снимаемое с,последовательно соединенных обмоток 2 и 3.С датчиком, находящимся вне вакуумной камеры, индуктивно связана обмотка 4, которая расположена в вакуумной камере и подключена к контролируемой пленке, Выходное напряжение датчика равно нулю при нулевой проводимости контролируемой пленки, а при увеличении проводимости, обусловленном увеличением толщины пленки в процессе вакуумного осаждения, па выходе датчика появляется напряжение, зависящее от проводимости пленки.В соответствии с вышеизложенным блоксхем устройства вклочает (см. фиг. 3): генератор 1 высокочастотного напряжения, подключенный к датчику 2, выходное напряжение которого контролирует вольтметр 3, причем все перечисленные устройства находятся вне вакуумной камеры. С обмотками датчика индуктивно связана катушка связи 4, находящаяся в вакуумной камере, к которой под ключены выводные контакты осаждаемой иодновременно контролируемой,пленки,Предмет изобретения 10 Устройство для измерения электропроводности тонких пленок, содержащее генератор напряжения, вакуумную камеру, датчик и вольтметр, отлссчаюп 1 ееся тем, что, с целью упрощения конструкции, датчик выполпен в 15 виде двух индуктивно связанных контуров,подключенных к генератору и вольтметру соответственно, расположен вне вакуумно 1 камеры и связан с третьим контуром, расположенным в вакуумной камере с контролпру мой пленкой,