Устройство для контроля толщины

ЗБО 9 Союз Советскиз Социалистическив РеспубливЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 11.И 1,1969 (Ле 1348214/2 й)с присоединением заявки ЛЪ -Приоритет 01 Ь 11/06 Комитет по делам изобретении и открытпри Совете МинистреСССР УДК 531.717.1(088.8 Опубликовано 21,1 Х Дата опубликовани 971. Бюллетень ЛЪ описания 14.Х 11.197 Авторыизобретени В. С, Гавриш, П, П. чков и Ю родецкии вого Красного Знамени институм. Е. О, Патона аявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЕННОГО СЛОЯмной ка ;руг соб ик расп ой каме оходит ч Изобретение относится к области контро но-измерительной техники, а именно к устр ствам для контроля толщины напыленн слоя микрофотометрическим методом пр электронно-лучевом напылении. 5Известно устройство для контроля толщины напыленного слоя, содержащее рабочую вакуумную камеру для напыления, осветитель, фотодатчик и образец-свидетель, выполненный из прозрачного материала, размещенный в ра бочей камере. Осаждаемый материал изменяет степень прозрачности образца-свидетеля. Толщина напыленного слоя определяется по известной зависимости почернения образца-свидетеля от толщины напыляемого слоя. Однако 15 определяют толщину напыленного слоя после окончания процесса напыления, поэтому корректировать ргжим напыления и автоматически регулировать его нельзя, так как при измерении в процессе напыления возникают по грешности из-за большой плотности пара, поглощающего световой поток.Предлагаемое устройство отличается тем, что оно дает возможность контролировать толщину напыленного слоя в процессе папы ления и автоматически регулировать процесс. Для этого устройство снабжено дополнительной вакуумной камерой, сочлененной с рабочей вакуумной камерой; образец-свидетель в нем выполнен в виде диска, установленного 30 в доп можн а осв допол их оп потокОп мере с возтвенной оси, ложены вне ры так, что рез паровой олнительнои стью вращен иеь и фо штельной ва ическая ось аку пя во тодатч двуми исываемое у ойство изобУстройство содержит рабочую вакууатнуто камеру 1, дополнительную вакуумную камеру 2, образец-свидетель 3, модуляционный диск 4, двигатель б, освгтптель 6, фотодатчик 7, усилитель 8 и измерительный прибор 9.Устройство работает следующим образом. Поток пара испаряемого вещества из рабочей вакуумной камеры попадает в дополнительную вакуумную камеру на образец-свидетель через отверстия в модуляционном диске. Пар осаждается на образце-свидетеле, покрывая его тонкой полупрозрачной пленкой, Образец-свидетель приводится во вращение двигателем. Световой поток от осветителя проходит через образец-свидетель и попадает на фотодатчик, па выходе которого получается электрическиш сигнал, пропорциональный степени прозрачности образца-свидетеля и, следовательно, толщине напыленной пленки, Этот сигнал усп; ливается усилителем и подается на измерительный прибор, показания которого пропор315019 Составитель В. Мазина Редактор Л. Жаворонкова Текред Л. В. Куклина Корректоры: Т. А, Бабакинаи В. П, федулова Заказ 3405/8 Изд.1432 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делаги изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5 Типографии, пр. Сапунова, 2 циональны толщине пленки на образце-свидетеле.Коэффициент пропорциональности определяется опытным путем. Он зависит от расстояния между испарителем и образцом-свидетелем, от испаряемого вещества и некоторых конкретных конструктивных особенностей рабочей и дополнительной вакуумных камер,Предмет изобретенияУстройство для контроля толщины напыленного слоя, основанное на микрофотометрическом методе, содержащее рабочую вакуумную камеру, осветитель, фотодатчик и образецсвидетель, выполненный из прозрачного материала, отличающееся тем, что, с целью осуществления контроля толщины напыленного слоя в процессе напыления и возможности автома тического регулирования процесса, оно снабжено дополнительной вакуумной камерой, сочлененной с рабочей вакуумной камерой, образец-свидетель выполнен в виде диска, установ.ленного в дополнительной вакуумной камере 10 с возможностью вращения вокруг собственнойоси, а осветитель и фотодатчик расположены вне дополнительной вакуумной камеры так, что их оптическая ось не проходит через паровой поток.